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本发明公开了一种硅片读取设备，包括读卡组件，读卡组件包含工作台，工作台上设有横向滑轨，横向滑轨上滑动连接横向滑块，横向滑块由横向气缸驱动左右移动，横向滑块上端面固接竖向滑轨，竖向滑轨上滑动连接竖向滑块，竖向滑块由竖向气缸驱动前后滑动，竖向滑...
该专利属于中环领先半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。

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