一种硅片读取设备制造技术

本发明专利技术公开了一种硅片读取设备，包括读卡组件，读卡组件包含工作台，工作台上设有横向滑轨，横向滑轨上滑动连接横向滑块，横向滑块由横向气缸驱动左右移动，横向滑块上端面固接竖向滑轨，竖向滑轨上滑动连接竖向滑块，竖向滑块由竖向气缸驱动前后滑动，竖向滑块上端面竖直固接立杆，立杆上侧端面固接读卡探头，读卡探头接触连接在储卡组件上，储卡组件中空放置在抬起组件上端，储卡组件包括连接杆、放置壳、分隔槽和片蓝，读卡探头接触连接在片蓝上，片蓝卡接在分隔槽内，分隔槽竖直贯穿放置壳上端面，放置壳有两个，且相互对称放置，放置壳两侧端面垂直固接连接杆两端。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片读取设备
本专利技术涉及硅片制造
，特别涉及一种硅片读取设备。
技术介绍
在半导体的生产工序中，晶圆需要逐片打码，且需要对应的进行读码进行校验，其中在读码工序中，需要用相机找到晶圆打码的位置再进行读取，但目前市面上的reader兼容性较差，都是在固定的位置读取固定的码数，即通过气动手指将晶圆从片篮取出，移到指定位置进行读取，读取后再放回片篮原位置，这种方法工时较长，且由于相机位置相对固定，只能读取单一尺寸单一位置的单一recipe下的ID，不然则需要多个相机，成本极高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片读取设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种硅片读取设备，包括读卡组件，所述读卡组件包括工作台、横向气缸、横向滑轨、横向滑块、竖向气缸、竖向气缸、竖向滑轨、竖向滑块、立杆和读卡探头，所述工作台上设有横向滑轨，所述横向滑轨上滑动连接横向滑块，所述横向滑块由横向气缸驱动左右移动，所述横向滑块上端面固接竖向滑轨，所述竖向滑轨上滑动连接竖向滑块，所述竖向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片读取设备，包括读卡组件(1)，其特征在于：所述读卡组件(1)包括工作台(11)、横向气缸(12)、横向滑轨(13)、横向滑块(14)、竖向滑轨(15)、竖向气缸(16)、竖向滑轨(17)、竖向滑块(18)、立杆(19)和读卡探头(20)，所述工作台(11)上设有横向滑轨(13)，所述横向滑轨(13)上滑动连接横向滑块(14)，所述横向滑块(14)由横向气缸(12)驱动左右移动，所述横向滑块(14)上端面固接竖向滑轨(17)，所述竖向滑轨(17)上滑动连接竖向滑块(18)，所述竖向滑块(18)由竖向气缸(16)驱动前后滑动，所述竖向滑块(18)上端面竖直固接立杆(19)，所述立杆(1...

【技术特征摘要】
1.一种硅片读取设备，包括读卡组件(1)，其特征在于：所述读卡组件(1)包括工作台(11)、横向气缸(12)、横向滑轨(13)、横向滑块(14)、竖向滑轨(15)、竖向气缸(16)、竖向滑轨(17)、竖向滑块(18)、立杆(19)和读卡探头(20)，所述工作台(11)上设有横向滑轨(13)，所述横向滑轨(13)上滑动连接横向滑块(14)，所述横向滑块(14)由横向气缸(12)驱动左右移动，所述横向滑块(14)上端面固接竖向滑轨(17)，所述竖向滑轨(17)上滑动连接竖向滑块(18)，所述竖向滑块(18)由竖向气缸(16)驱动前后滑动，所述竖向滑块(18)上端面竖直固接立杆(19)，所述立杆(19)上侧端面固接读卡探头(20)，所述读卡探头(20)接触连接在储卡组件(4)上，所述储卡组件(4)中空放置在抬起组件(2)上端。


2.根据权利要求1所述的一种硅片读取设备，其特征在于：所述储卡组件(4)包括连接杆(40)、放置壳(41)、分隔槽(42)和片蓝(43)，所述读卡探头(20)接触连接在片蓝(43)上，所述片蓝(43)卡接在分隔槽(42)内，所述分隔槽(42)竖直贯穿放置壳(41)上端面，所述放置壳(41)有两个，且相互对称放置，所述放置壳(41)两侧端面垂直固接连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢子淳，孙晨光，王彦君，陈健华，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32