晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机，晶圆加热装置包括：发热支撑台，所述发热支撑台内限定有加热腔；加热管，伸入所述加热腔以进行加热，所述加热盘贴合于所述发热支撑台并位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆；其中，所述加热管均匀分布于所述加热腔以使所述加热面对所述晶圆均匀加热。其采用发热支撑台、加热管和加热盘相配合，使得加热盘的上表面形成加热面，可以对晶圆整个面进行加热。根据本实用新型专利技术实施例的晶圆加热装置可以应用在晶圆的预热步骤和晶圆的点胶步骤，能够对晶圆进行加热，使晶圆表面的温度达到点胶要求，提高晶圆产品质量。

【技术实现步骤摘要】
晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机
本技术属于点胶机
，具体涉及一种晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机。
技术介绍
随着经济技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中，其目的是为了减少在产品使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率，从而延长产品的使用寿命。因此，点胶技术作为电子封装技术的关键和核心，其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。点胶机作为一种新型的自动化设备主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。在生产过程中，需要加热达到要求温度后才能进行点胶，现有技术中的加热装置多为电热丝，排布方式多为圆环形。受晶圆作业平台上的电热丝的排布方式的影响，易导致晶圆作业平台的发热装置热量分布不均匀，使得晶圆局部达不到点胶所要求的温度，影响点胶效果，或者是晶圆局部温度过热，引起晶圆破裂，降低成品率。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种晶圆加热装置，该晶圆加热装置可使晶圆受热均匀，保证点胶质量。本技术还提出一种具有晶圆加热装置的多工位点胶机，该多工位点胶机具有晶圆生产产品质量高，成品率高等优点。根据本技术第一方面实施例的晶圆加热装置，包括：发热支撑台，所述发热支撑台内限定有加热腔；加热盘，所述加热盘贴合于所述发热支撑台并位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆；其中，所述加热管均匀分布于所述加热腔以使所述加热面对所述晶圆均匀加热。根据本技术实施例的晶圆加热装置，其通过采用发热支撑台、加热管和加热盘相配合，使得加热盘的上表面形成加热面，可以对晶圆整个面进行加热。晶圆加热装置可以应用在晶圆的预热步骤和晶圆的点胶步骤，不仅能够对晶圆进行加热，还能够使晶圆受热均匀，从而使晶圆表面的温度达到点胶要求。根据本技术一个实施例，所述发热支撑台形成为上端开口的矩形盒体，所述加热腔形成为圆形且一侧开口，所述加热盘与所述加热腔的形状相对应。根据本技术一个实施例，所述加热管为一根，所述加热管的一端沿所述开口的一侧内壁伸入所述加热腔并在所述加热腔内多次折弯后，沿所述开口的另一侧侧壁伸出所述加热腔。根据本技术一个实施例，所述加热管伸入所述加热腔内的部分包括：两个贴壁段，两个所述贴壁段设于所述加热腔的相对两侧，每个所述贴壁段的一端形成为伸出所述开口的自由端；两个第一弧形段，两个所述第一弧形段分别形成为与所述加热腔的形状相对应的弧形，两个所述第一弧形段相对设置且两个所述第一弧形段的一端分别与两个所述贴壁段的另一端相连；两个第二弧形段，两个所述第二弧形段设于两个所述第一弧形段之间，每个所述第二弧形段分别与对应的所述第一弧形段平行设置，每个所述第二弧形段的一端与对应的所述第一弧形段的另一端相连，所述第二弧形段对应的圆的半径小于所述第一弧形段对应的圆的半径；连接段，所述连接段形成为Ω形，所述连接段设于两个所述第二弧形段之间且所述连接段的两端分别与两个所述第二弧形段的另一端相连。根据本技术一个实施例，所述第一弧形段、所述第二弧形段和所述连接段分别与所述加热盘同心。根据本技术一个实施例，所述贴壁段、所述第一弧形段、所述第二弧形段与所述连接段之间分别圆滑过渡。根据本技术一个实施例，所述贴壁段、所述第一弧形段和所述第二弧形段分别相对于所述连接段的对称轴对称设置。根据本技术一个实施例，所述贴壁段、所述第一弧形段、所述第二弧形段和所述连接段一体成型。根据本技术一个实施例，所述加热管为多个，多个所述加热管从所述加热腔的两侧伸入所述加热腔，多个所述加热管互相平行且交错布置。根据本技术第二方面实施例的多工位点胶机，包括根据上述任一实施例所述的晶圆加热装置。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本技术实施例的晶圆加热装置的结构附图；图2是根据本技术的一实施例的晶圆加热装置的加热管的排布方式示意图；图3是根据本技术的又一实施例的晶圆加热装置的加热管的排布方式示意图；图4是根据本技术实施例的多工位点胶机的整体结构示意图。附图标记：多工位点胶机1000；晶圆加热装置210；发热支撑台250；加热管252；贴壁段253；第一弧形段254；第二弧形段255；连接段256；加热盘257。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面参考附图具体描述根据本技术实施例的晶圆加热装置210及具有其的多工位点胶机1000。如图1至图4所示，根据本技术实施例的晶圆加热装置210，包括发热支撑台250、加热管252和加热盘257。具体而言，根据本技术实施例的晶圆加热装置210，发热支撑台250内限定有加热腔，加热管252贴合于发热支撑平台250并位于发热支撑平台250上方，加热盘257的上表面形成为加热面，加热盘257接收加热管252的热量并由加热面传递给晶圆，其中，加热管252均匀分布于加热腔以使加热面对晶圆均匀加热。换言之，根据本技术实施例的晶圆加热本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆加热装置，其特征在于，包括：/n发热支撑台，所述发热支撑台内限定有加热腔；/n加热管，所述加热管伸入所述加热腔以进行加热，/n加热盘，所述加热盘贴合于所述发热支撑台并位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆；/n其中，所述加热管均匀分布于所述加热腔以使所述加热面对所述晶圆均匀加热；/n所述发热支撑台形成为上端开口的矩形盒体，所述加热腔形成为圆形且一侧开口，所述加热盘与所述加热腔的形状相对应。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加热装置，其特征在于，包括：
发热支撑台，所述发热支撑台内限定有加热腔；
加热管，所述加热管伸入所述加热腔以进行加热，
加热盘，所述加热盘贴合于所述发热支撑台并位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述加热盘接收所述加热管的热量并由所述加热面传递给晶圆；
其中，所述加热管均匀分布于所述加热腔以使所述加热面对所述晶圆均匀加热；
所述发热支撑台形成为上端开口的矩形盒体，所述加热腔形成为圆形且一侧开口，所述加热盘与所述加热腔的形状相对应。


2.根据权利要求1所述的晶圆加热装置，其特征在于，所述加热管为一根，所述加热管的一端沿所述开口的一侧内壁伸入所述加热腔并在所述加热腔内多次折弯后，沿所述开口的另一侧侧壁伸出所述加热腔。


3.根据权利要求2所述的晶圆加热装置，其特征在于，所述加热管伸入所述加热腔内的部分包括：
两个贴壁段，两个所述贴壁段设于所述加热腔的相对两侧，每个所述贴壁段的一端形成为伸出所述开口的自由端；
两个第一弧形段，两个所述第一弧形段分别形成为与所述加热腔的形状相对应的弧形，两个所述第一弧形段相对设置且两个所述第一弧形段的一端分别与两个所述贴壁段的另一端相连；
两个第二弧形段，两个所述第二弧形段设于两个所述第一弧形段之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：林翔，周典虬，郜福亮，黄国伟，樊建，
申请(专利权)人：常州铭赛机器人科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32