夹具及扩散装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及夹具及扩散装置。夹具用于装配喷射管和扩散炉，夹具包括，安装座；以及定位部件，设置于安装座上，定位部件包括互相连接的定位件和连接件，定位件成对设置于连接件的两侧，连接件和位于两侧的定位件界定导向槽，导向槽对喷射管导向和定位。根据本实用新型专利技术的夹具，可以提高装置的有效运转时间，并且可以防止扩散过程中碰撞产生颗粒等现象，降低硅片的报废概率。硅片的报废概率。硅片的报废概率。

【技术实现步骤摘要】
夹具及扩散装置


[0001]本技术涉及半导体制造
，特别是涉及夹具及扩散装置。

技术介绍

[0002]扩散装置是半导体生产过程中的重要装置，主要用于对半导体进行元素掺杂，即将硅片放置于扩散炉中，包含扩散源的气体由喷射管扩散至扩散炉内，扩散源与硅片发生化学反应，实现扩散过程并形成改变晶片内杂质的类型、浓度和分布。例如，通过扩散工艺，在P型硅片中掺杂磷等五价元素，磷取代晶格中硅原子的位置形成N型半导体，从而形成PN结。
[0003]在扩散装置装配过程中或者扩散过程中，可能由于设备安装不牢固，导致扩散装置的损坏，并可能造成硅片的损伤，造成硅片浪费。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种夹具及扩散装置，可以提高装置的有效运转时间，并且可以防止扩散过程中碰撞产生颗粒等现象，降低硅片的报废概率。
[0005]第一方面，本技术提出了一种夹具，用于装配喷射管和扩散炉，夹具包括，安装座；以及定位部件，设置于安装座上，定位部件包括互相连接的定位件和连接件，定位件成对设置于连接件的两侧，连接件和位于两侧的定位件界定导向槽，导向槽对喷射管导向和定位。
[0006]根据本技术第一方面的实施例中，夹具还包括设置于安装座上的紧固部件，紧固部件相对安装座位置可调，紧固部件与定位部件连接。
[0007]根据本技术第一方面的前述任一实施例中，紧固部件包括紧固部，紧固部为紧固槽或紧固孔，安装座设置有与紧固部相适配的槽或孔。
[0008]根据本技术第一方面的前述任一实施例中，导向槽的形状和喷射管的外部轮廓相适配。
[0009]根据本技术第一方面的前述任一实施例中，定位部件个数为多个，多个定位部件沿安装座的延伸方向相互间隔设置，至少两个导向槽的形状不同，不同形状的导向槽分别用于定位和导向不同规格的喷射管。
[0010]根据本技术第一方面的前述任一实施例中，安装座为弧形片状结构体，定位部件的至少部分凸出于安装座，导向槽的截面积沿背离安装座的方向逐级减小。
[0011]根据本技术第一方面的前述任一实施例中，定位部件还包括引导件，引导件与定位件背离连接件方向的一侧连接，并用于引导喷射管移动至导向槽。
[0012]根据本技术第一方面的前述任一实施例中，引导件和定位件圆滑过渡连接。
[0013]根据本技术第一方面的前述任一实施例中，安装座和导向槽之间具有80
°
～90
°
的夹角。
[0014]第二方面，本技术提出了一种扩散装置，其包括扩散炉；以及第一方面的任一
实施例的夹具，夹具的安装座安装于扩散炉上，夹具的定位部件位于扩散炉内，定位部件的导向槽朝向扩散炉内延伸。
[0015]根据本技术的实施例，在辅助喷射管安装于扩散炉时，安装座安装于扩散炉上，定位部件具有用于容纳喷射管的导向槽，导向槽对喷射管导向和定位，喷射管可以被准确定位，由此可以保证喷射管和扩散炉内壁之间的安全间距，避免安装过程中喷射管和扩散炉内壁的碰撞；在扩散过程中，导向槽可以夹持喷射管，防止喷射管发生振动导致位置偏移，结构稳固，从而降低了扩散过程中喷射管和扩散炉发生碰撞的可能性；提高设备的有效运转时间；并且可以防止碰撞产生颗粒等现象，降低硅片的报废概率。
附图说明
[0016]下面将参考附图来描述本技术示例性实施例的特征、优点和技术效果。
[0017]图1是根据本技术一种实施例提供的夹具的立体图之一；
[0018]图2是根据本技术一种实施例提供的夹具的立体图之二；
[0019]在附图中，附图未必按照实际的比例绘制。
[0020]其中，图中各附图标记为：
[0021]1‑
安装座；
[0022]11
‑
第一安装孔；12
‑
第二安装孔；
[0023]2‑
定位部件，21
‑
定位件；22
‑
连接件；23
‑
导向槽；24
‑
引导件；241
‑
第一引导板；242
‑
第二引导板。
[0024]3‑
紧固部件，31
‑
紧固部。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本技术的原理，但不能用来限制本技术的范围，即本技术不限于所描述的实施例。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。“垂直”并不是严格意义上的垂直，而是在误差允许范围之内。“平行”并不是严格意义上的平行，而是在误差允许范围之内。
[0027]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]应当理解，在描述部件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将部件翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一个区域“下面”或“下方”。
[0029]为了更好地理解本技术，下面结合图1～图2对本技术实施例进行描述。
[0030]第一方面，本技术实施例提供了一种夹具。图1和图2是根据本技术实施例提供的夹具的结构示意图。该夹具可以用于装配喷射管和扩散炉，如图1和图2所示，夹具包括安装座1和定位部件2。
[0031]安装座1，作为安装和支撑基础，可以用于将其他部件安装于安装座1上。将安装座1安装于扩散炉上，以实现夹具和扩散炉的装配。可以理解的是，安装座1上可开设第二安装孔12，扩散炉上开设对应的孔或槽，便于精确安装扩散炉和安装座1。
[0032]定位部件2，定位部件2安装于安装座1上，定位部件2用于对喷射管进行定位和导向，防止喷射管在安装或扩散过程中发生位置偏移。具体地，定位部件2可以包括定位件21和连接件22，定位件21和连接件22连接，并且定位件21为两个，两个定位件21分别设置于连接件22的两侧，连接件22和位于连接件22两侧的定位件21界定导向槽23，导向槽23能够容纳喷射管，在喷射管轴向上，导向槽23可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹具，用于装配喷射管和扩散炉，其特征在于，所述夹具包括：安装座；以及定位部件，设置于所述安装座上，所述定位部件包括互相连接的定位件和连接件，所述定位件成对设置于所述连接件的两侧，所述连接件和位于两侧的所述定位件界定导向槽，所述导向槽对所述喷射管导向和定位。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括设置于所述安装座上的紧固部件，所述紧固部件相对所述安装座位置可调，所述紧固部件与所述定位部件连接。3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述紧固部件包括紧固部，所述紧固部为紧固槽或紧固孔，所述安装座设置有与所述紧固部相适配的槽或孔。4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述导向槽的形状和所述喷射管的外部轮廓相适配。5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述定位部件个数为多个，多个所述定位部件沿所述安装座的延伸方向相互间隔设置，至少两个所述导向槽的形状不同，不同形状的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：任国威，范宜灏，王斌，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：