一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置制造方法及图纸

本申请涉及一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，涉及阀门的领域，其包括缠绕于蝴蝶阀的外侧的水路管，水路管的两端设置有连接管，连接管上还设置有用于加热液体的加热器，连接管与水路管中均充满液体。本申请具有减少高温反应气体遇冷凝华成附着物的产生，减少管道的堵塞的效果。道的堵塞的效果。道的堵塞的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置


[0001]本申请涉及阀门的领域，尤其是涉及一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置。

技术介绍

[0002]蝴蝶阀由阀壳和阀体构成。蝴蝶阀具有可旋转的圆盘形或双平板形的活门，用以截断水流的阀门，蝴蝶阀的转动轴线与水流方向垂直，当阀体平面处于与水流方向垂直状态时，阀门关闭。
[0003]相关技术中，如公开号为CN209228464U的中国专利，一种发动机排放用蝴蝶阀，包括手轮、传动座、轴套、加固板、阀体、阀座、阀板、圆柱销、压环、弹簧、安装套、橡胶圈以及密封圈，手轮安装在传动座左端面，传动座底部安装有轴套，轴套底部固定有阀体，阀体底部固定有阀座，阀体上下两侧固定有加固板，阀体内侧装配有阀板，阀板前后两侧固定有圆柱销，压环固定在阀体环形侧面，压环前侧装配有弹簧，安装套设置在阀体环形侧面前侧，阀体内环形侧面固定有密封圈，安装套内环形侧面前侧装配有橡胶圈。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为，工业上一些制成的气体，在高温的环境下进行反应，在通过常温中环境中的蝶阀后，高温反应气体遇冷凝华成附着物，而久之会堵塞管路，影响设备的排气和PCV角度变化，还有改进的空间。

