一种离子源阴极防打火用盖合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种离子源阴极防打火用盖合装置，涉及镀膜技术领域，包括霍尔离子源本体、第一盖筒本体和第二盖筒本体，第一盖筒本体和第二盖筒本体均由耐高温不导电的陶瓷材料加工而成，第一盖筒本体上设有插接槽，插接槽的开口从下往上变化趋势为由大变小；第一盖筒本体和第二盖筒本体可拆卸地安装在霍尔离子源本体上的加固框内。本实用新型专利技术通过利耐高温不导电的陶瓷材料一体化加工成的盖筒，防止打火过程中产生粉末，并且盖筒本体通过加固框的固定，便于拆卸和安装，方便清洁；只需要从下往上移动阴极丝，使得阴极丝能够卡接在插接槽对应的位置，具有操作简单，实施方便，便于操作的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种离子源阴极防打火用盖合装置
本技术涉及镀膜
，特别涉及一种离子源阴极防打火用盖合装置。
技术介绍
霍尔离子源的工作原理是阴极灯丝通电后发热发光，产生热电子，热电子在阳极正电压的拉动下向阳极运动，在运动过程中遇到磁场，在磁场的洛伦兹力作用下，电子作螺旋式运动最终提高薄膜沉积时的致密度。现有技术霍尔离子源在使用过程中，阴极丝容易打火，从而影响镀膜的光洁度。为了解决这个问题，专利号CN201720160370.0的“一种霍尔离子源防打火盖筒”提出了通过套接盖筒，使得打火的过程在盖筒中产生，并且盖筒由氮化硼材料加工而成，接线柱底端设有卡片，内部设有卡片槽，从而使得阴极丝固定后操作。然而使用氮化硼材料加工制成的盖筒由于打火的原因，内部容易产生粉末，并且不易清洗，盖筒在使用过程中无法有效国定，并且盖筒内部的零件较多，安装和维护上不够便捷。因此，需要新的技术方案解决上述存在的问题。
技术实现思路
（1）要解决的技术问题本技术针对现有技术中的上述问题，为弥补现有技术的不足，本技术提供一种能够合理制造并使用的离子源阴极防打火用盖合装置。（2）技术方案为了实现上述技术目的，本技术提供了这样一种离子源阴极防打火用盖合装置，包括霍尔离子源本体、第一盖筒本体和第二盖筒本体，所述第一盖筒本体和第二盖筒本体均由耐高温不导电的陶瓷材料加工而成的一体化圆柱形结构，且所述第一盖筒本体和第二盖筒本体规格设置相同，所述第一盖筒本体上设有插接槽，所述插接槽的开口从下往上变化趋势为由大变小；加工时，阴极丝的两端分别对应卡接在第一盖筒本体和第二盖筒本体上的插接槽上；所述第一盖筒本体和第二盖筒本体可拆卸地安装在所述霍尔离子源本体上的加固框内。优选地，所述第一盖筒本体和第二盖筒本体对称的安装在所述霍尔离子源本体的上表面。优选地，所述加固框为圆柱形框体，所述加固框的直径大于所述第一盖筒本体、第二盖筒本体的直径。优选地，所述加固框上穿过连接杆，所述连接杆朝外焊接有拉块、朝内设有用于夹持的弧形块，所述连接杆朝向所述弧形块的一端套接有压缩弹簧。优选地，所述加固框上的连接杆和对应的弧形块、拉块至少设有两个以上。（3）有益效果本技术克服了现有技术中使用氮化硼材料加工制成的盖筒打火，容易导致内部产生粉末，不利于清洗；盖筒在使用过程中无法有效国定；盖筒内部的零件较多，安装和维护上不够便捷的缺点，通过利耐高温不导电的陶瓷材料一体化加工成的盖筒，防止打火过程中产生粉末，并且盖筒本体通过加固框的固定，便于拆卸和安装，方便清洁；在固定阴极丝的过程也不需要利用多个零件进行固定，只需要从下往上移动阴极丝，使得阴极丝能够卡接在插接槽对应的位置，并且能够固定加工，具有操作简单，实施方便，便于操作的优点。附图说明下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。其中：图1为离子源阴极防打火用盖合装置的整体结构示意图；图2为第一盖筒本体上的插接槽示意图图3为第一盖筒本体的仰视部分视图；图4为加固框的俯视结构视图。附图标记：1-霍尔离子源本体，2-第一盖筒本体，21-插接槽，3-第二盖筒本体，4-阴极丝，5-加固框，51-拉块，52-连接杆，53-压缩弹簧，54-弧形块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。