电子级三氟化氯的纯化系统及其温差动力控制方法技术方案

本发明专利技术提供了一种电子级三氟化氯的纯化系统及温差动力控制方法。所述纯化系统包括：顺序连接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升温罐体、哈氏合金耐压升温罐体、3级金属吸附剂层床、2级低温精馏装置、液化罐体以及稳压罐体；其中，所述第一哈氏合金冷凝器的进料端设置于其顶端且与反应器相连通，所述第一哈氏合金冷凝器的出料端设置于其底端且与所述第一哈氏合金升温罐体的进料端连接；所述第一哈氏合金冷凝器用于将所述反应器产生的三氟化氯粗产品进行冷凝，从而通过温度差来给所述反应器出口气体提供动力。

【技术实现步骤摘要】
电子级三氟化氯的纯化系统及其温差动力控制方法
本专利技术涉及一种电子级三氟化氯的纯化系统及其温差动力控制方法。
技术介绍
目前国内虽有工业级三氟化氯的工艺合成方法，但尚不能制备电子级三氟化氯。为了解决我国芯片制造中“卡脖子”的问题，研发电子级三氟化氯成为了重中之重。而电子级三氟化氯制备工艺过程中，多个流程单元需要正压，精馏是其中必不可少的环节。精馏系统前需要提供一定动力，由于三氟化氯本身的氧化性，市面上尚没有三氟化氯的增压设备，因此需专利技术一种安全的增压方法解决三氟化氯气体的动力问题。
技术实现思路
本专利技术提供了一种电子级三氟化氯的纯化系统及其温差动力控制方法，可以有效解决上述问题。本专利技术是这样实现的：本专利技术提供一种电子级三氟化氯的纯化系统，包括：顺序连接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升温罐体、哈氏合金耐压升温罐体、3级金属吸附剂层床、2级低温精馏装置、液化罐体以及稳压罐体；其中，所述第一哈氏合金冷凝器的顶端设置有进料端且所述进料端与反应器相连通，所述第一哈氏合金冷凝器的底端设置有出料端且所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子级三氟化氯的纯化系统，其特征在于，包括：顺序连接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升温罐体、哈氏合金耐压升温罐体、3级金属吸附剂层床、2级低温精馏装置、液化罐体以及稳压罐体；/n其中，所述第一哈氏合金冷凝器的顶端设置有进料端且所述进料端与反应器相连通，所述第一哈氏合金冷凝器的底端设置有出料端且所述出料端与所述第一哈氏合金升温罐体的进料端连接；所述第一哈氏合金冷凝器用于将所述反应器产生的三氟化氯粗产品进行冷凝，从而通过温度差来给所述反应器的出口的气体提供动力。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子级三氟化氯的纯化系统，其特征在于，包括：顺序连接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升温罐体、哈氏合金耐压升温罐体、3级金属吸附剂层床、2级低温精馏装置、液化罐体以及稳压罐体；
其中，所述第一哈氏合金冷凝器的顶端设置有进料端且所述进料端与反应器相连通，所述第一哈氏合金冷凝器的底端设置有出料端且所述出料端与所述第一哈氏合金升温罐体的进料端连接；所述第一哈氏合金冷凝器用于将所述反应器产生的三氟化氯粗产品进行冷凝，从而通过温度差来给所述反应器的出口的气体提供动力。


2.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的纯化系统，其特征在于，所述第一哈氏合金冷凝器用于将所述反应器产生的三氟化氯粗产品冷凝到～-30℃～-50℃。


3.如权利要求2所述的电子级三氟化氯的纯化系统，其特征在于，所述第一哈氏合金升温罐体用于对三氟化氯粗产品升温，带动所述第一哈氏合金升温罐体内部的液体气化，迅速达到饱和蒸气压，使得三氟化氯不再进行自分解。


4.如权利要求3所述的电子级三氟化氯的纯化系统，其特征在于，所述哈氏合金耐压升温罐体用于对三氟化氯粗产品气体进行升温增压，增大所述哈氏合金耐压升温罐体的内部压力，使得三氟化氯气体达到后续精馏等纯化工序需要的正压力。


5.如权利要求3所述的电子级三氟化氯的纯化系统，其特征在于，所述液化罐体用于降温冷凝，使所述2级低温精馏装置的精馏塔出口的三氟化氯气体冷凝成液态，以被收集储存。


6.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的纯化系统，其特征在于，所述第一哈氏合金升温罐体的进料端设置于所述第一哈氏合金升温罐体的底端，所述第一哈氏合金...

【专利技术属性】
技术研发人员：李向如，李嘉磊，申黎明，陈施华，
申请(专利权)人：福建德尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35