一种半导体加工用表面清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体加工用表面清洁装置，包括顶板，所述顶板底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定连接有升降板，所述升降板底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱，所述连接柱的底部固定连接有清理框，所述清理框内腔的底部固定连接有清理板，所述清理板底部表面的前侧固定连接有清理毛。本实用新型专利技术可使表面清洁装置对半导体表面进行清灰和吹灰，这样表面清洁装置的清洁更加彻底，解决了表面清洁装置在使用时，因只能进行清灰或吹灰，使得粘结在表面浮灰无法被清理，造成清洁后的半导体表面仍然不洁净，从而导致清洁装置出现清洁效果较差的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用表面清洁装置
本技术涉及半导体加工
，具体为一种半导体加工用表面清洁装置。
技术介绍
随着现代社会信息技术的发展，半导体的使用量也越来越大，在半导体生产过程中需使用到表面清洁装置，现有的表面清洁装置在使用时，只能进行清灰或吹灰，使得粘结在表面浮灰无法被清理，造成清洁后的半导体表面仍然不洁净，从而导致清洁装置出现清洁效果较差的问题，大大降低了清洁装置的实用性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体加工用表面清洁装置，具备对半导体表面进行清灰和吹灰的优点，解决了表面清洁装置在使用时，因只能进行清灰或吹灰，使得粘结在表面浮灰无法被清理，造成清洁后的半导体表面仍然不洁净，从而导致清洁装置出现清洁效果较差的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体加工用表面清洁装置，包括顶板，所述顶板底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定连接有升降板，所述升降板底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱，所述连接柱的底部固定连接有清理框，所述清理框内腔的底部固定连接有清理板，所述清理板底部表面的前侧固定连接有清理毛，所述清理板底部表面的后侧开设有吹气孔，所述清理框顶部表面中心处的后侧固定连接有输气管，所述输气管的顶部贯穿至升降板的顶部，所述顶板底部表面中心处的后侧固定连接有引风机，所述引风机输出端的底部和输气管的顶部均固定连接有第一法兰盘，两个第一法兰盘相对应的一侧固定连接有第二法兰盘，两个第二法兰盘相对应的一侧固定连接有弹性伸缩软管，所述引风机输入端的右侧固定连接有进气罩，所述进气罩的内圈环向固定连接有支撑环，所述进气罩的内圈且位于支撑环的右侧设置有过滤框，所述过滤框的内腔镶嵌有过滤棉板，所述过滤框右侧的表面和支撑环右侧的表面均开设有定位螺孔，右侧定位螺孔的内腔设置有内六角定位螺栓，所述内六角定位螺栓的左侧贯穿右侧定位螺孔并延伸至左侧定位螺孔的内腔并与定位螺孔的内腔通过螺纹连接，所述升降板上且位于输气管的外圈开设有冷却室，所述冷却室内腔的左侧和右侧分别连通有冷却水进流道和冷却水出流道，所述冷却水进流道和冷却水出流道内腔的外侧均连通有快速接头，所述快速接头的外侧贯穿升降板。优选的，所述清理板顶部表面的后侧固定连接有挡板，挡板的顶部与清理框内腔的顶部固定连接，所述清理毛和吹气孔之间为缓冲区。优选的，所述输气管内腔的底部与清理框内腔顶部的后侧连通，所述升降板顶部表面的中心处贯穿开设有与输气管配合使用的通孔，所述输气管顶部的表面和底部的表面与升降板的连接处均通过焊接固定。优选的，所述过滤框外圈的表面与进气罩的内腔为滑动接触，所述过滤框和支撑环上定位螺孔的数量均为八个，两组定位螺孔在过滤框和支撑环上均呈环形阵列分布。优选的，两个快速接头外圈表面的内侧与冷却水进流道和冷却水出流道的内腔均通过螺纹连接，左侧快速接头的左侧与外界进水管连接，右侧快速接头的右侧与外界出水管连接。