一种新型射频离子源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型射频离子源，具体涉及离子源技术领域，包括底座，所述底座顶部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有两个滑块，所述滑块顶部固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁滑动连接有滑套，所述滑套外壁嵌设有固定座，所述固定座内腔两侧均开设有第二滑槽，且两侧第二滑槽内滑动连接有滑板。本实用新型专利技术通过设置夹持板和吸热座，射频离子源本体固定在夹持板内腔，吸热的减震垫能够将热量导入夹持板和吸热座内，两侧的吸热座将热量通过导热柱导入散热片内，空气流动带走散热片表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，与现有技术相比保证了射频离子源本体工作状态的稳定性，满足了使用需要。

A new type of RF ion source

【技术实现步骤摘要】
一种新型射频离子源
本技术涉及离子源
，更具体地说，本实用涉及一种新型射频离子源。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。现有的离子源在工作时会产生大量热量，而热量堆积在元件内会导致工作状态的不稳定，同时在对射频离子源固定时没有很好的减震效果，这就导致工作时的晃动会产生较大的噪音，影响到射频离子源工作环境。
技术实现思路
为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种新型射频离子源，本技术所要解决的技术问题是：如何提高对射频离子源本体固定的稳定性。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型射频离子源，包括底座，所述底座顶部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有两个滑块，所述滑块顶部固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁滑动连接有滑套，所述滑套外壁嵌设有固定座，所述固定座内腔两侧均开设有第二滑槽，且两侧第二滑槽内滑动连接有滑板，所述滑板底部与滑杆顶端固定连接，所述滑杆外侧壁套设有弹簧，所述弹簧两端分别与滑套和滑板对应位置固定连接；所述固定座顶部固定连接有夹持板，且两侧夹持板内腔放置有射频离子源本体，所述夹持板顶部固定连接有固定块，所述固定块一侧开设有通孔，且两侧通孔内卡接有螺纹柱，所述螺纹柱另一侧螺纹连接有螺母，所述螺母与固定块一侧相贴合，所述夹持板一侧固定连接有吸热座，所述吸热座一侧固定连接有若干导热柱，所述导热柱外壁嵌设有若干散热片。射频离子源本体固定在夹持板内腔，且两侧夹持板通过两侧固定座以及底部滑块在第一滑槽内滑动适配射频离子源本体的直径，并且通过在夹持板顶部固定块通孔内插入螺纹柱，且螺纹柱末端螺纹连接的螺母对两侧固定块进行限位，从而能够对两侧夹持板进行限位固定，当射频离子源本体发生晃动时，射频离子源本体晃动固定座向上带动滑板在第二滑槽内滑动拉动滑套，滑套在滑杆外滑动挤压弹簧，弹簧利用自身弹力降低固定座以及夹持板的晃动，从而能够有效减少射频离子源本体工作产生的噪音，并且当射频离子源本体工作产热时，吸热的减震垫能够将热量导入夹持板和吸热座内，两侧的吸热座将热量通过导热柱导入散热片内，空气流动带走散热片表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，保证了射频离子源本体工作状态的稳定性，满足了使用需要。在一个优选的实施方式中，所述夹持板横截面形状为半圆弧形，适配性更好。在一个优选的实施方式中，所述夹持板内腔固定连接有减震垫，所述减震垫与射频离子源本体相贴合，保证贴合同时将热量传导。在一个优选的实施方式中，所述减震垫为导热塑胶垫。在一个优选的实施方式中，所述第一滑槽和滑块的轴截面形状均为T形，避免固定时固定座和夹持板与底座分离。在一个优选的实施方式中，所述散热片和导热柱均为吸热铜制构件，保证热量传导。在一个优选的实施方式中，所述吸热座为吸热铜制构件。在一个优选的实施方式中，所述滑套和滑杆均为圆形。1、本技术通过设置夹持板和吸热座，射频离子源本体固定在夹持板内腔，射频离子源本体晃动固定座向上带动滑板在第二滑槽内滑动拉动滑套挤压弹簧，弹簧利用自身弹力降低固定座以及夹持板的晃动，减少射频离子源本体工作产生的噪音，射频离子源本体工作产热时，吸热的减震垫能够将热量导入夹持板和吸热座内，两侧的吸热座将热量通过导热柱导入散热片内，空气流动带走散热片表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，与现有技术相比保证了射频离子源本体工作状态的稳定性，满足了使用需要；2、本技术通过设置减震垫、滑块和第一滑槽，夹持板内腔的减震垫能够填充夹持板与射频离子源本体的缝隙，从而能够保证射频离子源本体固定的稳定性，能够有效将热量导入吸热的夹持板内，两侧夹持板通过底部滑块在第一滑槽内的滑动更加稳定，且T型的滑块和第一滑槽能够避免固定时夹持板从滑块内滑动，保证了夹持板移动夹持的效果，安装适配性较高，满足了使用需要。附图说明图1为本技术的正视剖面结构示意图。图2为本技术的侧视剖面结构示意图。