一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源制造技术

本实用新型专利技术公开一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，包括：操作面板和接口，所述操作面板的一侧安装有外壳，所述外壳的顶部安装有顶盖，所述外壳的两侧安装有散热孔，所述接口安装在外壳的背面，所述接口的两侧连接有夹块；该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源的有益效果是：在需要对导线进行限位的时候，可以将导线连接到接口上，然后通过活动块通过活动弹簧进行复位，此时就可以使得转动块带动夹块通过连接块与转轴沿着外壳进行旋转，此时就可以通过夹块将电源线限位在接口处，从而避免导线松动脱落影响使用者正常的正常使用需求的问题，这就是该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源的使用特点。控溅射电源的使用特点。控溅射电源的使用特点。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源


[0001]本技术涉及中频磁控溅射电源
，具体为一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源。

技术介绍

[0002]中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，电源输出频率设为典型的中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，特别适用于反应膜层环境使用。为了保证中频磁控溅射电源输入和输出，就需要使用到电源连接器。
[0003]中频磁控溅射电源通常都是通过导线与电源连接器给中频磁控溅射电源进行供电，并且通过两个靶交替工作，起到从而满足对中频磁控溅射设备的供电需求，现在使用的中频磁控溅射电源为了方便使用者进行操作，都是直接将导线通过接口连接到中频磁控溅射电源上，但是在长时间使用的过程中，导线的可能会产生松动脱落，此时导线就无法给中频磁控溅射电源进行供电，从而影响整个中频磁控溅射电源的使用效果，因此不方便使用者进行操作。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，以解决上述
技术介绍
提出的现在使用的中频磁控溅射电源在使用的时候容易出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，包括：操作面板和接口，其特征在于，所述操作面板的一侧安装有外壳，所述外壳的顶部安装有顶盖，所述外壳的两侧安装有散热孔，所述接口安装在外壳的背面；所述接口的两侧连接有夹块，所述夹块的顶部通过转轴连接有转动块，所述转动块的顶部安装有活动块，所述接口的顶部安装有固定块，所述固定块内部安装有活动弹簧，所述夹块的底部安装有连接块。2.根据权利要求1所述的一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，其特征在于：所述连接块与夹块之间为固定连接，且连接块通过转轴与外壳之间相连接。3.根据权利要求1所述的一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，其特征在于：所述夹块关于接口的中心线对称安装有两组。4.根据权利要求1所述的一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，其特征在于：所述活动块关于固定块的中心线对称安装有两组，且固定块与外...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴晓军，
申请(专利权)人：深圳市英能电气有限公司，
类型：新型
国别省市：