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术通过设置电动伸缩杆、输气管、冷却水出流道、清理毛、连接柱、第一法兰盘、升降板、清理框、快速接头、弹性伸缩软管、第二法兰盘、进气罩、引风机、清理板、吹气孔、过滤框、定位螺孔、内六角定位螺栓、过滤棉板、冷却水进流道和冷却室的配合使用，可使表面清洁装置对半导体表面进行清灰和吹灰，这样表面清洁装置的清洁更加彻底，解决了表面清洁装置在使用时，因只能进行清灰或吹灰，使得粘结在表面浮灰无法被清理，造成清洁后的半导体表面仍然不洁净，从而导致清洁装置出现清洁效果较差的问题，值得推广。2、本技术通过设置挡板，可对清理板进行隔档，避免空气流动至清理框内腔的全部区域，通过通孔，方便输气管贯穿升降板，通过定位螺孔和支撑环，方便利用内六角定位螺栓将过滤框定位，通过快速接头，方便冷却水流入冷却水进流道和流出冷却水出流道。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术清理框结构仰视图；图3为本技术进气罩结构侧视图；图4为本技术升降板结构俯视剖视图。图中：1顶板、2电动伸缩杆、3输气管、4冷却水出流道、5清理毛、6连接柱、7第一法兰盘、8升降板、9清理框、10快速接头、11弹性伸缩软管、12第二法兰盘、13进气罩、14引风机、15清理板、16吹气孔、17过滤框、18定位螺孔、19内六角定位螺栓、20过滤棉板、21冷却水进流道、22冷却室。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，一种半导体加工用表面清洁装置，包括顶板1，顶板1底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆2，电动伸缩杆2的底部固定连接有升降板8，升降板8底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱6，连接柱6的底部固定连接有清理框9，清理框9内腔的底部固定连接有清理板15，清理板15底部表面的前侧固定连接有清理毛5，清理板15底部表面的后侧开设有吹气孔16，清理板15顶部表面的后侧固定连接有挡板，挡板的顶部与清理框9内腔的顶部固定连接，清理毛5和吹气孔16之间为缓冲区，通过设置挡板，可对清理板15进行隔档，避免空气流动至清理框9内腔的全部区域，清理框9顶部表面中心处的后侧固定连接有输气管3，输气管3的顶部贯穿至升降板8的顶部，输气管3内腔的底部与清理框9内腔顶部的后侧连通，升降板8顶部表面的中心处贯穿开设有与输气管3配合使用的通孔，输气管3顶部的表面和底部的表面与升降板8的连接处均通过焊接固定，通过通孔，方便输气管3贯穿升降板8，顶板1底部表面中心处的后侧固定连接有引风机14，引风机14输出端的底部和输气管3的顶部均固定连接有第一法兰盘7，两个第一法兰盘7相对应的一侧固定连接有第二法兰盘12，两个第二法兰盘12相对应的一侧固定连接有弹性伸缩软管11，引风机14输入端的右侧固定连接有进气罩13，进气罩13的内圈环向固定连接有支撑环，进气罩13的内圈且位于支撑环的右侧设置有过滤框17，过滤框17的内腔镶嵌有过滤棉板20，过滤框17右侧的表面和支撑环右侧的表面均开设有定位螺孔18，右侧定位螺孔18的内腔设置有内六角定位螺栓19，内六角定位螺栓19的左侧贯穿右侧定位螺孔18并延伸至左侧定位螺孔18的内腔并与定位螺孔18的内腔通过螺纹连接，过滤框17外圈的表面与进气罩13的内腔为滑动接触，过滤框17和支撑环上定位螺孔18的数量均为八个，两组定位螺孔18在过滤框17和支撑环上均呈环形阵列分布，通过定位螺孔18和支撑环，方便利用内六角定位螺栓19将过滤框17定位，升降板8上且位于输气管3的外开设有冷却室22，冷却室22内腔的左侧和右侧分别连通有冷却水进流道21和冷却水出流道4，冷却水进流道21和冷却水出流道4内腔的外侧均连通有快速接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