图3为本技术的图2中A部分放大示意图。图4为本技术的立体结构示意图。图5为本技术的吸热座立体结构示意图。附图标记为：1底座、2第一滑槽、3滑块、4固定座、5夹持板、6减震垫、7吸热座、8散热片、9导热柱、10固定块、11通孔、12螺纹柱、13螺母、14第二滑槽、15滑板、16滑杆、17弹簧、18滑套、19射频离子源本体。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了一种新型射频离子源，包括底座1，所述底座1顶部开设有第一滑槽2，所述第一滑槽2内滑动连接有两个滑块3，所述滑块3顶部固定连接有滑杆16，所述滑杆16外侧壁滑动连接有滑套18，所述滑套18外壁嵌设有固定座4，所述固定座4内腔两侧均开设有第二滑槽14，且两侧第二滑槽14内滑动连接有滑板15，所述滑板15底部与滑杆16顶端固定连接，所述滑杆16外侧壁套设有弹簧17，所述弹簧17两端分别与滑套18和滑板15对应位置固定连接；所述固定座4顶部固定连接有夹持板5，且两侧夹持板5内腔放置有射频离子源本体19，所述夹持板5顶部固定连接有固定块10，所述固定块10一侧开设有通孔11，且两侧通孔11内卡接有螺纹柱12，所述螺纹柱12另一侧螺纹连接有螺母13，所述螺母13与固定块10一侧相贴合，所述夹持板5一侧固定连接有吸热座7，所述吸热座7一侧固定连接有若干导热柱9，所述导热柱9外壁嵌设有若干散热片8，所述滑套18和滑杆16均为圆形。如图1-5所示，实施方式具体为：射频离子源本体19固定在夹持板5内腔，且两侧夹持板5通过两侧固定座4以及底部滑块3在第一滑槽2内滑动适配射频离子源本体19的直径，并且通过在夹持板5顶部固定块10通孔11内插入螺纹柱12，且螺纹柱12末端螺纹连接的螺母13对两侧固定块10进行限位，从而能够对两侧夹持板5进行限位固定，当射频离子源本体19发生晃动时，射频离子源本体19晃动固定座4向上带动滑板15在第二滑槽14内滑动拉动滑套18，滑套18在滑杆16外滑动挤压弹簧17，弹簧17利用自身弹力降低固定座4以及夹持板5的晃动，从而能够有效减少射频离子源本体19工作产生的噪音，并且当射频离子源本体19工作产热时，吸热的减震垫6能够将热量导入夹持板5和吸热座7内，两侧的吸热座7将热量通过导热柱9导入散热片8内，空气流动带走散热片8表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，保证了射频离子源本体19工作状态的稳定性，满足了使用需要。所述夹持板5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型射频离子源，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部开设有第一滑槽(2)，所述第一滑槽(2)内滑动连接有两个滑块(3)，所述滑块(3)顶部固定连接有滑杆(16)，所述滑杆(16)外侧壁滑动连接有滑套(18)，所述滑套(18)外壁嵌设有固定座(4)，所述固定座(4)内腔两侧均开设有第二滑槽(14)，且两侧第二滑槽(14)内滑动连接有滑板(15)，所述滑板(15)底部与滑杆(16)顶端固定连接，所述滑杆(16)外侧壁套设有弹簧(17)，所述弹簧(17)两端分别与滑套(18)和滑板(15)对应位置固定连接；/n所述固定座(4)顶部固定连接有夹持板(5)，且两侧夹持板(5)内腔放置有射频离子源本体(19)，所述夹持板(5)顶部固定连接有固定块(10)，所述固定块(10)一侧开设有通孔(11)，且两侧通孔(11)内卡接有螺纹柱(12)，所述螺纹柱(12)另一侧螺纹连接有螺母(13)，所述螺母(13)与固定块(10)一侧相贴合，所述夹持板(5)一侧固定连接有吸热座(7)，所述吸热座(7)一侧固定连接有若干导热柱(9)，所述导热柱(9)外壁嵌设有若干散热片(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型射频离子源，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部开设有第一滑槽(2)，所述第一滑槽(2)内滑动连接有两个滑块(3)，所述滑块(3)顶部固定连接有滑杆(16)，所述滑杆(16)外侧壁滑动连接有滑套(18)，所述滑套(18)外壁嵌设有固定座(4)，所述固定座(4)内腔两侧均开设有第二滑槽(14)，且两侧第二滑槽(14)内滑动连接有滑板(15)，所述滑板(15)底部与滑杆(16)顶端固定连接，所述滑杆(16)外侧壁套设有弹簧(17)，所述弹簧(17)两端分别与滑套(18)和滑板(15)对应位置固定连接；
所述固定座(4)顶部固定连接有夹持板(5)，且两侧夹持板(5)内腔放置有射频离子源本体(19)，所述夹持板(5)顶部固定连接有固定块(10)，所述固定块(10)一侧开设有通孔(11)，且两侧通孔(11)内卡接有螺纹柱(12)，所述螺纹柱(12)另一侧螺纹连接有螺母(13)，所述螺母(13)与固定块(10)一侧相贴合，所述夹持板(5)一侧固定连接有吸热座(7)，所述吸热座(7)一侧固定连接有若干导热柱(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：施春燕，
申请(专利权)人：苏州至臻精密光学有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32