一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源制造技术

本实用新型专利技术公开一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，包括：机体、转动杆和拉杆，所述机体一侧安装有调节钮，所述机体另一侧安装有接口；所述转动杆外侧与机体相贯穿。该便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，通过旋转转动杆，转动杆转动时会带动齿轮进行转动，齿轮转动时会与齿条进行啮合，齿条会带动第一卡块进行移动，第一卡块移动时会对一侧的第一弹簧进行挤压，使其进行收缩，当第一卡块移动脱离与检修门的接触时，可转动打开检修门，对单极性脉冲磁控溅射电源的内部进行维护，如此通过上述操作可便于对单极性脉冲磁控溅射电源的检修门打开，对其内部进行组件进行维护，提高维护的效率。护的效率。护的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源


[0001]本技术涉及脉冲磁控溅射电源
，具体为一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源。

技术介绍

[0002]脉冲磁控溅射电源是采用矩形波电压的脉冲电源代替传统直流电源进行磁控溅射沉积。脉冲溅射可以有效地抑制电弧产生，减小溅射表面的打火次数，提高膜层质量，同时可以提高溅射沉积速率，降低沉积温度等一系列显著的优点，是溅射绝缘材料沉积的优选工艺过程。
[0003]脉冲磁控溅射电源是采用矩形波电压的脉冲电源代替传统直流电源进行磁控溅射沉积，可以有效抑制电弧的产生，减小溅射表面的打火次数，提高膜层质量，充分满足磁控溅射工艺过程的连续性，现有的单极性脉冲磁控溅射电源在对内部进行维护时，需要通过螺丝刀转动连接着电源外壳与检修板的螺丝，对螺丝进行拆除，然后将检修板打开，对电源的内部进行维护，这种维护的方式较为的繁琐，不仅需要使用螺丝刀才能将螺丝拆除，还比较耗费时间，不便于对单极性脉冲磁控溅射电源进行快速的维护。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，以解决上述
技术介绍
提出的现有的单极性脉冲磁控溅射电源不便于维护的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，包括：机体、转动杆和拉杆，所述机体一侧安装有调节钮，所述机体另一侧安装有接口；
[0006]所述转动杆外侧与机体相贯穿，所述转动杆外侧固定连接有齿轮，所述齿轮外侧啮合连接有齿条，所述齿条一侧固定连接有第一卡块，所述第一卡块一侧固定连接有第一弹簧。
[0007]与现有技术相比，该便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源的有益效果是：旋转转动杆时会带动齿轮进行转动，通过齿轮与齿条进行啮合，使第一卡块进行移动，并对第一弹簧进行挤压，使弹簧产生收缩，在弹簧完全收缩后，第一卡块会移动脱离检修门内部的卡槽，可转动打开检修门，对单极性脉冲磁控溅射电源的内部进行维护。
附图说明
[0008]图1为本技术主视示意图；
[0009]图2为本技术左视示意图；
[0010]图3为本技术俯视示意图；
[0011]图4为本技术齿条左视示意图；
[0012]图5为本技术连接块左视剖面示意图；
[0013]图6为本技术A放大示意图。
[0014]图中：1、机体；2、调节钮；3、接口；4、转动杆；5、齿轮；6、齿条；7、第一卡块；8、第一弹簧；9、检修门；10、拉杆；11、第一连接块；12、第二卡块；13、第二弹簧；14、第二连接块；15、过滤网。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]请参阅图1、图2、图3、图4和图6，本技术提供一种技术方案：一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，包括：机体、转动杆和拉杆，机体一侧安装有调节钮，机体另一侧安装有接口；
[0017]转动杆外侧与机体相贯穿，转动杆外侧固定连接有齿轮，齿轮外侧啮合连接有齿条，齿条一侧固定连接有第一卡块，第一卡块一侧固定连接有第一弹簧；转动杆一端通过轴承与机体活动连接，第一卡块一侧连接有检修门；第一弹簧一端与机体固定连接，检修门一侧通过合页与机体活动连接，机体、第一卡块与第一弹簧构成弹性伸缩结构，齿轮与齿条构成啮合传动结构，检修门通过合页与检修门构成转动结构。
