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本实用新型公开了一种便于移动的扩散炉，包括外箱体、炉体；炉体包括炉筒、气体均布件；外箱体的一侧内侧壁上设置有能够将硅片通过炉口送至炉体内腔中的送料机构；外箱体的底部设置有底座；底座的底部设置有四个滚轮；底座的四个直角处各设置有一个支撑螺柱；...
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