一种金属掩膜板制造技术

本实用新型专利技术公开一种金属掩膜板，金属掩膜板母板上设有多个第一有效区开口，金属掩膜片上设有多个第二有效区开口；第二有效区开口在金属掩膜板母板上正投影落入对应的第一有效区开口；金属掩膜板母板上设有多个第一校正区开口，金属掩膜片上设有多个第二校正区开口；第二正区开口在金属掩膜板母板上正投影落入对应的第一校正区开口；每个金属掩膜片上至少设一个第二校正区开口；金属掩膜片对应的金属掩膜板母板的区域上，至少设置一个与第二校正区开口对应的第一校正区开口。多个金属掩膜片的设置节约了制作成本；通过金属掩膜片的分区设置，仅对单个金属掩膜片进行调整减少耗时，可进行多次对位校正，对做出高分辨率OLED产品具有积极意义。具有积极意义。具有积极意义。

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩膜板


[0001]本实用性涉及金属掩膜板领域，尤其涉及一种金属掩膜板。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(OrganicLight
‑
Emitting Diode)又称有机电致发光显示，分别利用R、G、B精密金属掩膜板的对位，在薄膜晶体管制程后的基板上进行OLED有机材料的成膜；产出的OLED显示屏在电流驱动下，不同膜层的有机材料进行电子和空穴的运输及复合后进行光辐射。与液晶显示屏(Liquid Crystal Display)，有机发光二极管无需背光板，不但节能，而且可以做到更薄更轻巧且在柔性显示方面更有优势，在显示方面具有色域和视角均较广等优点，越来越受到市场的欢迎，在显示行业的应用前景十分广泛。但目前高分辨率的显示屏制作仍有很大的技术难题，为了使有机材料附着在所需R、G、B子像素上，在制程前需要进行精密金属掩膜板的对位确认，对子像素的偏移进行调整达到准确，从而达到RGB子像素上蒸镀有相应的材料，发出所需的光。