实施例：请参阅图1-4所示，本技术所述的一种离子源阴极防打火用盖合装置，包括霍尔离子源本体1、第一盖筒本体2和第二盖筒本体3，所述第一盖筒本体2和第二盖筒本体3均由耐高温不导电的陶瓷材料加工而成的一体化圆柱形结构，且所述第一盖筒本体2和第二盖筒本体3规格设置相同，所述第一盖筒本体1上设有插接槽21，所述插接槽21的开口从下往上变化趋势为由大变小；加工时，阴极丝4的两端分别对应卡接在第一盖筒本体2和第二盖筒本体3上的插接槽21上；所述第一盖筒本体2和第二盖筒本体3可拆卸地安装在所述霍尔离子源本体1上的加固框5内。进一步地，所述第一盖筒本体2和第二盖筒本体3对称的安装在所述霍尔离子源本体1的上表面。进一步地，所述加固框5为圆柱形框体，所述加固框5的直径大于所述第一盖筒本体2、第二盖筒本体3的直径。进一步地，所述加固框5上穿过连接杆52，所述连接杆52朝外焊接有拉块51、朝内设有用于夹持的弧形块54，所述连接杆52朝向所述弧形块54的一端套接有压缩弹簧53。进一步地，所述加固框5上的连接杆52和对应的弧形块54、拉块51至少设有两个以上。本实施例的一个具体应用为：本技术为种离子源阴极防打火用盖合装置，适用于离子源阴极防打火，使用时，先将第一盖筒本体和第二盖筒本体安装在加固框内，用过手动拉动拉块，调节弧形块与第一盖筒本体、第二盖筒本体之间的距离，使得弧形块能够夹持固定盖筒本体，然后从盖筒本体上的插接槽下方往上将阴极丝移动，使得阴极丝能够卡接在插接槽的某处，然后进行镀膜加工。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子源阴极防打火用盖合装置，包括霍尔离子源本体（1）、第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3），其特征在于：所述第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）均由耐高温不导电的陶瓷材料加工而成的一体化圆柱形结构，且所述第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）规格设置相同，所述第一盖筒本体（2）上设有插接槽（21），所述插接槽（21）的开口从下往上变化趋势为由大变小；加工时，阴极丝（4）的两端分别对应卡接在第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）上的插接槽（21）上；所述第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）可拆卸地安装在所述霍尔离子源本体（1）上的加固框（5）内。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子源阴极防打火用盖合装置，包括霍尔离子源本体（1）、第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3），其特征在于：所述第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）均由耐高温不导电的陶瓷材料加工而成的一体化圆柱形结构，且所述第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）规格设置相同，所述第一盖筒本体（2）上设有插接槽（21），所述插接槽（21）的开口从下往上变化趋势为由大变小；加工时，阴极丝（4）的两端分别对应卡接在第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）上的插接槽（21）上；所述第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）可拆卸地安装在所述霍尔离子源本体（1）上的加固框（5）内。


2.根据权利要求1所述的一种离子源阴极防打火用盖合装置，其特征在于，所述第一盖筒本体（2）和第二盖筒本体（3）对...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈基平，陈宏忠，
申请(专利权)人：福建科彤光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35