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一种离子源阴极防打火用盖合装置制造方法及图纸
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下载一种离子源阴极防打火用盖合装置的技术资料
文档序号:26209834
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本实用新型公开了一种离子源阴极防打火用盖合装置,涉及镀膜技术领域,包括霍尔离子源本体、第一盖筒本体和第二盖筒本体,第一盖筒本体和第二盖筒本体均由耐高温不导电的陶瓷材料加工而成,第一盖筒本体上设有插接槽,插接槽的开口从下往上变化趋势为由大变小...
该专利属于福建科彤光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建科彤光电技术有限公司授权不得商用。
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