一种用于pvd加工的挂具制造技术

技术编号:28376584 阅读:19 留言:0更新日期:2021-05-08 00:04
本实用新型专利技术公开了一种用于pvd加工的挂具,涉及PVD挂具设备领域,包括固定杆,所述固定杆的顶端设置有挂钩,且固定杆的底端设置有螺纹杆,所述固定杆的外壁设置有固定套筒,且固定杆的外壁位于固定套筒的底端设置有支撑板。本实用新型专利技术通过设置挂杆、挂架、固定套筒、连接杆、限位槽,转动所有挂杆,使其与支撑板上的限位槽分离,挂杆向上转动时通过连接杆带动转动座在滑槽中上移,并与磁吸块相吸固定,从而使挂杆以及挂架被固定,此方式可将调节角度时多余的挂杆固定在支撑板的上方,然后将需要使用的挂杆向下转动卡合在支撑板上的限位槽中,则挂杆角度调节完成,有效解决了挂具无法根据工件尺寸调节挂架的角度的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于pvd加工的挂具
本技术涉及PVD挂具设备领域,具体为一种用于pvd加工的挂具。
技术介绍
PVD(物理气相沉积)镀膜中需要将镀膜工件悬挂在镀膜真空腔中进行真空镀膜,目前,镀膜工艺广泛应用于光学、半导体等诸多领域,现有镀膜工艺通常以物理蒸镀法为主,其操作方法一般是将待镀膜工件洗净后置于一支撑机构上,送入镀膜机进行加热及抽真空,在待镀膜工件周围环境形成高真空状态后,加热薄膜材料,以将薄膜材料由固态转化为气态或离子态,并由蒸发源穿越空间,抵达待镀膜工件表面,在表面上沉积而逐渐形成薄膜。目前的pvd挂具的挂架位置固定,无法根据工件的大小,进行角度调节,导致挂具无法适应其他工件的固定,且将工件挂在挂架上时,在移动时,工件容易掉落,导致工件的损坏。
技术实现思路
本技术的目的在于:为了解决挂具无法根据工件尺寸调节挂架的角度和工件容易从挂架上掉落的问题,提供一种用于pvd加工的挂具。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于pvd加工的挂具,包括固定杆,所述固定杆的顶端设置有挂钩,且固定杆的底端设置有螺纹杆,所述固定杆的外壁设置有固定套筒,且固定杆的外壁位于固定套筒的底端设置有支撑板,所述固定套筒的内侧设置有滑槽,所述滑槽的下方设置有活动槽,且滑槽的内侧设置有转动座,所述转动座的一侧设置有连接杆,所述连接杆的底端设置有挂杆,所述挂杆的一侧设置有挂架,所述挂架的顶端设置有弹簧,所述弹簧的顶端设置有卡板,所述卡板的一端设置有卡架。优选地,所述固定套筒焊接在固定杆的外壁,所述螺纹杆的底端设置有延长杆。优选地,所述固定杆与延长杆通过螺纹杆活动连接,所述连接杆与固定套筒、挂杆皆通过转动座转动连接。优选地,所述支撑板上设置有限位槽,且挂杆与限位槽卡合连接。优选地,所述弹簧焊接在挂架的顶端,且挂架焊接在挂杆的一侧。优选地,所述卡架与挂杆卡合连接,所述卡架焊接在卡板的一端。优选地,所述滑槽的数量为多个,且滑槽的内侧设置有磁吸块,所述活动槽与挂杆通过滑块活动连接。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1、本技术通过设置挂杆、挂架、固定套筒、连接杆、限位槽,转动所有挂杆,使其与支撑板上的限位槽分离,挂杆向上转动时通过连接杆带动转动座在滑槽中上移,并与磁吸块相吸固定,从而使挂杆以及挂架被固定,此方式可将调节角度时多余的挂杆固定在支撑板的上方,然后将需要使用的挂杆向下转动卡合在支撑板上的限位槽中,则挂杆角度调节完成,有效解决了挂具无法根据工件尺寸调节挂架的角度的问题。2、本技术通过设置卡板、卡架、挂架、挂杆、弹簧,若工件固定不稳,容易掉落,则将卡板带动卡架向挂杆一侧转动,且拉动卡板使带动弹簧向挂杆一侧拉伸,使其卡板一端的卡架与挂杆卡合,则在弹簧的拉力下,使卡板、卡架与挂杆卡合固定,从而可防止工件从挂架上掉落,有效解决了工件容易从挂架上掉落的问题。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术的支撑板示意图;图3为本技术的卡板示意图;图4为本技术的卡架示意图;图5为本技术的固定套筒示意图。图中:1、固定杆;2、挂钩;3、固定套筒;4、滑槽;5、活动槽;6、转动座;7、连接杆;8、挂杆;9、支撑板;10、限位槽;11、挂架;12、弹簧;13、卡板;14、卡架;15、螺纹杆;16、延长杆;17、磁吸块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面根据本技术的整体结构,对其实施例进行说明。