一种易于集成的FBAR滤波器制造技术

本发明专利技术提出了一种易于集成的FBAR滤波器，包括：多个布拉格反射层结构的支撑脚、第一谐振器、第二谐振器；所述的第一谐振器、第二谐振器之间共用多个布拉格反射层结构的支撑脚；第一谐振器由质量负载、第一上电极、第一压电层、第一下电极依次沉积构成；第二谐振器由第二上电极、第二压电层、第二下电极依次沉积构成。FBAR谐振器通过支撑脚联接形成滤波器，谐振器可通过在上电极上部施加质量负载调频，以形成滤波器通带。FBAR谐振器通过横向分布的布拉格反射层相间结构的支撑脚联接，能够提高FBAR谐振器的机械品质因数，也可使谐振器排布方式多样化，可以为横向排布方式或纵向叠加方式，提高滤波器的集成度，减小加工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种易于集成的FBAR滤波器
本专利技术属于滤波器
，尤其涉及一种易于集成的FBAR滤波器。
技术介绍
随着现代无线通信技术向高频、高速方向发展，对射频通信常用的前端滤波器提出了更高的要求。在工作频率不断提高的同时，对器件体积、使用性能、稳定性、集成性也有了更高的要求。目前射频系统中滤波器的主要实现方式有两种：SAW(声表面波)滤波器和BAW(体声波)滤波器。与声表面波滤波器相比，体声波滤波器具有高工作频率和功率容量优势，其中，FBAR(薄膜体声波谐振器)滤波器具有高频率、低损耗、低温漂特性，陡峭的滤波器裙边和极高的Q值、工作频率、灵敏度、分辨率、可承受功率容量，小体积以及制备工艺与CMOS兼容的特性，占据了大部分无线通讯的应用领域。在FBAR结构边缘处采用横向分布的布拉格反射层相间结构的支撑脚，能够提高FBAR谐振器的机械品质因数，提高谐振器自身性能，此外，搭建传统FBAR滤波器往往需要在FBAR谐振器外部增加外围支持框架以使多个谐振器集成，但这种传统的联接方式往往限制了FBAR滤波器的集成度，FBAR谐振器之间通过横向分布的布拉格反射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种易于集成的FBAR滤波器，其特征在于，包括：多个布拉格反射层结构的支撑脚、第一谐振器、第二谐振器；所述的第一谐振器、第二谐振器之间共用多个布拉格反射层结构的支撑脚；/n所述第一谐振器与所述第二谐振器通过多个布拉格反射层结构的支撑脚横向排布或者纵向叠加排布；/n所述第二谐振器由第二上电极、第二压电层、第二下电极依次沉积构成。/n

【技术特征摘要】
1.一种易于集成的FBAR滤波器，其特征在于，包括：多个布拉格反射层结构的支撑脚、第一谐振器、第二谐振器；所述的第一谐振器、第二谐振器之间共用多个布拉格反射层结构的支撑脚；
所述第一谐振器与所述第二谐振器通过多个布拉格反射层结构的支撑脚横向排布或者纵向叠加排布；
所述第二谐振器由第二上电极、第二压电层、第二下电极依次沉积构成。


2.根据权利要求1所述的易于集成的FBAR滤波器，其特征在于：
所述第一上电极与所述第二上电极通过多...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙成亮，温志伟，刘炎，王磊，曲远航，龙开祥，罗天成，王瑶，杨超翔，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42