本发明专利技术公开了一种湿法清洗设备防震动进液系统，包括安装框架、阀件固定板、加热器固定板，所述阀件固定板、所述加热器固定板均固定安装于所述安装框架上，所述阀件固定板安装于所述安装框架的两侧，所述加热器固定板安装于安装框架的顶部，所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板上，所述加热器安装于所述加热器固定板上，所述过滤器设置于所述加热器的旁侧，所述介质输送泵安装于所述安装框架的底部并位于所述加热器与所述过滤器之间。本发明专利技术通过将各个阀门集成安装于阀门固定板上，将加热器安装于加热器固定板上，再将阀门固定板与加热器固定板安装在安装框体上，可以有效提高进液装置的安装稳定性，避免了液体介质在传输时产生气泡。产生气泡。产生气泡。
【技术实现步骤摘要】
一种湿法清洗设备防震动进液系统及方法
[0001]本专利技术属于半导体设备
，具体涉及一种湿法清洗设备防震动进液系统及方法。
技术介绍
[0002]半导体湿法设备在工作的过程中，涉及到酸液、碱液及有机液体的使用，其需要将液体溶液或者气体溶质借由泵或者是其他的转换输送介质进行传输。介质在输送的过程中，由于需要经过多个管路及多个输送装置，泵、加热装置及阀件在运行的过程中会产生大量的震动的情形，由于震动的产生，在液体溶液内会产生气泡或者发生液体不均匀的情况，造成清洗液失效，影响晶圆产品的清洗质量，晶圆产品的表面形成清洗盲区，进而导致晶圆产品失效。
技术实现思路
[0003]针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种湿法清洗设备防震动进液系统，本专利技术能够保证湿法清洗设备的进液的稳定性，提高清洗溶液的稳定性，保证晶圆产品的清洗质量。此外，本专利技术还要提供一种一种湿法清洗设备防震动进液方法。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]本专利技术提供一种湿法清洗设备防震动进液系统，采用防震动进液系统，所述防震动进液系统包括酸液进液管路、纯水进液管路、配液槽、介质输送泵、加热器、过滤器、排液管路、调节阀，所述酸液进液管路的进口连接外部供液系统，所述纯水进液管路连接纯水，所述酸液进液管路、所述纯水进液管路的出口连接所述配液槽的进口，配液槽的出口通过第一输送管路连接所述介质输送泵的进口，所述配液槽内设置有浓度检测仪，所述介质输送泵的出口通过第二输送管路连接所述加热器的进口，所述加热器的出口通过第三输送管路连接所述过滤器的进口，所述加热器内部设置有温度传感器，所述过滤器的出口通过排液管路连接清洗槽，所述进液管路、所述第一输送管路、所述第二输送管路、所述第三输送管路、所述排液管路上均设置有调节电磁阀，所述调节电磁阀、所述浓度检测仪、所述温度传感器连接PLC控制器；
[0006]还包括安装框架、阀件固定板、加热器固定板，所述阀件固定板、所述加热器固定板均固定安装于所述安装框架上，所述阀件固定板安装于所述安装框架的两侧，所述加热器固定板安装于所述安装框架的顶部，所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板上，所述加热器安装于所述加热器固定板上，所述过滤器设置于所述加热器的旁侧，所述过滤器的中轴线、所述加热器的中轴线、所述第三输送管路之间形成三角形结构，所述介质输送泵安装于所述安装框架的底部并位于所述加热器与所述过滤器之间。
[0007]作为优选的技术方案，所述过滤器的顶部设置有过滤器安装架，所述过滤器安装架为U形结构，其底部设置有卡合槽，所述过滤器的顶部固定于所述卡合槽内，所述过滤器安装架的顶部安装于湿法设备的主框架上。
[0008]作为优选的技术方案，所述过滤器与所述过滤器安装架之间设置有塑式活动式卡簧。
[0009]作为优选的技术方案，所述阀件固定板与所述安装框架之间的安装、所述加热器与所述安装框架之间的安装、所述过滤器安装架与所述主框架之间的安装均采用螺栓螺母式安装，所述螺栓为缓冲螺母，所述缓冲螺母的两侧沿螺母主体的周向设置有三角形缓冲齿。
[0010]作为优选的技术方案，所述安装框架靠近所述加热器固定板的一侧设置有一个阀件固定板，另一侧设置有两个阀件固定板。
[0011]作为优选的技术方案，所述安装框架安装于湿法清洗设备的清洗单元，每个清洗单元设置有1个或2个防震动进液系统。
[0012]本专利技术的第二方面，提供一种湿法清洗设备防震动进液方法，采用上述的湿法清洗设备防震动进液系统，包括以下步骤：
[0013]步骤一、酸液进液管路、纯水进液管路按照特定的比例向配液槽内输送酸液及纯水，酸液及纯水在配液槽内进行混合；
[0014]步骤二、浓度检测仪实时检测配液槽内酸液的浓度，并将浓度信号反馈至PLC控制器，PLC控制器根据浓度信息控制酸液进液管路、纯水进液管路上调节电磁阀的开启角度；
[0015]步骤三、配液槽内混合完成的清洗液依次经过介质输送泵、加热器、过滤器后由排液管路输送至清洗槽；
[0016]步骤四、温度传感器实时感应清洗液的温度信号并反馈至PLC控制器，PLC控制器根据温度信息控制加热器的温度。
