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一种半导体加工用表面清洁装置制造方法及图纸
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下载一种半导体加工用表面清洁装置的技术资料
文档序号:28262223
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本实用新型公开了一种半导体加工用表面清洁装置,包括顶板,所述顶板底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的底部固定连接有升降板,所述升降板底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱,所述连接柱的底部固定连接有清理框,所述清理框内腔的...
该专利属于上海锶坎电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海锶坎电子有限公司授权不得商用。
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