阴极靶装置及真空多弧离子镀膜机制造方法及图纸

技术编号:28138567 阅读:18 留言:0更新日期:2021-04-21 19:11
本发明专利技术公开了阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,涉及离子镀膜技术领域,为解决现有离子镀膜机将物件放置在工件上,与阴极弧靶是一个固定机构,在对于物件的不同点进行镀膜时较为繁琐的问题。所述离子镀膜机主体钢架的内部设置有固定板,所述固定板的下端面设置有螺纹杆,且螺纹杆设置有六个,六个所述螺纹杆均与镀膜机主体钢架的下端面螺纹连接,六个所述螺纹杆的下端面均设置有柱脚,所述离子镀膜机主体钢架的上方设置有镀膜机主体。主体钢架的上方设置有镀膜机主体。主体钢架的上方设置有镀膜机主体。

【技术实现步骤摘要】
阴极靶装置及真空多弧离子镀膜机


[0001]本专利技术涉及离子镀膜
,具体为阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机。

技术介绍

[0002]现代航空工业中使用的镀膜办法种类很多,比如电镀、喷镀、化学镀、扩散度以及轧压等。其中不少镀膜工艺已为人们掌握,并在生产中发挥了显著作用。但是,已有的镀膜工艺跟不上产品日新月异的发展,从而促使人们探索新的镀膜技术。“离子镀”就是近十几年来发展起来的一种最新的真空镀膜技术。离子镀的作用过程如下:蒸发源接阳极,工件接阴极,当通以三至五千伏高压直流电以后,蒸发源与工件之间产生弧光放电。由于真空罩内充有惰性氩气,在放电电场作用下部分氩气被电离,从而在阴极工件周围形成一等离子暗区。带正电荷的氩离子受阴极负高压的吸引,猛烈地轰击工件表面,致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出,从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。
[0003]但是,现有离子镀膜机将物件放置在工件上,与阴极弧靶是一个固定机构,在对于物件的不同点进行镀膜时较为繁琐的问题;因此,不满足现有的需求,对此我们提出了阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,以解决上述
技术介绍
中提出的现有离子镀膜机将物件放置在工件上,与阴极弧靶是一个固定机构,在对于物件的不同点进行镀膜时较为繁琐的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,包括离子镀膜机主体钢架,所述离子镀膜机主体钢架的内部设置有固定板,所述固定板的下端面设置有螺纹杆,且螺纹杆设置有六个,六个所述螺纹杆均与离子镀膜机主体钢架的下端面螺纹连接,六个所述螺纹杆的下端面均设置有柱脚,所述离子镀膜机主体钢架的上方设置有镀膜机主体。
[0006]优选的,所述镀膜机主体的上端面设置有伺服电机,所述伺服电机的一侧设置有固定件,所述固定件的一侧设置有第一输送管道。
[0007]优选的,所述镀膜机主体的一侧设置有第二输送管道,且第二输送管道设置有两个,两个所述第二输送管道的下方均设置有第三输送管道,两个所述第二输送管道和第三输送管道之间设置有连接管道,且连接管道设置有两个。
[0008]优选的,所述镀膜机主体的前端面设置有运行端口,所述运行端口的前端面设置有检修挡板,所述检修挡板通过第一旋转轴与镀膜机主体转动连接,且第一旋转轴设置有两个。
[0009]优选的,所述检修挡板一侧设置有安装片,且安装片设置有两个,两个所述安装片的内部设置有六角铆钉,且六角铆钉设置有两个,所述检修挡板的内部设置有安装端口。
[0010]优选的,所述镀膜机主体的内部设置有内腔体,所述内腔体内部的上方设置有中
心转动轴,所述中心转动轴的两侧均设置有连接杆体,且连接杆体设置有两个,两个所述连接杆体通过第二旋转轴与中心转动轴转动连接,且第二旋转轴设置有两个,两个所述连接杆体的一端均设置有电镀端口,所述电镀端口通过第三旋转轴与连接杆体转动连接,且第三旋转轴设置有两个,所述内腔体内部的下方设置有固定基座,所述固定基座的上方设置有夹持机构,所述夹持机构的内部设置有安装腔体,所述夹持机构内壁的四周均设置有弹簧机构,且弹簧机构设置有四个,所述安装腔体的内部设置有防滑贴片。
[0011]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:1、本专利技术通过在镀膜机主体上设置的伺服电机,以及在镀膜机主体内部设置的中心转动轴、第二旋转轴和第三旋转轴,让物件放置在工件上的时候,可以让操作杆体对物件的任意角度进行电镀操作,加大操作的便捷性。
[0012]2、通过在夹持机构的内部设置的弹簧机构,让物件放置在夹持机构内部的安装腔体后,四周可以通过弹簧机构进行有效的夹紧,减少脱落的几率,而在安装腔体中设置的防滑贴片,加大了腔体与物件间的摩擦力,从而使得固定更加牢靠。
附图说明
[0013]图1为本专利技术的整体结构示意图;图2为本专利技术的内部结构示意图;图3为本专利技术的夹持机构局部放大图;图中:1、离子镀膜机主体钢架;2、固定板;3、螺纹杆;4、柱脚;5、镀膜机主体;6、伺服电机;7、固定件;8、第一输送管道;9、运行端口;10、检修挡板;11、安装片;12、六角铆钉;13、第一旋转轴;14、安装端口;15、第二输送管道;16、连接管道;17、第三输送管道;18、内腔体;19、中心转动轴;20、第二旋转轴;21、连接杆体;22、第三旋转轴;23、电镀端口;24、固定基座;25、夹持机构;26、安装腔体;27、弹簧机构;28、防滑贴片。
具体实施方式
[0014]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0015]请参阅图1

