一种真空蒸发镀膜用余热利用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵、铜管、基座、导热管和出水管，所述基座上表面一侧通过两个支撑架固定连接有镀膜仓本体，所述镀膜仓本体下方的基座上表面固定连接有蒸发器本体，所述蒸发器本体顶端固定连接在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体内部嵌入安装有坩埚，所述坩埚顶端嵌入安装在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体两侧上方均开孔，所述导热管两端分别嵌入安装在蒸发器本体两侧上方的开孔内，所述导热管呈螺旋状分布在基座内部，所述基座内部的导热管缠绕在铜管外壁，所述基座另一侧通过底座与自吸泵底端固定连接。本实用新型专利技术解决了因热能不能回收利用而导致的资源浪费的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸发镀膜用余热利用装置
本技术涉及真空蒸发镀膜
，具体为一种真空蒸发镀膜用余热利用装置。
技术介绍
真空蒸发镀膜，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。在目前使用的
中，针对真空蒸发镀膜机工作时产生的热量并没有较好的回收再利用的方法及装置，从而造成了热能的白白浪费，尤其是在寒冷的冬季，一般的工厂卫生间内并不能够提供热水供员工洗手，因此需要提供一种真空蒸发镀膜用余热利用装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，具备热能回收并有效利用的优点，解决了因热能不能回收利用而导致的资源浪费的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵、铜管、基座、导热管和出水管，所述基座上表面一侧通过两个支撑架固定连接有镀膜仓本体，所述镀膜仓本体下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵(8)、铜管(10)、基座(13)、导热管(14)和出水管(16)，其特征在于：所述基座(13)上表面一侧通过两个支撑架(1)固定连接有镀膜仓本体(2)，所述镀膜仓本体(2)下方的基座(13)上表面固定连接有蒸发器本体(4)，所述蒸发器本体(4)顶端固定连接在镀膜仓本体(2)下表面，所述蒸发器本体(4)内部嵌入安装有坩埚(3)，所述坩埚(3)顶端嵌入安装在镀膜仓本体(2)下表面，所述蒸发器本体(4)两侧上方均开孔，所述导热管(14)两端分别嵌入安装在蒸发器本体(4)两侧上方的开孔内，所述导热管(14)呈螺旋状分布在基座(13)内部，所述基座(13)...

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵(8)、铜管(10)、基座(13)、导热管(14)和出水管(16)，其特征在于：所述基座(13)上表面一侧通过两个支撑架(1)固定连接有镀膜仓本体(2)，所述镀膜仓本体(2)下方的基座(13)上表面固定连接有蒸发器本体(4)，所述蒸发器本体(4)顶端固定连接在镀膜仓本体(2)下表面，所述蒸发器本体(4)内部嵌入安装有坩埚(3)，所述坩埚(3)顶端嵌入安装在镀膜仓本体(2)下表面，所述蒸发器本体(4)两侧上方均开孔，所述导热管(14)两端分别嵌入安装在蒸发器本体(4)两侧上方的开孔内，所述导热管(14)呈螺旋状分布在基座(13)内部，所述基座(13)内部的导热管(14)缠绕在铜管(10)外壁，所述基座(13)另一侧通过底座(9)与自吸泵(8)底端固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，其特征在于：所述镀膜仓本体(2)前端一侧通过铰链(5)转动连接有镀膜仓盖本体(6)，镀膜仓盖本体(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李长栋，魏承亚，魏俊杰，
申请(专利权)人：山东沐东真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37