一种等离子蚀刻装置及其方法制造方法及图纸

一种等离子蚀刻装置，包括工作箱以及夹持杆，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置密封门，所述工作空腔侧壁前后两侧侧壁中间位置设置定位块，所述定位块上下两侧分别设置定位柱，所述夹持杆一端分别与定位柱转动连接，所述工作空腔右侧侧壁设置液压杆，所述液压杆输出端设置定位板，所述定位板两端的上下两侧分别设置固定柱，所述固定柱分别转动连接第一传递杆，所述第一传递杆与夹持杆靠近定位柱一端分别铰接第二传递杆，通过夹持杆、第一传递杆、第二传递杆以及定位板的设置，便于对蚀刻板进行夹持固定。通过横杆、驱动电机以及支撑块的设置，便于控制气液两用喷头在蚀刻板范围内进行移动，使清洗更加均匀，清洗效果好。好。好。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子蚀刻装置及其方法


[0001]本专利技术涉及等离子蚀刻
，具体为一种等离子蚀刻装置及其方法。

技术介绍

[0002]现有的蚀刻过程中，涂敷感光胶方法是将加工好的蚀刻片直接放入涂敷机的滚轮上，滚轮转动后将感光胶直接涂敷在蚀刻片上，这种方法的主要缺点是：直接加工好的蚀刻片表面通常存在加工屑和各类灰尘，如果将蚀刻片直接放入涂敷机的滚轮上，将感光胶直接涂敷在蚀刻板上，蚀刻片表面原有的加工屑和各类灰尘，就会同感光胶一起固着在蚀刻板表面上。这些加工屑和各类灰尘存在于感光胶中，影响感光胶的涂敷质量，导致在蚀刻时出现各类蚀刻缺陷。
[0003]现有的设备中，存在一种蚀刻前清洁装置，这种装置主要通过将蚀刻板通过具有粘性的滚轮，清楚蚀刻板上的灰尘。这种装置虽然能够清楚蚀刻板上的灰尘，但是也存在以下几个问题：首先蚀刻板表面的灰尘有的附着比较牢固，有的附着并不牢固，如果全部通过粘性薄膜除去，会导致粘性薄膜频繁的更换，如果不及时更换就会影响清洁效果，加大了粘性薄膜的用量，也降低了清洁效率；其次原有的清洁设备中没有涉及蚀刻板的运送装置，也没有蚀刻板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子蚀刻装置，包括工作箱(1)以及夹持杆(2)，其特征在于：所述工作箱(1)内置工作空腔(3)，所述工作空腔(3)前端设置密封门(4)，所述工作空腔(3)侧壁前后两侧侧壁中间位置设置定位块(5)，所述定位块(5)上下两侧分别设置定位柱(6)，所述夹持杆(2)一端分别与定位柱(6)转动连接，所述工作空腔(3)右侧侧壁设置液压杆(7)，所述液压杆(7)输出端设置定位板(8)，所述定位板(8)两端的上下两侧分别设置固定柱(9)，所述固定柱(9)分别转动连接第一传递杆(10)，所述第一传递杆(10)与夹持杆(2)靠近定位柱(6)一端分别铰接第二传递杆(11)，所述夹持杆(2)远离定位柱(6)一端设置夹持块(12)，所述夹持块(12)与定位块(5)中间位置对应位置设置夹持槽，所述工作箱(1)顶端设置驱动电机(13)，所述驱动电机(13)输出端伸入工作空腔(3)内，所述驱动电机(13)输出端设置横杆(14)，所述横杆(14)底端设置调节置物槽(15)，所述调节置物槽(15)内转动设置螺纹杆(16)，所述横杆(14)远离驱动电机(13)一端设置调节电机(17)，所述调节电机(17)输出端与螺纹杆(16)连接，所述调节置物槽(15)内滑动设置支撑块(18)，所述支撑块(18)设置螺纹孔，所述螺纹杆(16)穿过螺纹孔，所述支撑块(18)底端设置气液两用喷头(19)，所述工作箱(1)左侧设置清洁箱(20)，所述清洁箱(20)顶端左侧设置水泵(21)，所述水泵(21)输入端与清洁箱(20)连接，所述清洁箱(20)内设置清洗液，所述水泵(21)输出端与气液两用喷头(19)连接，所述工作箱(1)顶端右侧设置气泵(22)，所述气泵(22)输出端与气液两用喷头(19...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟兴进，
申请(专利权)人：钟兴进，
类型：发明
国别省市：