【技术实现步骤摘要】
一种高压离子源电源
本技术涉及电源
，具体为一种高压离子源电源。
技术介绍
气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子，并被引出成束，根据不同的使用条件和用途，已研制出多种类型的离子源，使用较广泛的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源，高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的，也有广泛的用途。现有的离子源电源可以满足足够的产能要求，但在其内部的防护性能上仍有所欠缺，在开关离子源电源时容易产生电弧、静电放电的现象，如果不加以控制和防护，对离子源电源的工作性能会产生一定的不利影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种通自我保护结构来彻底阻断电源关闭后的电性连接来减小电弧、静电干扰现象的产生，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高压离子源电源，包含箱体组件、导线管、封盖组件、内电源组件，所述箱体组件的一侧外壁穿插有导线管，且...
【技术保护点】
1.一种高压离子源电源，包含箱体组件(1)、导线管(2)、封盖组件(3)、内电源组件(4)，所述箱体组件(1)的一侧外壁穿插有导线管(2)，且箱体组件(1)的上表面配合有封盖组件(3)，所述箱体组件(1)内远离导线管(2)的一侧设有内电源组件(4)，其特征在于：所述箱体组件(1)中靠近内电源组件(4)的一侧设有具有自我保护结构的控制组件(5)；/n所述控制组件(5)包括PCB板(51)、总开关(52)、PLC控制器(53)、指示灯(54)、滤波器(55)、转换组件(56)、电容(57)及连接座(58)，所述箱体组件(1)内靠近内电源组件(4)的一侧设有PCB板(51)，所述...
【技术特征摘要】
1.一种高压离子源电源，包含箱体组件(1)、导线管(2)、封盖组件(3)、内电源组件(4)，所述箱体组件(1)的一侧外壁穿插有导线管(2)，且箱体组件(1)的上表面配合有封盖组件(3)，所述箱体组件(1)内远离导线管(2)的一侧设有内电源组件(4)，其特征在于：所述箱体组件(1)中靠近内电源组件(4)的一侧设有具有自我保护结构的控制组件(5)；
所述控制组件(5)包括PCB板(51)、总开关(52)、PLC控制器(53)、指示灯(54)、滤波器(55)、转换组件(56)、电容(57)及连接座(58)，所述箱体组件(1)内靠近内电源组件(4)的一侧设有PCB板(51)，所述PCB板(51)上表面固定安装有总开关(52)，且PCB板(51)靠近总开关(52)的一侧固定安装有PLC控制器(53)，所述PCB板(51)上表面的一侧固定安装有指示灯(54)，所述PLC控制器(53)远离指示灯(54)的一侧依次电性连接有滤波器(55)、转换组件(56)、电容(57)及连接座(58)，所述转换组件(56)与电极柱(44)通过导线电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种高压离子源电源，其特征在于：所述转换组件(56)包括安装箱(561)、固定座(562)、接电槽板(563)、过线管(564)、插板(565)及防护组件(566)，所述PCB板(51)上表面固定安装有安装箱(561)，所述安装箱(561)远离PCB板(51)一侧的外壁上对称地固定安装有固定座(562)，所述固定座(562)上表面固定安装有接电槽板(563)，且接电槽板(563)远离安装箱(561)的一侧等距连通有过线管(564)，所述过线管(564)远离接电槽板(563)的一端连通在插板(565)上表面，所述安装箱(561)上接电槽板(563)的垂直侧设有防护组件(566)。
3.根据权利要求2所述的一种高压离子源电源，其特征在于：所述防护组件(566)包括电机(5661)、半圆盘(5662)、转盘(5663)、传动轴(5664)、止停板(5665)、转板(5666)、二极管(5667)、触头(5668)及滑轴(5669)，所述安装箱(561)的一侧固定安装有电机(5661)，所述电机(5661)的输出轴上固定安装有半圆盘(5662)...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴晓军，
申请(专利权)人：深圳市英能电气有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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