技术实现思路

[0005]为了减少高温反应气体遇冷凝华成附着物的产生，减少管道的堵塞，本申请提供一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置。
[0006]本申请提供的一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，采用如下的技术方案：
[0007]一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，包括缠绕于蝴蝶阀的外侧的水路管，所述水路管的两端设置有连接管，所述连接管上还设置有用于加热液体的加热器，所述连接管与水路管中均充满液体。
[0008]通过采用上述技术方案，通过水路管的的设置，从而将蝴蝶阀的外部进行缠绕，配合连接管以及加热器的使用，以提高蝴蝶阀的温度，有效改善附着物的生成，延长维护周期，从而可以降低成本。
[0009]可选的，所述连接管上还设置有进水温度计以及出水温度计，且所述加热器上还设置有温度控制器。
[0010]通过采用上述技术方案，进水温度计的设置，从而对进水的温度进行检测，出水温度计的设置，从而对出水的温度进行设置，配合温度控制器的使用，从而对加热器的温度进行控制，更加智能。
[0011]可选的，所述连接管上还连接有单向阀以及回水器。
[0012]通过采用上述技术方案，通过单向阀的设置，从而防止水路的回流，从而提高了整体的水流流通性，而回水器的设置，将水流进行流动，从而提高整体的流通性。
[0013]可选的，所述水路管包括缠绕半管以及设置于缠绕半管上的连接环；
[0014]还包括设置于蝴蝶阀上的支耳，所述连接环上还设置有固定片，所述固定片插入于支耳上并通过螺栓固定。
[0015]通过采用上述技术方案，通过连接环的设置，从而将缠绕半管之间互相拼接，并且连接环之间通过螺栓进行固定，以提高整体的稳定性，通过支耳的设置，配合固定片的使用，从而将蝴蝶阀与连接环之间进行限位，再通过螺栓进行固定，进一步的提高了整体的稳定性，实用性强。
[0016]可选的，所述缠绕半管的一端设置有插筒，所述缠绕半管的另一端设置有供插筒插入的插槽。
[0017]通过采用上述技术方案，通过插筒的设置，配合插槽的使用，从而将两个缠绕半管之间进行连接，并且减少内部液体的流出，提高整体的密封性能，实用性强。
[0018]可选的，所述缠绕半管上设置有与插筒抵触连接的垫片，所述缠绕半管上开设有供垫片安装的安装槽，且所述安装槽与插槽互相连通。
[0019]通过采用上述技术方案，通过垫片的设置，从而将插筒进行缓冲，并且也将进行密封，而安装槽的设置，进一步的提高了整体的稳定性，减少垫片窜动，实用性强。
[0020]可选的，所述连接环上还设置有磁铁，所述连接环上开设有供磁铁安装的嵌槽；
[0021]且相邻所述连接环上的磁铁互相吸合。
[0022]通过采用上述技术方案，通过磁铁的设置，从而将相邻两个连接环进行互相吸合，以方便螺栓将两个连接环进行吸合固定，嵌槽的设置，进一步对磁铁进行安装，实用性强。
[0023]可选的，所述水路管远离蝴蝶阀的一侧还设置有隔热套。
[0024]通过采用上述技术方案，通过隔热套的设置，从而将蝴蝶阀的温度进行保温，减少热量的流失，并且隔热套的还能减少对工作人员的烫伤，提高了使用的安全性。
[0025]可选的，所述连接环上远离水路管的一侧还设置有连接片，所述隔热套上设置有与连接片对应并通过螺栓连接连接片的安装片。
[0026]通过采用上述技术方案，通过连接片的设置，配合安装片的使用，从而将隔热套进行进一步的固定，并且连接方便，操作简单，实用性强。
[0027]可选的，所述水路管靠近蝴蝶阀的一侧还缠绕有导热硅胶垫，所述导热硅胶垫位于蝴蝶阀与水路管之间。
[0028]通过采用上述技术方案，通过导热硅胶垫的设置，提高了整体的导热能力，从而进一步的减少高温反应气体遇冷凝华成附着物的产生，减少管道的堵塞，实用性强。
[0029]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0030]1.减少高温反应气体遇冷凝华成附着物的产生，减少管道的堵塞；
[0031]2.有效改善附着物的生成，延长维护周期，从而可以降低成本。
附图说明
[0032]图1是加热装置的系统示意图。
[0033]图2是加热装置的结构示意图。
[0034]图3是缠绕半管的安装示意图。
[0035]图4是图3中A部的放大示意图。
[0036]图5是隔热套的安装示意图。
[0037]附图标记说明：1、蝴蝶阀；2、水路管；3、连接管；31、加热器；4、进水温度计；5、出水温度计；6、温度控制器；7、单向阀；8、回水器；9、缠绕半管；10、连接环；11、插筒；12、插槽；13、垫片；14、安装槽；15、磁铁；16、嵌槽；17、支耳；18、固定片；19、隔热套；20、连接片；21、安装片；22、导热硅胶垫。
具体实施方式
[0038]以下结合附图1
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5对本申请作进一步详细说明。
[0039]本申请实施例公开一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，通过液体循环加热的方式，从而对蝴蝶阀1的外侧壁进行加热，以减少高温反应气体遇冷凝华成附着物的产生，减少管道的堵塞。
[0040]一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，包括缠绕于蝴蝶阀1的外侧的水路管2，水路管2的两端连接有连接管3，连接管3与水路管2中均充满液体，并且液体可以为水、油等导热的液体。
[0041]连接管3上位于进入水路管2的一侧安装有用于对进入水路管2的液体的水温进行检测的进水温度计4，连接管3上位于流出水路管2的一侧安装有用于对流出水路管2的液体的水温进行检测的出水温度计5。
[0042]连接管3上位于出水温度计5的水流方向上还安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，其特征在于：包括缠绕于蝴蝶阀（1）的外侧的水路管（2），所述水路管（2）的两端设置有连接管（3），所述连接管（3）上还设置有用于加热液体的加热器（31），所述连接管（3）与水路管（2）中均充满液体；所述连接管（3）上还设置有进水温度计（4）以及出水温度计（5），且所述加热器（31）上还设置有温度控制器（6）；所述连接管（3）上还连接有单向阀（7）以及回水器（8）。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，其特征在于：所述水路管（2）包括缠绕半管（9）以及设置于缠绕半管（9）上的连接环（10）；还包括设置于蝴蝶阀（1）上的支耳（17），所述连接环（10）上还设置有固定片（18），所述固定片（18）插入于支耳（17）上并通过螺栓固定。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，其特征在于：所述缠绕半管（9）的一端设置有插筒（11），所述缠绕半管（9）的另一端设置有供插筒（11）插入的插槽（12）。4.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备工艺控制阀加热装置，其特征在于：所述缠绕...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，林保璋，金補哲，李斗成，高东铉，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：