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本实用新型公开了一种晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机，晶圆加热装置包括：发热支撑台，所述发热支撑台内限定有加热腔；加热管，伸入所述加热腔以进行加热，所述加热盘贴合于所述发热支撑台并位于发热支撑台的上方，所述加热盘的上表面形成为加热面，所述...
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