太阳能选择性吸收涂层的制备方法及涂层技术

本发明专利技术提供一种太阳能选择性吸收涂层的制备方法及涂层，其制备方法包括如下步骤：将基体材料清洗干净并干燥；采用Mo靶通过磁控溅射法在基体材料上制备红外反射层；以Ar气和N

【技术实现步骤摘要】
太阳能选择性吸收涂层的制备方法及涂层
本专利技术属于太阳能利用的
，具体涉及一种太阳能选择性吸收涂层的制备方法及涂层。
技术介绍
太阳能是清洁能源也是可再生能源，增强清洁能源和可再生能源发电技术的开发与应用，是降低常规能源消耗、减少污染排放的有效途径之一。目前世界上太阳能发电分为光伏发电和聚热发电两种方式。光伏发电已经形成成熟技术，而聚热发电还处于起步阶段。但是光伏发电成本高、转化率低、存储条件苛刻。太阳能热发电就是通过聚光集热器聚焦太阳直射光，将太阳能聚集起来产生高温热能，加热真空集热管里面的工质，产生高温，再通过换热设备加热水产生高温高压的蒸汽，驱动汽轮机发电机组发电。太阳能选择性吸收涂层在波长范围为0.3μm-2.5μm的太阳光波段具有高吸收率α，在波长范围为2.5μm-25μm的红外波段具有低发射率ε，因此，太阳能选择性吸收涂层广泛应用于太阳能集热器或集热管，是实现太阳能光热转换的核心材料。目前已广泛使用的黑镍、黑铬以及Ni-Al2O3体系等太阳能选择性吸收涂层，在中低温环境下表现出优异的光学性能，但在中高温条件下(≥50本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤1：将基体材料清洗干净并干燥；/n步骤2：采用Mo靶通过磁控溅射法在基体材料上制备红外反射层；/n步骤3：以Ar气和N

【技术特征摘要】
1.一种太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：将基体材料清洗干净并干燥；
步骤2：采用Mo靶通过磁控溅射法在基体材料上制备红外反射层；
步骤3：以Ar气和N2气的混合气体为反应气体，通过Mo靶和Al靶，采用磁控溅射法在红外反射层上制备高金属含量吸收层；
步骤4：以Ar气、N2和O2的混合气体为反应气体，通过Mo靶和Al靶，采用磁控溅射法在高金属含量吸收层上制备低金属含量吸收层；
步骤5：以Ar气和O2的混合气体为反应气体，通过Mo靶和Al靶，采用磁控溅射法在低金属含量吸收层上制备减反层。


2.根据权利要求1所述的太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，步骤2中，在制备红外反射层时的腔室压力为0.7-0.85Pa，Mo靶的直流功率为60-80W。


3.根据权利要求1所述的太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，步骤3中，溅射时的腔室压力为0.7-0.95Pa，Mo靶的溅射功率分别为40-60W，Al靶的溅射功率为60-80W。


4.根据权利要求1所述的太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，步骤4中，溅射时的腔室压力为0.75-1Pa，Mo靶的溅射功率为40-60W，Al靶的溅射功率为60-80W。

【专利技术属性】
技术研发人员：闵捷，陈宇飞，兰亚鹏，古龙，
申请(专利权)人：湖北工业大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42