多孔碳化硅陶瓷及其制备方法技术

本申请涉及碳化硅陶瓷领域，具体公开了一种多孔碳化硅陶瓷及其制备方法。该多孔碳化硅陶瓷包括以下重量份数的组分：碳化硅微粉80~100份、烧结助剂2~10份、造孔剂1~5份、交联剂1~5份、分散剂3~6份、去离子水45~55份，造孔剂为粒径是1~30μm秸秆微粉；其制备方法为：将碳化硅微粉、烧结助剂、交联剂、分散剂、去离子水混合并进行搅拌，然后加入造孔剂和催渗剂并于真空条件下搅拌得到碳化硅陶瓷浆料；对碳化硅陶瓷浆料进行真空抽滤后放入模具中烘烤得到多孔碳化硅陶瓷素坯，将多孔碳化硅陶瓷素坯在氩气气氛下进行烧结，得到多孔碳化硅陶瓷。本申请制得的多孔碳化硅陶瓷环保性好、成本低，孔隙率大且性能优异。

【技术实现步骤摘要】
多孔碳化硅陶瓷及其制备方法
本申请涉及碳化硅陶瓷领域，更具体地说，它涉及一种多孔碳化硅陶瓷及其制备方法。
技术介绍
多孔碳化硅陶瓷具有化学稳定性好、机械强度大、耐酸碱、耐高温等优点，在石化工业等苛刻环境中有着广泛的应用。同时多孔碳化硅陶瓷具有高的热导率、低的热膨胀系数特性，经过精细加工后可以获得超高的平面度，并且平面度不受温度变化的影响，使多孔碳化硅陶瓷在集成电路制造装备中晶圆承载吸附上获得了良好的应用，如光刻用吸盘、激光淬火用吸盘、激光划片用吸盘等等。多孔碳化硅陶瓷的制备技术是推动多孔碳化硅陶瓷产业发展的核心部分，多孔碳化硅陶瓷制备技术的核心和关键是提高多孔碳化硅陶瓷的孔隙率、孔径分布、孔径大小、强度等特性。为了达到多孔的目的，多孔碳化硅陶瓷在加工时通常会加入石墨、碳粉、淀粉等造孔剂，利用其造孔剂本身的多孔结构或者易分解的物性在碳化硅陶瓷烧结成型后形成多孔结构，其中以石墨为较优。但是在工业生产过程中，造孔剂在多孔碳化硅陶瓷生产中的原料占比比较大，石墨、碳粉、淀粉会产生较大的污染以及固废，环保性较差，并且石墨、碳粉、淀粉的成本也本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多孔碳化硅陶瓷，其特征在于，该多孔碳化硅陶瓷包括以下重量份数的组分：/n碳化硅微粉：80～100份；/n烧结助剂：2～10份；/n造孔剂：1～5份；/n交联剂：1～5份；/n分散剂：3～6份；/n去离子水：45～55份；/n其中，所述造孔剂为秸秆微粉，所述秸秆微粉的粒径为1～30μm。/n

【技术特征摘要】
1.一种多孔碳化硅陶瓷，其特征在于，该多孔碳化硅陶瓷包括以下重量份数的组分：
碳化硅微粉：80～100份；
烧结助剂：2～10份；
造孔剂：1～5份；
交联剂：1～5份；
分散剂：3～6份；
去离子水：45～55份；
其中，所述造孔剂为秸秆微粉，所述秸秆微粉的粒径为1～30μm。


2.根据权利要求1所述的多孔碳化硅陶瓷，其特征在于：所述多孔碳化硅陶瓷还包括0.04～0.06重量份的催渗剂，所述催渗剂为碳酸钡粉末。


3.根据权利要求1所述的多孔碳化硅陶瓷，其特征在于：所述碳化硅微粉的粒径为5～80μm。


4.根据权利要求1所述的多孔碳化硅陶瓷，其特征在于：所述烧结助剂为氧化钾粉末。


5.根据权利要求1所述的多孔碳化硅陶瓷，其特征在于：所述交联剂为N,N-亚甲基双丙烯酰胺。


6.根据权利要求1所述的多孔碳化硅陶瓷，其特征在于：所述分散剂为聚乙烯亚胺、氨水、氢氧化钾中的一种或者其组合。


7.一种如权利要求1-6任意一条所述的多孔碳化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(A)将碳化硅微粉、烧结助剂、交联剂、分散剂、去离子水混合并进行搅拌，搅拌时间为1～2个小时，得到初混浆料；
(B)将造...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国彬，
申请(专利权)人：深圳市德澳美科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44