【技术实现步骤摘要】
一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机
本专利技术涉及一种大型卷绕式磁控溅射镀膜机，尤其是涉及一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机。
技术介绍
真空卷绕镀膜设备是指应用物理气相沉积或化学气相沉积的方法在塑料薄膜、纸、布、涤棉、金属带等带状卷材表面进行连续镀膜技术，制作食品、药品、礼品等金属化包装材料或功能性与装饰性新材料的设备。真空卷绕镀膜的特点是对整卷柔性带材进行连续镀膜。在现有的柔性带材卷绕镀膜设备的结构上仍然存有许多不足或待改进的地方，也需要花大力气去完善。比如大型卷绕式磁控溅射镀膜机的磁控溅射阴极，一般会选用多组大型圆柱状中频孪生靶来提高沉积速率，多组孪生靶的布局要围着有柔性带材绕贴着的水平设置的冷却辊四周，且孪生靶的溅射弧面正对冷却辊面，保证以接近垂直入射的方向进行沉积，并要保持最佳的靶基距。这样，各组靶多按平行于冷却辊以左右两侧高低对称分布，这些孪生靶组都比较重，且孪生靶组件会倾侧安装，溅射靶管不是朝上的，相邻的靶组还会相互遮挡，给阴极的保养、维修、更换工作，带来许多不便，费时费工费力。...
【技术保护点】
1.一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，所述镀膜机包括镀膜室(1)和用于支承镀膜室的机架(10)，所述镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，其特征在于：所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板(2)上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道(35)上并可沿轨道移动，固定板(2)的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室(1)外的机架(10)的轨道(9)上。/n
【技术特征摘要】
1.一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，所述镀膜机包括镀膜室(1)和用于支承镀膜室的机架(10)，所述镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，其特征在于：所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板(2)上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道(35)上并可沿轨道移动，固定板(2)的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室(1)外的机架(10)的轨道(9)上。
2.根据权利要求1所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板(2)上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道(35)上的结构为：
所述每组孪生靶的一端可绕自身轴线回转地通过一绝缘固连的阴极旋转座(12)支承于固定板(2)、另一端则通过一阴极尾端支撑板(18)可回转地支承于一平行于孪生靶轴线的阴极支撑座(11)的尾端，阴极支撑座(11)的首端则固定于阴极旋转座(12)上、尾端则通过旋转固定板(13)固定有水平的尾端旋转轴(14)的一端，尾端旋转轴(14)的另一端可回转地支承在一尾端支撑座(15)上，尾端支撑座(15)吊在或支承在一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道(35)上，尾端旋转轴(14)与阴极旋转座(12)中心同轴线，阴极旋转座(12)上的阴极孪生靶和阴极支撑座(11)绕此同轴线一起转动。
3.根据权利要求2所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的每组孪生靶的一端通过一阴极旋转座(12)支承于固定板(2)的结构为：
所述固定板(2)上开有大圆孔，大圆孔内通过滚珠(16)支承有短管状连接件(12-2)，短管状连接件(12-2)的外端面固连有大齿轮、内端面焊接有竖板状的阴极旋转座(12)，每组孪生靶绝缘固连在阴极旋转座(12)上，孪生靶的靶头穿过阴极旋转座(12)上的短管状连件(12-2)管孔伸出外侧，固定板(2)的外侧还固设有旋转电机(5)，其设有小齿轮(33)与大齿轮(3)啮合，阴极旋转座(12)朝向镀膜室的一面开有密封圈槽(12-1)装有密封圈。
4.根据权利要求3所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的尾端支撑座(15)吊在一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道(35)上的结构为：
炉体内轨道(35)为在一块竖板的两面靠近底边处...
【专利技术属性】
技术研发人员：李志方，陸创程，魏艳玲，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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