3d微电极的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种3d微电极的制备方法，包括以下步骤：(1)制备3d微电极的3d模型；(2)在所述3d模型上浇铸柔性材料，脱模后形成具有空腔的柔性模具，所述柔性模具的所述空腔与所述3d模型能够贴合；(3)对所述柔性模具进行硅烷化处理，然后在所述柔性模具具有所述空腔的一面浇铸柔性材料，脱模后形成柔性3d微电极基底；(4)在所述柔性3d微电极基底上制备导电层，形成3d微电极。本发明专利技术采用3d打印技术和两次倒模的方式，能够制备出超高微柱高度的3d微电极，同时由于使用柔性材料作为基底，形成的3d微电极具备低成本、快速、高精度和柔性的特质，可用于在可穿戴设备上的电化学分析领域。可用于在可穿戴设备上的电化学分析领域。可用于在可穿戴设备上的电化学分析领域。

【技术实现步骤摘要】
3d微电极的制备方法


[0001]本专利技术涉及电极的制备，尤其是涉及一种3d微电极的制备方法。

技术介绍

[0002]电化学研究是利用物质的电化学性质进行表征和测量的分析方法。采用电化学的分析方法不但可以实现自动记录分析结果，而且还有利于对痕量物质的检测，包括葡萄糖、肌氨酸和尿素等，在工业、农业、食品安全等方面应用广泛。
[0003]目前，微柱阵列电极主要是通过复杂的光刻工艺制造的，包括类似LIGA的工艺，碳化在基板上构图的光刻胶以及同质外延生长。Prehn等人已有报道利用光刻，金属化和电沉积技术制造了具有10μm柱高的微柱阵列电极。其次，Sanchez
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Molas等人用溅射和深反应离子刻蚀(DRIE)制备了具有更高微柱(最大125μm)的微柱阵列电极，这种方法显示出更好的清晰度和可重复性。然而，制造过程通常不仅昂贵而且耗时。另外，纵横比和立柱高度都受到光刻工艺的限制。此外，单纯使用3d技术制备电化学检测传感器，则需要购买高昂的3d打印机，且打印传感器的耗费时间长。由于制备高的微柱高度可获得更大的电极表面积，更大的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种3d微电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)制备3d微电极的3d模型；(2)在所述3d模型上浇铸柔性材料，脱模后形成具有空腔的柔性模具，所述柔性模具的所述空腔与所述3d模型能够贴合；(3)对所述柔性模具进行硅烷化处理，然后在所述柔性模具具有所述空腔的一面浇铸柔性材料，脱模后形成柔性3d微电极基底；(4)在所述柔性3d微电极基底上制备导电层，形成3d微电极。2.根据权利要求1所述的3d微电极的制备方法，其特征在于，所述柔性材料选自PDMS、PET、聚酰亚胺中的任一种。3.根据权利要求1所述的3d微电极的制备方法，其特征在于，所述3d微电极为阵列电极。4.根据权利要求3所述的3d微电极的制备方法，其特征在于，所述阵列电极中的单个电极为圆台形电极；优选所述圆台形电极的底圆半径为10～100μm，高度为100μm～2mm，圆台形电极之间的距离为100～500μm...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱永刚，陈超湛，陈华英，冉斌，刘波，吕传文，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学深圳，
类型：发明
国别省市：