一种多工位的真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多工位的真空镀膜设备，属于真空镀膜机技术领域，包括真空箱，所述真空箱的内部安装有固定架，且真空箱的内部设置有清灰组件，本实用新型专利技术通过在丝杆的外周安装与连接板连接的活动块一，贯穿连接板的抽气管下端连通有吸头，这种结构通过转动把手带动连接板移动，进一步带动软毛刷对待镀膜工件进行扫灰操作，同时配合风机的工作可以对灰尘进行吸收；本实用新型专利技术通过在转动杆的外周安装从动斜齿轮，转动电机的输出端连接有与从动斜齿轮进行啮合的主动斜齿轮，固定板的内部贯穿有与抵板连接的调节螺杆，这种结构通过拧动调节螺杆实现对待镀膜工件的固定，配合转动电机工作能够带动待镀膜工件进行翻转。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位的真空镀膜设备
本技术属于真空镀膜机
，具体涉及一种多工位的真空镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，主要思路分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。现有技术的存在以下问题：工件在镀膜之前由于相关加工过程或者其他原因工件表面会存在灰尘等杂质，若不对其进行处理直接进行镀膜的话可能会影响镀膜效果，另外工件在镀膜过程中的安装是固定不可翻转的，所以可能会存在工件底部未被镀膜机照顾到。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种多工位的真空镀膜设备，具有清灰方便，及时翻转特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种多工位的真空镀膜设备，包括真空箱，所述真空箱的内部安装有固定架，且真空箱的内部设置有清灰组件，所述固定架本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多工位的真空镀膜设备，包括真空箱（1），其特征在于：所述真空箱（1）的内部安装有固定架（7），且真空箱（1）的内部设置有清灰组件（5），所述固定架（7）的下端连接有镀膜头（3），所述清灰组件（5）包括吸头（502）、软毛刷（503）、风机（507）、导气管（508）、弯管（509）、连接板（510）、抽气管（511）、活动块一（512）和丝杆（513），其中，所述真空箱（1）的内部连接有丝杆（513），且真空箱（1）的外侧安装有风机（507），所述丝杆（513）的外周安装有活动块一（512），所述活动块一（512）的上端连接有连接板（510），所述连接板（510）的内部贯穿有抽气管（5...

【技术特征摘要】
1.一种多工位的真空镀膜设备，包括真空箱（1），其特征在于：所述真空箱（1）的内部安装有固定架（7），且真空箱（1）的内部设置有清灰组件（5），所述固定架（7）的下端连接有镀膜头（3），所述清灰组件（5）包括吸头（502）、软毛刷（503）、风机（507）、导气管（508）、弯管（509）、连接板（510）、抽气管（511）、活动块一（512）和丝杆（513），其中，所述真空箱（1）的内部连接有丝杆（513），且真空箱（1）的外侧安装有风机（507），所述丝杆（513）的外周安装有活动块一（512），所述活动块一（512）的上端连接有连接板（510），所述连接板（510）的内部贯穿有抽气管（511），且连接板（510）的下端连接有软毛刷（503），所述抽气管（511）的下端连通有吸头（502），且抽气管（511）的上端连通有弯管（509），所述风机（507）的输入端连接有一端延伸至真空箱（1）内部并与弯管（509）连接的导气管（508）。


2.根据权利要求1所述的一种多工位的真空镀膜设备，其特征在于：所述清灰组件（5）还包括把手（501）、活动块二（514）和限位杆（515），其中，所述真空箱（1）的内部连接有限位杆（515），所述限位杆（515）的外周安装有与连接板（510）连接的活动块二（514），所述丝杆（513）延伸至真空箱（1）外侧的一端连接有把手（501），且丝杆（513）通过转动轴承与真空箱（1）的内壁连接。


3.根据权利要求1所述的一种多工位的真空镀膜设备，其特征在于：所述清灰组件（5）还包括过滤筒（504）、滤网（505）和排气管（506），其中，所述真空箱（1）的外侧安装有过滤筒（504），所述过滤筒（504）的内部连接有滤网（50...

【专利技术属性】
技术研发人员：李君垚，
申请(专利权)人：深圳市玉晶睐眼镜有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44