3,本专利技术提供的一种实施例:阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,包括离子镀膜机主体钢架1,离子镀膜机主体钢架1的内部设置有固定板2,固定板2的下端面设置有螺纹杆3,且螺纹杆3设置有六个,螺纹杆3的设置,可以有效的进行高度上的调整,六个螺纹杆3均与离子镀膜机主体钢架1的下端面螺纹连接,六个螺纹杆3的下端面均设置有柱脚4,离子镀膜机主体钢架1的上方设置有镀膜机主体5。
[0016]进一步,镀膜机主体5的上端面设置有伺服电机6,伺服电机6的一侧设置有固定件7,固定件7的一侧设置有第一输送管道8,伺服电机6的设置,提供转动的动力。
[0017]进一步,镀膜机主体5的一侧设置有第二输送管道15,且第二输送管道15设置有两个,两个第二输送管道15的下方均设置有第三输送管道17,两个第二输送管道15和第三输送管道17之间设置有连接管道16,且连接管道16设置有两个,连接管道16的设置,让管道进行连接。
[0018]进一步,镀膜机主体5的前端面设置有运行端口9,运行端口9的前端面设置有检修
挡板10,检修挡板10通过第一旋转轴13与镀膜机主体5转动连接,且第一旋转轴13设置有两个,第一旋转轴13的设置,让转动较为便捷。
[0019]进一步,检修挡板10一侧设置有安装片11,且安装片11设置有两个,两个安装片11的内部设置有六角铆钉12,且六角铆钉12设置有两个,检修挡板10的内部设置有安装端口14,六角铆钉12的设置,让安装更加的牢靠。
[0020]进一步,镀膜机主体5的内部设置有内腔体18,内腔体18内部的上方设置有中心转动轴19,中心转动轴19的两侧均设置有连接杆体21,且连接杆体21设置有两个,两个连接杆体21通过第二旋转轴20与中心转动轴19转动连接,且第二旋转轴20设置有两个,两个连接杆体21的一端均设置有电镀端口23,电镀端口23通过第三旋转轴22与连接杆体21转动连接,且第三旋转轴22设置有两个,内腔体18内部的下方设置有固定基座24,固定基座24的上方设置有夹持机构25,夹持机构25的内部设置有安装腔体26,夹持机构25内壁的四周均设置有弹簧机构27,且弹簧机构27设置有四个,安本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,包括离子镀膜机主体钢架(1),其特征在于:所述离子镀膜机主体钢架(1)的内部设置有固定板(2),所述固定板(1)的下端面设置有螺纹杆(3),且螺纹杆(3)设置有六个,六个所述螺纹杆(3)均与镀膜机主体钢架(1)的下端面螺纹连接,六个所述螺纹杆(3)的下端面均设置有柱脚(4),所述离子镀膜机主体钢架(1)的上方设置有镀膜机主体(5)。2.根据权利要求1所述的阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,其特征在于:所述镀膜机主体(5)的上端面设置有伺服电机(6),所述伺服电机(6)的一侧设置有固定件(7),所述固定件(7)的一侧设置有第一输送管道(8)。3.根据权利要求1所述的阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,其特征在于:所述镀膜机主体(5)的一侧设置有第二输送管道(15),且第二输送管道(15)设置有两个,两个所述第二输送管道(15)的下方均设置有第三输送管道(17),两个所述第二输送管道(15)和第三输送管道(17)之间设置有连接管道(16),且连接管道(16)设置有两个。4.根据权利要求1所述的阴极弧靶装置及真空多弧离子镀膜机,其特征在于:所述镀膜机主体(5)的前端面设置有运行端口(9),所述运行端口(9)的前端面设置有检修挡板(10),所述检修挡板(10)通过第一旋转轴(13)与镀膜机主体(5...

【专利技术属性】
技术研发人员:戴丽娜
申请(专利权)人:苏州科亿嘉新技术开发有限公司
类型:发明
国别省市:

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