体加工用表面清洁装置，包括顶板(1)，其特征在于：所述顶板(1)底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆(2)，所述电动伸缩杆(2)的底部固定连接有升降板(8)，所述升降板(8)底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱(6)，所述连接柱(6)的底部固定连接有清理框(9)，所述清理框(9)内腔的底部固定连接有清理板(15)，所述清理板(15)底部表面的前侧固定连接有清理毛(5)，所述清理板(15)底部表面的后侧开设有吹气孔(16)，所述清理框(9)顶部表面中心处的后侧固定连接有输气管(3)，所述输气管(3)的顶部贯穿至升降板(8)的顶部，所述顶板(1)底部表面中心处的后侧固定连接有引风机(14)，所述引风机(14)输出端的底部和输气管(3)的顶部均固定连接有第一法兰盘(7)，两个第一法兰盘(7)相对应的一侧固定连接有第二法兰盘(12)，两个第二法兰盘(12)相对应的一侧固定连接有弹性伸缩软管(11)，所述引风机(14)输入端的右侧固定连接有进气罩(13)，所述进气罩(13)的内圈环向固定连接有支撑环，所述进气罩(13)的内圈且位于支撑环的右侧设置有过滤框(17)，所述过滤框(17)的内腔镶嵌有过滤棉板(20)，所述过滤框(17)右侧的表面和支撑环右侧的表面均开设有定位螺孔(18)，右侧定位螺孔(18)的内腔设置有内六角定位螺栓(19)，所述内六角定位螺栓(19)的左侧贯穿右侧定位螺孔(18)并延伸至左侧定位螺孔(18)的内腔并与定位螺孔(18)的内腔通过螺纹连接，所述升降板(8)上且位于输气管(3)的外圈开设有冷却室(22)，所述冷却室(22)内腔的左侧和右侧分别连通有冷却水进流道(21)和冷却水出流道(4)，所述冷却水进流道(21)和冷却水出流道(4)内腔的外侧均连通有快速接头(10)，所述快速接头(10)的外侧贯穿升降板(8)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用表面清洁装置，包括顶板(1)，其特征在于：所述顶板(1)底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆(2)，所述电动伸缩杆(2)的底部固定连接有升降板(8)，所述升降板(8)底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱(6)，所述连接柱(6)的底部固定连接有清理框(9)，所述清理框(9)内腔的底部固定连接有清理板(15)，所述清理板(15)底部表面的前侧固定连接有清理毛(5)，所述清理板(15)底部表面的后侧开设有吹气孔(16)，所述清理框(9)顶部表面中心处的后侧固定连接有输气管(3)，所述输气管(3)的顶部贯穿至升降板(8)的顶部，所述顶板(1)底部表面中心处的后侧固定连接有引风机(14)，所述引风机(14)输出端的底部和输气管(3)的顶部均固定连接有第一法兰盘(7)，两个第一法兰盘(7)相对应的一侧固定连接有第二法兰盘(12)，两个第二法兰盘(12)相对应的一侧固定连接有弹性伸缩软管(11)，所述引风机(14)输入端的右侧固定连接有进气罩(13)，所述进气罩(13)的内圈环向固定连接有支撑环，所述进气罩(13)的内圈且位于支撑环的右侧设置有过滤框(17)，所述过滤框(17)的内腔镶嵌有过滤棉板(20)，所述过滤框(17)右侧的表面和支撑环右侧的表面均开设有定位螺孔(18)，右侧定位螺孔(18)的内腔设置有内六角定位螺栓(19)，所述内六角定位螺栓(19)的左侧贯穿右侧定位螺孔(18)并延伸至左侧定位螺孔(18)的内腔并与定位螺孔(18)的内腔通过螺纹连接，所述升降板(8)上且位于输气管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭顺杰，
申请(专利权)人：上海锶坎电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31