请参阅图1-5,一种用于pvd加工的挂具,包括固定杆1,固定杆1的顶端设置有挂钩2,且固定杆1的底端设置有螺纹杆15,固定杆1的外壁设置有固定套筒3,且固定杆1的外壁位于固定套筒3的底端设置有支撑板9,固定套筒3的内侧设置有滑槽4,滑槽4的下方设置有活动槽5,且滑槽4的内侧设置有转动座6,转动座6的一侧设置有连接杆7,连接杆7的底端设置有挂杆8,挂杆8的一侧设置有挂架11,挂架11的顶端设置有弹簧12,弹簧12的顶端设置有卡板13,卡板13的一端设置有卡架14。请着重参阅图1,固定套筒3焊接在固定杆1的外壁,便于将固定套筒3固定在固定杆1上,螺纹杆15的底端设置有延长杆16,延长杆16用于增加固定杆1的长度,便于更多工件镀膜,固定杆1与延长杆16通过螺纹杆15活动连接,便于通过螺纹杆15将延长杆16固定在固定杆1的底端,连接杆7与固定套筒3、挂杆8皆通过转动座6转动连接,便于拉动挂杆8转动,使其通过连接杆7以及转动座6进行转动。请着重参阅图2,支撑板9上设置有限位槽10,限位槽10用于对挂杆8进行卡合固定,且挂杆8与限位槽10卡合连接,便于将挂杆8固定在限位槽10中。请着重参阅图3,弹簧12焊接在挂架11的顶端,便于将弹簧12固定后,可对卡板13进行固定,且挂架11焊接在挂杆8的一侧,便于挂杆8带动挂架11进行转动。请着重参阅图4,卡架14与挂杆8卡合连接,将卡架14与挂杆8卡合后,可将卡架14与挂杆8固定,从而使卡板13固定在挂杆8上,卡架14焊接在卡板13的一端,便于卡板13带动卡架14活动。请着重参阅图5,滑槽4的数量为多个,多个滑槽4对多个转动座6进行限位,便于转动座6上下移动,且滑槽4的内侧设置有磁吸块17,磁吸块17用于固定转动座6,活动槽5与挂杆8通过滑块活动连接,便于挂杆8在活动槽5中活动,可进行角度调节。工作原理:本技术使用时,根据需要镀膜的工件大小,调节挂杆8的角度,转动所有挂杆8,使其与支撑板9上的限位槽10分离,挂杆8向上转动时通过连接杆7带动转动座6在滑槽4中上移,并与磁吸块17相吸固定,从而使挂杆8以及挂架11被固定,此方式可将调节角度时多余的挂杆8固定在支撑板9本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于pvd加工的挂具,包括固定杆(1),其特征在于:所述固定杆(1)的顶端设置有挂钩(2),且固定杆(1)的底端设置有螺纹杆(15),所述固定杆(1)的外壁设置有固定套筒(3),且固定杆(1)的外壁位于固定套筒(3)的底端设置有支撑板(9),所述固定套筒(3)的内侧设置有滑槽(4),所述滑槽(4)的下方设置有活动槽(5),且滑槽(4)的内侧设置有转动座(6),所述转动座(6)的一侧设置有连接杆(7),所述连接杆(7)的底端设置有挂杆(8),所述挂杆(8)的一侧设置有挂架(11),所述挂架(11)的顶端设置有弹簧(12),所述弹簧(12)的顶端设置有卡板(13),所述卡板(13)的一端设置有卡架(14)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于pvd加工的挂具,包括固定杆(1),其特征在于:所述固定杆(1)的顶端设置有挂钩(2),且固定杆(1)的底端设置有螺纹杆(15),所述固定杆(1)的外壁设置有固定套筒(3),且固定杆(1)的外壁位于固定套筒(3)的底端设置有支撑板(9),所述固定套筒(3)的内侧设置有滑槽(4),所述滑槽(4)的下方设置有活动槽(5),且滑槽(4)的内侧设置有转动座(6),所述转动座(6)的一侧设置有连接杆(7),所述连接杆(7)的底端设置有挂杆(8),所述挂杆(8)的一侧设置有挂架(11),所述挂架(11)的顶端设置有弹簧(12),所述弹簧(12)的顶端设置有卡板(13),所述卡板(13)的一端设置有卡架(14)。


2.根据权利要求1所述的一种用于pvd加工的挂具,其特征在于:所述固定套筒(3)焊接在固定杆(1)的外壁,所述螺纹杆(15)的底端设置有延长杆(16)。


3.根据权利要求1所述的一种用于pv...

【专利技术属性】
技术研发人员:张红星张小健樊天柱
申请(专利权)人:昆山市正行电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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