压电双晶片结构的驱动方法、致动器及微型压电泵技术

技术编号:37771109 阅读:36 留言:0更新日期:2023-06-06 13:35
本发明专利技术涉及压电双晶片结构的驱动方法、致动器及微型压电泵,压电双晶片结构包括基片和叠置在基片两侧的两压电陶瓷片,方法包括向第一电极施加电压值为V1的基准电压,向第二电极施加最大电压值为V2、最小电压值为V4的周期激励信号一,向第三电极施加最大电压值为V5、最小电压值为V3的周期激励信号二,周期激励信号一与周期激励信号二具有相同波形和相位,V2

【技术实现步骤摘要】
压电双晶片结构的驱动方法、致动器及微型压电泵


[0001]本专利技术涉及压电陶瓷
,具体涉及一种压电双晶片结构的驱动方法、致动器及微型压电泵。

技术介绍

[0002]压电双晶片是将极化后具有正负两极的两片压电陶瓷片叠置于中间弹性梁两侧并在外部电信号激励下产生力和变形的致动器或执行器,可用于构建微泵、微阀等,其性能一方面受结构部件自身特性的影响,如压电陶瓷片的机电耦合系数、品质因数、弹性柔顺系数以及弹性梁的热膨胀系数、弹性模量等,另一方面还与压电陶瓷片的电连接方式有着直接的关系。
[0003]将压电双晶片致动器作为微型泵的驱动元件,在现有技术中并不少见,如公开号为CN107781144A,专利名称为一种双腔单振子压电泵的专利中,描述的结构型式,双晶片压电振子被设置于两个腔体之间,压电振子在交流电信号的激励下产生往复弯曲变形,促使与压电振子相连的两个腔体的容积同时发生变化,提高了流体泵送效率;又如公开号为CN113162462A,专利名称为一种谐振频率可调的压电复合梁驱动的压电泵的专利中,描述的结构型式,构成压电双晶片结构的弹性梁上设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电双晶片结构的驱动方法,压电双晶片结构包括基片(1)和沿所述基片(1)的厚度方向叠置在所述基片(1)两侧的两个压电陶瓷片(2),所述压电陶瓷片(2)沿厚度方向极化,其特征在于,包括:向第一电极施加电压值为V1的基准电压,向第二电极施加最大电压值为V2、最小电压值为V4的周期激励信号一,向第三电极施加最大电压值为V5、最小电压值为V3的周期激励信号二,所述周期激励信号一与所述周期激励信号二具有相同波形和相位,且V2

V1=V1

V3,V4>V1>V5;其中,所述第一电极为一个压电陶瓷片(2)的正极和另一个压电陶瓷片(2)的负极电连接形成,所述第二电极为两个压电陶瓷片(2)剩余两极中的正极,所述第三电极为两个压电陶瓷片(2)剩余两级中的负极。2.根据权利要求1所述的压电双晶片结构的驱动方法,其特征在于,所述周期激励信号一和所述周期激励信号二的电信号波形为正弦波或余弦波。3.一种压电双晶片致动器,其特征在于,包括:压电双晶片结构,包括基片(1)和沿所述基片(1)的厚度方向叠置在所述基片(1)两侧的两个压电陶瓷片(2),所述压电陶瓷片(2)沿厚度方向极化,一个压电陶瓷片(2)的正极和另一个压电陶瓷片(2)的负极电连接形成第一电极,两个压电陶瓷片(2)剩余两极中的正极形成第二电极,负极形成第三电极;驱动控制模块(3),用于输出电压值为V1的基准电压、最大电压值为V2、最小电压值为V4的周期激励信号一及最大电压值为V5、最小电压值为V3的周期激励信号二,所述周期激励信号一与所述周期激励信号二具有相同...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名
申请(专利权)人:常州威图流体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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