【技术实现步骤摘要】
一种压电微泵支承结构及气体控制装置
[0001]本技术属于流体输送设备
，具体涉及一种压电微泵支承结构及气体控制装置。
技术介绍
[0002]微型流体泵在医药生物、精细化工、航空航天、微机电系统等领域有着广泛的应用需求。现今随着应用目标的电子产品通常都具有小型化的趋势，这也要求微型流体泵在保证其输出能力(输出压力和输出流量)的同时更加小型化或是在不大型化的前提下提高其输出能力。
[0003]目前的气体微泵主要有利用电机凸轮机构驱动的电磁隔膜泵、利用压电振子驱动的压电隔膜泵以及利用挤压膜效应的微泵。压电隔膜泵是向压电元件施加交变电压使隔膜弯曲变形的隔膜泵，其具有结构简单、轻薄、且耗电量低等优点。
[0004]如公开号为CN101490419B的专利文件公开了一种压电泵，并具体公开了：膜片上形成多个圆弧状狭缝，膜片圆形区域中央粘接圆形压电元件，相邻的狭缝之间形成悬臂梁，悬臂梁将压电元件粘接区和外框连接在一起，压电元件粘接区产生弯曲形变。公开号为CN102597520B的专利文件公开了一种流体泵，并具体公开了...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种压电微泵支承结构，其特征在于，包括：压电微泵，所述压电微泵包括共振板(1)、压电振子(2)和电极组件(3)，所述共振板(1)和压电振子(2)依次层叠设置，所述压电振子(2)的远离所述共振板(1)的一侧连接有电极组件(3)，所述压电振子(2)包括层叠设置的振动板(21)和压电元件(22)，所述共振板(1)和压电振子(2)形成的整体的外周为自由外周；底板(4)，所述底板(4)与所述压电微泵的远离所述共振板(1)的一侧连接且两者之间间隙形成进气腔(42)，所述底板(4)对所述压电微泵进行支撑和约束。2.根据权利要求1所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述底板(4)通过与所述电极组件(3)连接以支承所述压电微泵。3.根据权利要求2所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述电极组件(3)上形成有两个电极(32，33)，两个电极(32，33)分别与所述压电振子(2)的两个导电电极(222，223)固定连接，两个电极(32，33)之间彼此绝缘。4.根据权利要求3所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述压电元件(22)被配置为翻边式，所述压电元件(22)包括基体(221)，所述压电元件(22)的两个导电电极(222，223)延伸至位于所述基体(221)的同一面上，以与所述电极组件(3)的两个电极(32，33)固定连接。5.根据权利要求4所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述基体(221)的中部形成有通孔(2211)，一个所述导电电极从基体(221)的第一面自所述通孔(2211)或所述基体(221)的外边缘翻边至所述基体(221)的第二面，另一个所述导电电极被配置在所述基体(221)的第二面，两个所述导电电极(222，223)之间绝缘配合。6.根据权利要求5所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，两个所述导电电极(222，223)在所述基体(221)的第二面上呈同轴圆环配合，所述电极组件(3)上的两个电极(32，33)也呈同轴圆环设置在电极板(31)上；或者，翻边设置的所述导电电极的中心点偏离轴心，所述电极组件(3)包括绝缘层(34)和两个电极(32，33)，绝缘层(34)层叠在压电元件(22)和两个电极(32，33)之间，所述绝缘层(34)上开有两个避让孔(342)，两个所述电极(32，33)的连接端分别穿过两个避让孔(342)与两个导电电极(222，223)电连接。7.根据权利要求1所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述底板(4)通过支撑件(6)与所述压电微泵连接以支承所述压电微泵，所述压电微泵、支撑件(6)和底板(4)之间形成进气腔。8.根据权利要求7所述的一种压电微泵支承结构，其特征在于，所述支撑件(6)位于所述电极组件(3)的内周，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：常州威图流体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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