蒸镀装置制造方法及图纸

本公开提供一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：储存罐和喷嘴，储存罐包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；喷嘴设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。本公开提供的蒸镀装置，通过热接触传热的方式直接对蒸镀材料进行温度控制，从而能够对蒸镀材料的蒸镀速率进行更加精确的控制。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本公开涉及显示
，具体而言，涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二级管)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，其是指在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。对于蒸镀工艺而言，作为蒸发材料的蒸镀装置是其核心。现目前主流的蒸镀装置主要有坩埚及加热系统沟通。由于蒸镀膜层厚度极薄以及膜层均匀性的高要求，需要从蒸镀装置蒸出材料的速率尽可能稳定，且当出现由于切换监控速率或材料消耗导致的速率波动能够快速恢复。而在传统的蒸镀装置中，热量的动态调节能力始终存在一个瓶颈。需要说明的是，在上述
技术介绍
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【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：/n储存罐，包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；/n喷嘴，设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
储存罐，包括罐体和设于所述罐体上的第一开口，所述罐体包括第一电加热层与第一绝缘层，所述第一绝缘层包覆所述第一电加热层；所述储存罐被配置储存蒸镀材料；
喷嘴，设于所述储存罐的开口上，所述喷嘴被配置为将所述储存罐中的蒸镀材料喷出。


2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述喷嘴包括第二电加热层与第二绝缘层，所述第二绝缘层包覆所述第二电加热层。


3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：
冷却套，套设在所述储存罐上，所述冷却套被配置为对所述储存罐进行冷却。


4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述罐体设有第一导电孔，所述第一导电孔露出所述第一电加热层；所述喷嘴设有第二导电孔，所述第二导电孔露出所述第二电加热层。


5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金彪，肖昂，李海博，罗楠，徐天宇，黄秦霏，胡斌，加新星，晋亚杰，李靖，刘文豪，姬磊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11