一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源制造技术

本实用新型专利技术公开一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，包括：操作面板和接口，所述操作面板的一侧安装有外壳，所述外壳的顶部安装有顶盖，所述外壳的两侧安装有散热孔，所述接口安装在外壳的背面，所述接口的两侧连接有夹块；该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源的有益效果是：在需要对导线进行限位的时候，可以将导线连接到接口上，然后通过活动块通过活动弹簧进行复位，此时就可以使得转动块带动夹块通过连接块与转轴沿着外壳进行旋转，此时就可以通过夹块将电源线限位在接口处，从而避免导线松动脱落影响使用者正常的正常使用需求的问题，这就是该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源的使用特点。控溅射电源的使用特点。控溅射电源的使用特点。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源


[0001]本技术涉及中频磁控溅射电源
，具体为一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源。

技术介绍

[0002]中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，电源输出频率设为典型的中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，特别适用于反应膜层环境使用。为了保证中频磁控溅射电源输入和输出，就需要使用到电源连接器。
[0003]中频磁控溅射电源通常都是通过导线与电源连接器给中频磁控溅射电源进行供电，并且通过两个靶交替工作，起到从而满足对中频磁控溅射设备的供电需求，现在使用的中频磁控溅射电源为了方便使用者进行操作，都是直接将导线通过接口连接到中频磁控溅射电源上，但是在长时间使用的过程中，导线的可能会产生松动脱落，此时导线就无法给中频磁控溅射电源进行供电，从而影响整个中频磁控溅射电源的使用效果，因此不方便使用者进行操作。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，以解决上述
技术介绍
提出的现在使用的中频磁控溅射电源在使用的时候容易出现导线松动脱落从而不方便使用者进行操作的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，包括：操作面板和接口，所述操作面板的一侧安装有外壳，所述外壳的顶部安装有顶盖，所述外壳的两侧安装有散热孔，所述接口安装在外壳的背面；
[0006]所述接口的两侧连接有夹块，所述夹块的顶部通过转轴连接有转动块，所述转动块的顶部安装有活动块，所述接口的顶部安装有固定块，所述固定块内部安装有活动弹簧，所述夹块的底部安装有连接块。
[0007]与现有技术相比，该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源的有益效果是：在需要对导线进行限位的时候，可以将导线连接到接口上，然后通过活动块通过活动弹簧进行复位，此时就可以使得转动块带动夹块通过连接块与转轴沿着外壳进行旋转，此时就可以通过夹块将电源线限位在接口处，从而避免导线松动脱落影响使用者正常的正常使用需求的问题，这就是该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源的使用特点。
[0008]1.中频磁控溅射电源通常都是通过导线与电源连接器给中频磁控溅射电源进行供电，并且通过两个靶交替工作，起到从而满足对中频磁控溅射设备的供电需求，因此在导线连接过程中，容易导致导线松动从接口处脱落的情况，而该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，可以对活动块进行挤压，活动块受到挤压，就会沿着固定块向两侧滑动，活动块在滑动的同时就会通过转轴使得转动块进行旋转，并且转动块的另一端通过转轴与夹块相连接，同时夹块的一端通过连接块与转轴连接在外壳的一侧，此时转动块旋转就可以使
得夹块通过连接块与转轴进行旋转，此时就可以将导线对接到接口上，然后松开活动块，活动块通过固定块中的活动弹簧进行复位，使得夹块通过连接块与转轴进行复位，此时就可以通过夹块将导线限位在接口的位置上，从而可以避免导线松动脱落，此时就可以通过上述步骤解决了导线松动脱落影响中频磁控溅射电源正常工作的问题。
