一种真空设备的角度调节装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空设备的角度调节装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架；支撑法兰；丝杆法兰；滑块，所述滑块设置在丝杆法兰上，且所述滑块与丝杆连接；手轮，所述手轮设置在所述支撑法兰上，且所述手轮穿过所述轴承与所述丝杆的一端连接；波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，角度调节准确率高的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空设备的角度调节装置
本专利技术涉及微电子
，特别涉及一种真空设备的角度调节装置。
技术介绍
真空设备是产生、改善和(或)维持真空的装置，包括真空应用设备和真空获得设备。目前真空设备快速发展，在微电子领域广泛使用，对真空结构设计提出更高要求。由于现有技术中开腔手动调节真空设备内的角度，造成破坏腔室内真空环境，带来腔室内污染，增加工作时间，降低生产效率的技术问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种真空设备的角度调节装置，用以解决现有技术中开腔手动调节真空设备内的角度，造成破坏腔室内真空环境，带来腔室内污染，增加工作时间，降低生产效率的技术问题，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调节，减少开腔带来的污染，角度调节准确率高的技术效果。为了解决上述问题，本专利技术实施例提供了一种真空设备的角度调节装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空设备的角度调节装置，其特征在于，所述装置包括：/n底板法兰；/n固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；/n联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；/n支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面；/n支撑法兰，所述支撑法兰设置在所述支撑架的顶端，且在所述支撑法兰内连接一轴承；/n丝杆法兰，所述丝杆法兰与所述支撑法兰连接，且所述丝杆法兰内设置所述丝杆；/n滑块，所述滑块设置在所述丝杆法兰上，且所述滑块与所述丝杆连接；/n手轮，所述手轮设置在所述支撑法兰上，且所述手轮穿过所述轴承与所述丝杆的一端连接，其中，所述手轮转动带动所述丝杆旋转，且...

【技术特征摘要】
1.一种真空设备的角度调节装置，其特征在于，所述装置包括：
底板法兰；
固定杆，所述固定杆的一端与所述底板法兰的下表面垂直连接；
联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；
支撑架，所述支撑架设置在所述底板法兰的上表面；
支撑法兰，所述支撑法兰设置在所述支撑架的顶端，且在所述支撑法兰内连接一轴承；
丝杆法兰，所述丝杆法兰与所述支撑法兰连接，且所述丝杆法兰内设置所述丝杆；
滑块，所述滑块设置在所述丝杆法兰上，且所述滑块与所述丝杆连接；
手轮，所述手轮设置在所述支撑法兰上，且所述手轮穿过所述轴承与所述丝杆的一端连接，其中，所述手轮转动带动所述丝杆旋转，且所述丝杆旋转带动所述滑块上下运动；
波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；
连杆，...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭晓龙，张庆钊，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11