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本发明公开了一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其包括镀膜室和用于支承镀膜室的机架，镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板上、另一端...
该专利属于广东汇成真空科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东汇成真空科技股份有限公司授权不得商用。

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