[0009]2.中频磁控溅射电源通常都是通过导线与电源连接器给中频磁控溅射电源进行供电，并且通过两个靶交替工作，起到从而满足对中频磁控溅射设备的供电需求，在产生使用时候，可能会导致其内部损坏，而该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，在可以对顶块进行挤压，顶块受到挤压就会对插接到定位块内部的卡块产生挤压，卡块受到挤压就会通过伸缩弹簧收缩到插杆的内部，此时没有卡块的限位，就可以将插杆从定位块的内部拉动出来，然后就可以将顶盖从外壳的顶部拆卸下来，从而方便使用者对电源的内部进行检修，反之，可以对卡块挤压，然后将凸块底部的插杆对接到定位块中，当卡块移动到定位块两端的凹槽中的时候，卡块受到伸缩弹簧的作用进行复位，从而将卡块卡在定位块的凹槽中，此时就可以通过卡块将顶盖固定在外壳的顶部，方便使用者进行快速安装，此时就可以通过上述操作步骤解决中频磁控溅射电源在检修的时候不方便使用者快速对电源的内部进行检修的问题。
附图说明
[0010]图1为本技术主视结构示意图；
[0011]图2为本技术右侧结构示意图；
[0012]图3为本技术俯视结构示意图；
[0013]图4为本技术夹块的主视结构示意图；
[0014]图5为本技术插杆的主视剖切结构示意图。
[0015]图中：1、操作面板；2、外壳；3、顶盖；4、散热孔；5、接口；6、夹块；7、转动块；8、活动块；9、固定块；10、活动弹簧；11、连接块；12、凸块；13、插杆；14、定位块；15、顶块；16、伸缩弹簧；17、卡块。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0017]请参阅图1
‑
图5，本技术提供一种技术方案：一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，包括：操作面板和接口，操作面板的一侧安装有外壳，外壳的顶部安装有顶盖，外壳的两侧安装有散热孔，接口安装在外壳的背面；
[0018]接口的两侧连接有夹块，夹块的顶部通过转轴连接有转动块，转动块的顶部安装有活动块，接口的顶部安装有固定块，固定块内部安装有活动弹簧，夹块的底部安装有连接块，连接块与夹块之间为固定连接，且连接块通过转轴与外壳之间相连接，夹块关于接口的中心线对称安装有两组，活动块关于固定块的中心线对称安装有两组，且固定块与外壳之间为固定连接。
[0019]参阅图2与图4可知，可以根据使用需求将导线连接到接口上，然后通过活动弹簧带动活动块复位，并且通过转动块带动夹块复位，此时就可以通过夹块将导线限位在接口
上，方便使用者进行安装
[0020]顶盖的两侧安装有凸块，凸块的底部连接有插杆，插杆的外侧套接有定位块，定位块的内部贯穿连接有顶块，插杆的内部安装有伸缩弹簧，伸缩弹簧的两侧贯穿插杆连接有卡块，凸块关于顶盖的中心线对称安装有六组，且凸块与插杆之间为固定连接，插杆通过与插杆大小相匹配的插孔插接到定位块中，且定位块与外壳之间为固定连接，卡块通过伸缩弹簧与插杆之间构成伸缩结构，且卡块通过与卡块大小相匹配的插孔插接到定位块中。
[0021]参阅图1、图3与图5可知，可以根据使用需求，将顶盖从外壳的顶部拆卸下来，然后就可以对外壳的内部进行检修，方便使用者进行操作。
[0022]综上所述：该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，在使用的时候，可以将电源安装到中频磁控溅射设备上，并且将导线连接到接口上，然后通过操作控制面板，就可以使得中频磁控溅射电源对中频磁控溅射设备进行供电，从而满足中频磁控溅射设备的正常使用需求，并且可以通过夹块起到对导线的限位作用，从而保证导线不会松脱，不会影响使用者的正常使用需求，这就是该具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源的使用特点，本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
[0023本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，包括：操作面板和接口，其特征在于，所述操作面板的一侧安装有外壳，所述外壳的顶部安装有顶盖，所述外壳的两侧安装有散热孔，所述接口安装在外壳的背面；所述接口的两侧连接有夹块，所述夹块的顶部通过转轴连接有转动块，所述转动块的顶部安装有活动块，所述接口的顶部安装有固定块，所述固定块内部安装有活动弹簧，所述夹块的底部安装有连接块。2.根据权利要求1所述的一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，其特征在于：所述连接块与夹块之间为固定连接，且连接块通过转轴与外壳之间相连接。3.根据权利要求1所述的一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，其特征在于：所述夹块关于接口的中心线对称安装有两组。4.根据权利要求1所述的一种具有防脱连接结构的中频磁控溅射电源，其特征在于：所述活动块关于固定块的中心线对称安装有两组，且固定块与外...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴晓军，
申请(专利权)人：深圳市英能电气有限公司，
类型：新型
国别省市：