[0017]作为优选的技术方案，所述步骤二中，酸液进液管路、纯水进液管路连接至主配液槽，在主配液槽内完成混合后进入副配液槽，主配液槽的出口与副配液槽的出口通过两个支管连接第一输送管路的进液端，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处均设置有调节电磁阀，正常工作状态下，混合完成后的清洗液由副配液槽输送至第一输送管路。
[0018]作为优选的技术方案，若第一输送管路的流量值小于设定值，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处的调节电磁阀同时开启。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
[0020](1)本专利技术通过将各个阀门集成安装于阀门固定板上，将加热器安装于加热器固定板上，再将阀门固定板与加热器固定板安装在安装框体上，可以有效提高进液装置的安装稳定性，避免了液体介质在传输时产生气泡。
[0021](2)本专利技术在过滤器、加热器、第三输送管路之间形成三角形结构，可以有效吸收设备产生的简谐振动，可以有效地缓解设备的震动。
[0022](3)本专利技术通过设置缓冲螺母，缓冲螺母的两侧设置有三角形缓冲齿能够有效地分散振动所产生的应力，避免震动在不同的结构之间传递，提高了进液装置的稳定性。
[0023](4)本专利技术设置了过滤器安装架，通过过滤器安装架将过滤器的顶部固定在主框架上，将介质输送泵设置在安装框架的底部，降低了整个装置的重心，避免了进液装置在工作的过程中来回晃动。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本专利技术湿法清洗设备防震动进液系统的结构示意图之一。
[0026]图2为本专利技术湿法清洗设备防震动进液系统的结构示意图之二。
[0027]图3为本专利技术湿法清洗设备防震动进液系统的结构示意图之三。
[0028]图4为本专利技术湿法清洗设备防震动进液系统的爆炸示意图。
[0029]图5为本专利技术湿法清洗设备防震动进液系统中缓冲螺母的结构示意图。
[0030]其中，附图标记具体说明如下：安装框架1、阀件固定板2、加热器固定板3、介质输送泵4、加热器5、过滤器6、酸液进液管路7、纯水进液管路8、第一输送管路9、第二输送管路10、第三输送管路11、排液管路12、过滤器安装架13、缓冲螺母14、三角形缓冲齿15。
具体实施方式
[0031]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种湿法清洗设备防震动进液系统，其特征在于，采用防震动进液系统，所述防震动进液系统包括酸液进液管路、纯水进液管路、配液槽、介质输送泵、加热器、过滤器、排液管路、调节阀，所述酸液进液管路的进口连接外部供液系统，所述纯水进液管路连接纯水，所述酸液进液管路、所述纯水进液管路的出口连接所述配液槽的进口，配液槽的出口通过第一输送管路连接所述介质输送泵的进口，所述配液槽内设置有浓度检测仪，所述介质输送泵的出口通过第二输送管路连接所述加热器的进口，所述加热器的出口通过第三输送管路连接所述过滤器的进口，所述加热器内部设置有温度传感器，所述过滤器的出口通过排液管路连接清洗槽，所述进液管路、所述第一输送管路、所述第二输送管路、所述第三输送管路、所述排液管路上均设置有调节电磁阀，所述调节电磁阀、所述浓度检测仪、所述温度传感器连接PLC控制器；还包括安装框架、阀件固定板、加热器固定板，所述阀件固定板、所述加热器固定板均固定安装于所述安装框架上，所述阀件固定板安装于所述安装框架的两侧，所述加热器固定板安装于所述安装框架的顶部，所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板上，所述加热器安装于所述加热器固定板上，所述过滤器设置于所述加热器的旁侧，所述过滤器的中轴线、所述加热器的中轴线、所述第三输送管路之间形成三角形结构，所述介质输送泵安装于所述安装框架的底部并位于所述加热器与所述过滤器之间。2.如权利要求1所述的一种湿法清洗设备防震动进液系统，其特征在于，所述过滤器的顶部设置有过滤器安装架，所述过滤器安装架为U形结构，其底部设置有卡合槽，所述过滤器的顶部固定于所述卡合槽内，所述过滤器安装架的顶部安装于湿法设备的主框架上。3.如权利要求2所述的一种湿法清洗设备防震动进液系统，其特征在于，所述过滤器与所述过滤器安装架之间设置有塑式活动式卡簧。4.如权利要求2所述的一种湿法清洗设备防震动进液系统，其特征在于，所述阀件固定板与所述安装框...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢证凯，邓信甫，刘大威，陈丁堃，
申请(专利权)人：至微半导体上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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