一种真空镀膜机的传动系统技术方案

本实用新型专利技术公开了真空镀膜机技术领域的一种真空镀膜机的传动系统，包括底板，底板的上壁面安装有镀膜机壳体结构，镀膜机壳体结构的内部安装有工件旋转结构，镀膜机壳体结构的左壁面安装有真空结构；镀膜机壳体结构包括：镀膜机壳体、加热板以及等离子发生器；镀膜机壳体安装在底板的上壁面，加热板安装在镀膜机壳体的内壁面，等离子发生器安装在镀膜机壳体的内部。本实用新型专利技术与传统的真空镀膜机相比，使工件放置架上放置的工件进行旋转，配合能够完全包裹住工件放置架的加热板，使工件无论在工件放置架的任何位置，都可以被加热，解决因工件放置架与加热板之间的位置相对固定，而导致工件在进行镀膜时受热不均匀，提高工件的镀膜成品品质。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的传动系统
本技术涉及真空镀膜机
领域，具体是一种真空镀膜机的传动系统。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。但是，现有的技术在进行镀膜工作时，传统的真空镀膜机中的工件放置架与加热板之间的位置大多是相对固定的，极易使工件在进行镀膜时受热不均匀，从而导致工件镀膜不完全，影响工件的镀膜品质，同时不能对不同规格的工件进行调整，导致不同规格的工件的成品品质无法得到保证。因此，本领域技术人员提供了一种真空镀膜机的传动系统，以解决上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的传动系统，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上壁面安装有镀膜机壳体结构，所述镀膜机壳体结构的内部安装有工件旋转结构，所述镀膜机壳体结构的左壁面安装有真空结构；/n所述镀膜机壳体结构包括：镀膜机壳体(2)、加热板(3)以及等离子发生器(4)；/n所述镀膜机壳体(2)安装在底板(1)的上壁面，所述加热板(3)安装在镀膜机壳体(2)的内壁面，所述等离子发生器(4)安装在镀膜机壳体(2)的内部。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的传动系统，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上壁面安装有镀膜机壳体结构，所述镀膜机壳体结构的内部安装有工件旋转结构，所述镀膜机壳体结构的左壁面安装有真空结构；
所述镀膜机壳体结构包括：镀膜机壳体(2)、加热板(3)以及等离子发生器(4)；
所述镀膜机壳体(2)安装在底板(1)的上壁面，所述加热板(3)安装在镀膜机壳体(2)的内壁面，所述等离子发生器(4)安装在镀膜机壳体(2)的内部。


2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的传动系统，其特征在于，所述工件旋转结构包括：驱动电机(5)、第一转盘(6)、工件放置架(7)以及第二转盘(8)；
所述驱动电机(5)安装在镀膜机壳体(2)的上壁面，所述第一转盘(6)安装在驱动电机(5)的下壁面，所述工件放置架(...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯伟，吴海平，杜晓颖，杜国才，
申请(专利权)人：深圳市长兴荣五金制品有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44