一种真空镀膜加工清洗设备制造技术

本发明专利技术公开了一种真空镀膜加工清洗设备，涉及基片镀膜加工设备技术领域，为解决现有的如何在保证清洗效率的前提下提高基片清洗效果的问题。所述外壳内部的上端固定设置有导轨，所述安装头的下端安装有夹持装置，所述夹持装置的下端设置有基片，所述外壳内部的一侧设置有冲洗腔，所述冲洗腔的一侧设置有超声波清洗腔，所述超声波清洗腔的下端设置有第一清洗槽，所述换能器的下方安装有超声发生器，所述超声波清洗腔的一侧设置有等离子清洗腔，所述等离子清洗腔的下方设置有第二清洗槽，所述第二清洗槽内部的两侧均安装有石墨阴极，所述等离子清洗腔的一侧设置有烘干腔，所述烘干腔的一侧设置有防尘处理腔，所述放卷辊的外部设置有防尘膜。置有防尘膜。置有防尘膜。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜加工清洗设备


[0001]本专利技术涉及基片镀膜加工设备
，具体为一种真空镀膜加工清洗设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体（称基板、基片或基体）上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜，真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术。
[0003]然而，影响真空镀膜效果的一个重要因素是镀膜与基片之间的结合力，结合力较低的话易导致镀膜从基片的表面脱落，实践证明，基片表面的净洁度在真空镀膜过程中是影响镀膜与基片结合力强弱的一个重要因素，所以在基片镀膜之前，需要使用清洗设备对其进行清洗，使其表面保持洁净。
[0004]但是，现有的基片清洗设备在使用过程中存在一定的缺陷：一、清洗结构较为简单，不能够有效地去除基片表面的附着物；二、清洗过程较为复杂，在对基片进行大批量加工时，整体效率较低，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种真空镀膜加工清洗设备。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜加工清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的如何在保证清洗效率的前提下提高基片清洗效果的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种真空镀膜加工清洗设备，包括外壳，所述外壳内部的上端固定设置有导轨，且导轨的两端均延伸至外壳的外部，所述导轨的外部滑动安装有滑动块，所述滑动块的下端安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的下端固定设置有安装头，所述安装头的下端安装有夹持装置，所述夹持装置的下端设置有基片，所述外壳内部的一侧设置有冲洗腔，所述冲洗腔的一侧设置有超声波清洗腔，所述超声波清洗腔的下端设置有第一清洗槽，所述第一清洗槽的下端设置有换能器，且换能器设置有三个，所述换能器的下方安装有超声发生器，所述超声波清洗腔的一侧设置有等离子清洗腔，所述等离子清洗腔的下方设置有第二清洗槽，所述第二清洗槽内部的两侧均安装有石墨阴极，所述等离子清洗腔的一侧设置有烘干腔，所述烘干腔的一侧设置有防尘处理腔，所述防尘处理腔的内部转动安装有放卷辊，且放卷辊安装有两个，所述放卷辊的外部设置有防尘膜。
[0007]优选的，所述安装头的内部固定安装有第一伺服电机，所述安装头与夹持装置之间设置有连接块，且第一伺服电机的输出端与连接块的上端固定连接，所述连接块与夹持装置的上端通过转轴转动连接，所述夹持装置内部的中间位置处设置有固定座，所述固定
座的两侧均转动安装有丝杠，所述夹持装置的两侧均安装有第二伺服电机，且第二伺服电机的输出轴与丝杠的一端通过联轴器传动连接，所述丝杠的外部安装有夹板，且夹板与丝杠通过螺纹配合，所述夹板的内侧与基片相贴合。
[0008]优选的，所述冲洗腔内部的两侧均设置有集水管，且集水管设置有两个，所述集水管的一侧均固定安装有清洁液喷头，且清洁液喷头安装有五个，所述集水管的一侧均安装有毛辊，所述毛辊与外壳通过轴承转动连接，所述清洁液喷头与毛辊呈间隔分布。
[0009]优选的，所述第一清洗槽的外部均设置有支撑弹簧，支撑弹簧设置有若干个，且第一清洗槽与外壳通过支撑弹簧固定连接，所述第一清洗槽的内部设有水基清洗剂，所述第一清洗槽上端的边缘固定设置有挡板。
[0010]优选的，所述第二清洗槽的内部设有电解液。
[0011]优选的，所述第一清洗槽和第二清洗槽的一侧均安装有液体浓度传感器，且液体浓度传感器的检测端分别延伸至第一清洗槽和第二清洗槽的内部，所述第一清洗槽和第二清洗槽下端的一侧均设置有排液口，所述第一清洗槽和第二清洗槽下端的另一侧均设置有进液管，所述排液口与进液管的外部均安装有电控阀门，所述第一清洗槽和第二清洗槽的外部均设置有水泵，所述水泵的一端与进液管相连通，且液体浓度传感器与水泵电性连接。
