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本发明提供了一种电子级三氟化氯的纯化系统及温差动力控制方法。所述纯化系统包括：顺序连接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升温罐体、哈氏合金耐压升温罐体、3级金属吸附剂层床、2级低温精馏装置、液化罐体以及稳压罐体；其中，所述第一哈氏合金冷凝器...
该专利属于福建德尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建德尔科技有限公司授权不得商用。

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