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一种等离子蚀刻装置，包括工作箱以及夹持杆，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置密封门，所述工作空腔侧壁前后两侧侧壁中间位置设置定位块，所述定位块上下两侧分别设置定位柱，所述夹持杆一端分别与定位柱转动连接，所述工作空腔右侧侧壁设置液压...
该专利属于钟兴进所有，仅供学习研究参考，未经过钟兴进授权不得商用。

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