[0018]具体实施时，脉冲磁控溅射电源是采用矩形波电压的脉冲电源代替传统直流电源进行磁控溅射沉积，可以有效抑制电弧的产生，减小溅射表面的打火次数，提高膜层质量，充分满足磁控溅射工艺过程的连续性，在对单极性脉冲磁控溅射电源进行维护时，通过旋转转动杆，转动杆转动时会带动齿轮进行转动，齿轮转动时会与齿条进行啮合，齿条会带动第一卡块进行移动，第一卡块移动时会对一侧的第一弹簧进行挤压，使其进行收缩，当第一卡块移动脱离与检修门的接触时，可转动打开检修门，对单极性脉冲磁控溅射电源的内部进行维护，如此通过上述操作可便于对单极性脉冲磁控溅射电源的检修门打开，对其内部进行组件进行维护，提高维护的效率。
[0019]请参阅图1、图2和图5，拉杆外侧与机体相贯穿，拉杆一侧固定连接有第一连接块，第一连接块外侧与机体相连接；第一连接块一侧设置有第二卡块，第二卡块外侧与机体相连接，第二卡块一侧固定连接有第二弹簧；第二弹簧一端固定连接有第二连接块，第二连接块一侧固定连接有过滤网，过滤网外侧与机体相连接，第二卡块、第二弹簧与第二连接块构成弹性伸缩结构，机体与拉杆构成滑动结构，机体与第二卡块构成卡合结构
[0020]具体实施时，脉冲磁控溅射电源是采用矩形波电压的脉冲电源代替传统直流电源进行磁控溅射沉积，可以有效抑制电弧的产生，减小溅射表面的打火次数，提高膜层质量，充分满足磁控溅射工艺过程的连续性，当需要对过滤网进行清理，通过拉动拉杆进行移动，拉杆移动时会带动第一连接块进行移动，第一连接块移动时会与第二卡块的斜面进行接触，使第二卡块进行移动，第二卡块移动时会对底部的第二弹簧进行挤压，使其进行收缩，当第二卡块脱离与机体接触时，可移动过滤网将其取出，进行清理，如此通过上述操作可便于将脉冲磁控溅射电源的过滤网拆卸下来，进行清理。
[0021]综上所述：在使用便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，首先将电线插入机体一
侧的接口中，通过电线将单极性脉冲磁控溅射电源与设备进行连接，通过单极性脉冲磁控溅射电源进行磁控溅射沉积，对溅射绝缘材料进行加工，在对机体进行维护时，可通过手指对转动杆进行旋转，使转动杆在转动时带动齿轮进行转动，齿轮会在转动时与齿条进行啮合，从而带动第一卡块进行转动，第一卡块进行移动，使第一卡块移出检修门内部的卡槽，在第一卡块移动的同时，会与一侧的第一弹簧进行挤压，使第一弹簧进行收缩，当第一卡块移出检修门后，可移动检修门与机体进行分离，对机体内部的组件进行维护，维护结束后，可将检修门与机体内部的连接槽进行对接，通过检修门与第一卡块进行的斜面进行接触，使第一卡块进行移动，在第一卡块移动的同时也会对一侧的第一弹簧进行挤压，使其进行收缩，在检修门继续移动时，检修门内部的卡槽会与第一卡块进行接触，接触后第一弹簧会进行复位，推动第一卡块与检修门中的卡槽进行接触，对检修门进行固定，完成对机体的封闭，通过机体两侧的滤网可对机体运行时产生的热量进行散出，使其内部温度不会过高，导致机体发生故障，在取出滤网进行清理时，拉动拉杆进行移动，在拉杆移动的同时第一连接块也会进行移动，对第二卡块的斜面进行挤压，从而使第二卡块进行移动，在第二块移动时也会同时对底部的第二弹簧进行挤压，当第二弹簧完全收缩后，第二卡块会脱离与机体的接触，此时可移动过滤网，使其与机体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，包括：机体、转动杆和拉杆，其特征在于，所述机体一侧安装有调节钮，所述机体另一侧安装有接口；所述转动杆外侧与机体相贯穿，所述转动杆外侧固定连接有齿轮，所述齿轮外侧啮合连接有齿条，所述齿条一侧固定连接有第一卡块，所述第一卡块一侧固定连接有第一弹簧。2.根据权利要求1所述的一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述转动杆一端通过轴承与机体活动连接，所述第一卡块一侧连接有检修门。3.根据权利要求2所述的一种便于维护的单极性脉冲磁控溅射电源，其特征在于：所述第一弹簧一端与机体固定连接，所述检修门一侧通...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴晓军，
申请(专利权)人：深圳市英能电气有限公司，
类型：新型
国别省市：