下载一种压电微泵支承结构及气体控制装置的技术资料

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本实用新型属于流体输送设备技术领域,具体涉及一种压电微泵支承结构及气体控制装置。一种压电微泵支承结构,包括压电微泵,包括共振板、压电振子和电极组件,共振板和压电振子依次层叠设置,压电振子的远离共振板的一侧连接有电极组件;底板,与压电微泵的远...
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