一种便于移动的扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于移动的扩散炉，包括外箱体、炉体；炉体包括炉筒、气体均布件；外箱体的一侧内侧壁上设置有能够将硅片通过炉口送至炉体内腔中的送料机构；外箱体的底部设置有底座；底座的底部设置有四个滚轮；底座的四个直角处各设置有一个支撑螺柱；支撑螺柱的底端与支撑座通过轴承进行转动连接。本实用新型专利技术中设置有滚轮和支撑螺柱，当需要移动本申请扩散炉时，分别旋转四个支撑螺柱，使支撑螺柱向上移动，直至滚轮接触地面，通过滚轮移动本申请扩散炉；当需要固定本申请扩散炉时，反向旋转支撑螺柱，使支撑螺柱向下移动，直至支撑座接触支撑面起到支撑作用；因此，本申请扩散炉既便于移动，又能实现支撑固定作用。又能实现支撑固定作用。又能实现支撑固定作用。

【技术实现步骤摘要】
一种便于移动的扩散炉


[0001]本技术属于扩散炉
，具体涉及一种便于移动的扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]其中，扩散炉在使用过程中，需要将硅片传送至扩散炉炉体内，硅片在扩散炉炉内与反应气体进行相应反应，从而在硅片表面不断生成二氧化硅膜。
[0004]但是，现有的扩散炉都不易移动，需要调整位置时，大都采用人工推拉的方式，耗费的劳动强度较大。
[0005]因此，亟需设计一种便于移动的扩散炉。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种便于移动的扩散炉。
[0007]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0008]一种便于移动的扩散炉，包括外箱体以及设置在外箱体内部的炉体；
[0009]所述炉体包括炉筒、气体均布件；所述炉筒呈两端封堵的卧式圆筒结构；所述炉筒的一端设置炉口；所述炉筒通过炉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于移动的扩散炉，包括外箱体以及设置在外箱体内部的炉体；其特征是，所述炉体包括炉筒、气体均布件；所述炉筒呈两端封堵的卧式圆筒结构；所述炉筒的一端设置炉口；所述炉筒通过炉筒底座固定设置在外箱体内底面上；所述气体均布件呈圆筒状结构，所述气体均布件的圆筒侧壁内设置有沿圆筒轴向方向延伸的环形均布腔；所述气体均布件的圆筒内侧壁上均匀设置有若干与环形均布腔相连通的气体均布孔；所述气体均布件的圆筒外侧壁上设置有与环形均布腔相连通的气体入口管；所述气体均布件同轴设置在炉筒内部，所述炉筒的侧壁上、外箱体的侧壁上均设置有供气体入口管穿过的通孔；所述炉筒的侧壁上设置有排气管，所述排气管延伸至外箱体的外部；所述外箱体的一侧内侧壁上设置有能够将硅片通过炉口送至炉体内腔中的送料机构；所述送料机构包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；所述送料电机固定设置在外箱体的一侧内侧壁上；所述送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；所述送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；所述送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；所述送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；所述夹头包括呈U型结构的调节座，所述调节座的开口面向炉体的炉口；所述调节座的两块水平板之间设置两块上下对称的水平夹持板；两块水平夹持板相向的侧面上沿长度方向对称设置有若干夹持柱；所述调节座上设置有用来控制两块水平夹持板进行同步相向运动或同步背向运动的调节件；所述调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；所述L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板；所述外箱体的底部设置有底座；所述底座的底部设置有四个滚轮；所述底座的四个直角处各设置有一个支撑螺柱；所述底座的四个直角处各设置有一个贯穿底座顶面、底面的螺纹孔；所述支撑螺柱与螺纹孔进行螺纹连接；所述支撑螺柱的底端与支撑座通过轴承进行转动连接。2.如权利要求1所述的便于移动的扩散炉，其特征是，所述炉筒包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛新海，李志坤，
申请(专利权)人：青岛微弘设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：