技术实现思路

[0003]为此，需要提供一种金属掩膜板，解决金属掩膜板的对位不精确的问题。
[0004]为实现上述目的，本申请提供了一种金属掩膜板，包括：金属掩膜板母板和多个金属掩膜片，多个所述金属掩膜片阵列设置于所述金属掩膜板母板上；
[0005]所述金属掩膜板母板上阵列设置有多个第一有效区开口，所述金属掩膜片上阵列设置有多个第二有效区开口；所述第二有效区开口在所述金属掩膜板母板上的正投影落入对应的所述第一有效区开口内；
[0006]所述金属掩膜板母板上还阵列设置有多个第一校正区开口，所述金属掩膜片上还阵列设置有多个第二校正区开口；所述第二校正区开口在所述金属掩膜板母板上的正投影落入对应的所述第一校正区开口内；
[0007]每个所述金属掩膜片上至少设置一个所述第二校正区开口；所述金属掩膜片对应的所述金属掩膜板母板的区域上，至少设置一个与所述第二校正区开口对应的所述第一校正区开口。
[0008]进一步地，每个所述第一有效区开口的一侧均设置有一个所述第一有效区开口，且每个所述第一校正区开口的一侧均设置有一个所述第一校正区开口。
[0009]进一步地，还包括：设置于基板上的标记，所述标记置于所述第二校正区开口下方，且所述第二校正区开口在基板上正投影与所述标记重合。
[0010]进一步地，每个所述金属掩膜片上设置有一行的所述第二有效区开口。
[0011]进一步地，所述金属掩膜板母板包括：金属框架和支撑板；所述支撑板置于所述金属框架内，且所述第一有效区开口和第一校正区开口置于所述支撑板上。
[0012]进一步地，所述金属掩膜片两端还设置有缺口，所述金属掩膜片通过缺口与所述金属框架连接，且所述缺口用于调节所述金属掩膜片在所述金属掩膜板母板上的位置。
[0013]区别于现有技术，上述技术方案本通过在所述金属掩膜板母板以及金属掩膜片上开有第一校正区开口和第二校正区开口，在进行所述金属掩膜板和基板的对位测试时，发现所述金属掩膜片发生错位现象时，调节所述第二校正区开口所在的所述金属掩膜片即可；多个所述金属掩膜片的设置节约了所述一种金属掩膜板的制作成本；同时通过金属掩膜片的分区设置，在发生对位错误的时候，仅对没有对位的金属掩膜片进行调整减少耗时，并可进行多次对位校正，对做出高分辨率OLED产品具有积极意义。
附图说明
[0014]图1为所述金属掩膜片结构图；
[0015]图2为所述金属掩膜板母板结构图；
[0016]图3为带有所述标记的基板。
[0017]附图标记说明：
[0018]1、金属掩膜板母板；2、金属掩膜片；3、基板；
[0019]11、第一有效区开口；12、第一校正区开口；13、金属框架；14、支撑板；
[0020]21、第二有效区开口；22、第二校正区开口；23、缺口；
[0021]31、标记。
具体实施方式
[0022]为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
[0023]请参阅图1至3，本实施例提供了一种金属掩膜板，包括：金属掩膜板母板1和多个金属掩膜片2，多个所述金属掩膜片2阵列设置于所述金属掩膜板母板1上；所述金属掩膜板母板1上阵列设置有多个第一有效区开口11，所述金属掩膜片2上阵列设置有多个第二有效区开口21；所述第二有效区开口21在所述金属掩膜板母板1上的正投影落入对应的所述第一有效区开口11内；所述金属掩膜板母板1上还阵列设置有多个第一校正区开口12，所述金属掩膜片2上还阵列设置有多个第二校正区开口22；所述第二校正区开口22在所述金属掩膜板母板1上的正投影落入对应的所述第一校正区开口12内；每个所述金属掩膜片2上至少设置一个所述第二校正区开口22；所述金属掩膜片2对应的所述金属掩膜板母板1的区域上，至少设置一个与所述第二校正区开口22对应的所述第一校正区开口12。需要说明的是，所述第一有效区开口11与所述第二有效区开口21是一一对应的；即，多个所述金属掩膜片2上的第二有效区开口21的数量与所述金属掩膜板母板1上第一有效区开口11的数量是相同的。所述第一校正区开口12于所述第二校正区开口22也是一一对应的，同时在每个所述金属掩膜片2上至少有一个用于校正该金属掩膜片2位置的所述第二校正区开口22，即，所述金属掩膜片2在其所对应的金属掩膜板母板1区域上同样至少有一个所述第一校正区开口12。相邻的所述金属掩膜片2之间是具有用于调节的间隙。在实际操作的时候，当发现某个所述金属掩膜片2发生错位的时候，仅需调节发生错位的所述金属掩膜片2即可。需要进一步说明的是，每个所述金属掩膜片2均与所述金属掩膜板母板1连接，防止其在蒸镀OLED器件层时发生错位，从而影响蒸镀质量。第二校正区开口22和第二有效区开口21上均开口有RGB子像素，第一校正区开口12和第一有效区开口11未开有RGB子像素开口，其中第一校正
区开口12和第一有效区开口11均大于第二校正区开口22和第二有效区开口21，且第一校正区开口12和第一有效区开口11可覆盖第二校正区开口22和第二有效区开口21；上述技术方案本通过在所述金属掩膜板母板1以及金属掩膜片2上开有第一校正区开口12和第二校正区开口22，在进行所述金属掩膜板和基板3的对位测试时，发现所述金属掩膜片2发生错位现象时，调节所述第二校正区开口22所在的所述金属掩膜片2即可；多个所述金属掩膜片2的设置节约了所述一种金属掩膜板的制作成本；同时通过金属掩膜片2的分区设置，在发生对位错误的时候，仅对没有对位的金属掩膜片2进行调整减少耗时，并可进行多次对位校正，对做出高分辨率OLED产品具有积极意义。
[0024]请参阅图3，在某些实施例中，所述一种金属掩膜板还包括：设置于基板3上的标记31，所述标记31置于所述第二校正区开口22下方，且所述第二校正区开口22在基板3上正投影与所述标记31重合。需要说明的是，在本实施例中，所述第二校正区开口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜板，其特征在于，包括：金属掩膜板母板和多个金属掩膜片，多个所述金属掩膜片阵列设置于所述金属掩膜板母板上；所述金属掩膜板母板上阵列设置有多个第一有效区开口，所述金属掩膜片上阵列设置有多个第二有效区开口；所述第二有效区开口在所述金属掩膜板母板上的正投影落入对应的所述第一有效区开口内；所述金属掩膜板母板上还阵列设置有多个第一校正区开口，所述金属掩膜片上还阵列设置有多个第二校正区开口；所述第二校正区开口在所述金属掩膜板母板上的正投影落入对应的所述第一校正区开口内；每个所述金属掩膜片上至少设置一个所述第二校正区开口；所述金属掩膜片对应的所述金属掩膜板母板的区域上，至少设置一个与所述第二校正区开口对应的所述第一校正区开口。2.根据权利要求1所述一种金属掩膜板，其特征在于，每个所述第一有效区开口的一侧均设置有一个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林少钦，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：