[0012]优选的，所述烘干腔内部的两侧均设置有烘干孔，且烘干孔设置有五个，所述烘干腔的底部固定设置有集液盘，所述集液盘的上端呈环形阵列开设有若干丙酮喷头，所述烘干腔的下端设置有储液罐，且储液罐与集液盘通过连接管密封固定。
[0013]优选的，所述防尘处理腔的底部设置有输送机构，所述输送机构上端的两侧均转动安装有张力辊，所述放卷辊之间安装有第二电动推杆，且第二电动推杆与外壳通过螺栓固定，所述第二电动推杆的下端固定设置有压板。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术通过在外壳的内部分别设置有冲洗腔、超声波清洗腔、等离子清洗腔、烘干腔和防尘处理腔，其中冲洗腔作为预处理区域，能够对基片表面的残留抛光膏进行清理，超声波清洗腔和等离子清洗腔能够进一步将基片表面盲孔中的杂质快速去除，烘干腔能够对经过清洗的基片进行脱水烘干，避免表面残余水分，最后在防尘处理腔将镀膜面贴上薄膜，避免在后续拿取的过程中沾染灰尘，在这一过程中，夹持装置上滑动块与导轨的配合下，能够实现流程化快速处理，一方面减轻了操作负担，另一方面提高了清洗效率。
[0015]2、本专利技术通过在冲洗腔的内部设置有两个清洁液喷头和毛辊，清洁液喷头与毛辊间隔分布，装有基片的夹持装置进入冲洗腔时，清洁液喷头能够对基片喷洒清洁液，同时在电机的驱动下，令毛辊进行高速转动，转动过程中与基片相接触，在摩擦力的作用下将清洁液快速与基片复合，从而将表面的抛光膏进行去除，通过这种方式，能够实现对基片的预处理，令整体保持初步清洁。
[0016]3、本专利技术通过在超声波清洗腔的下方设置有第一清洗槽，经过初步清洗的基片在第一电动推杆的作用下进入至第一清洗槽内部，启动超声发生器，通过换能器，将功率超声频源的声能转换成机械振动，通过清洗槽壁将超声波辐射到槽子中的清洗液，由于受到超声波的辐射，使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动，破坏污物与基片表面的吸附，引起污物层的疲劳破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，具有清洗洁净度高、清洗速度快的特点，同时在第一清洗槽的外部设置有若干支撑弹簧，支撑
弹簧一方面能够提高对第一清洗槽的支撑效果，另一方面能够降低来自第一清洗槽对外壳产生的震动，进而避免对其他组件造成影响。
[0017]4、本专利技术通过在等离子清洗腔的内部设置有第二清洗槽，第二清洗槽的内部装有电解液，经过超声波清洗后的基片在电动推杆与导轨的配合下进入至第二清洗槽，此时基片为阳极，基片与石墨阴极置于电解液槽中，通过直流电产生阳极溶液进行清洗，清洗中的自由电子与气体中的原子和分子碰撞，引发原子、分子的内态变化产生激发离解和电离，所产生的物质的变化发生各种化学反应生成化合物，从而实现对基片的深度化清洗。
[0018]5、本专利技术通过在防尘处理腔的内部设置卷有防尘膜的放卷辊，经过烘干的基片在输送机构的输送下逐渐移动至两个张力辊的下方，启动第二电动推杆，令下端的压板挤压防尘膜接触至基片，随本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜加工清洗设备，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）内部的上端固定设置有导轨（2），且导轨（2）的两端均延伸至外壳（1）的外部，所述导轨（2）的外部滑动安装有滑动块（3），所述滑动块（3）的下端安装有第一电动推杆（4），所述第一电动推杆（4）的下端固定设置有安装头（5），所述安装头（5）的下端安装有夹持装置（6），所述夹持装置（6）的下端设置有基片（7），所述外壳（1）内部的一侧设置有冲洗腔（8），所述冲洗腔（8）的一侧设置有超声波清洗腔（12），所述超声波清洗腔（12）的下端设置有第一清洗槽（13），所述第一清洗槽（13）的下端设置有换能器（14），且换能器（14）设置有三个，所述换能器（14）的下方安装有超声发生器（15），所述超声波清洗腔（12）的一侧设置有等离子清洗腔（19），所述等离子清洗腔（19）的下方设置有第二清洗槽（20），所述第二清洗槽（20）内部的两侧均安装有石墨阴极（21），所述等离子清洗腔（19）的一侧设置有烘干腔（22），所述烘干腔（22）的一侧设置有防尘处理腔（27），所述防尘处理腔（27）的内部转动安装有放卷辊（29），且放卷辊（29）安装有两个，所述放卷辊（29）的外部设置有防尘膜（31）。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述安装头（5）的内部固定安装有第一伺服电机（34），所述安装头（5）与夹持装置（6）之间设置有连接块（42），且第一伺服电机（34）的输出端与连接块（42）的上端固定连接，所述连接块（42）与夹持装置（6）的上端通过转轴转动连接，所述夹持装置（6）内部的中间位置处设置有固定座（37），所述固定座（37）的两侧均转动安装有丝杠（36），所述夹持装置（6）的两侧均安装有第二伺服电机（35），且第二伺服电机（35）的输出轴与丝杠（36）的一端通过联轴器传动连接，所述丝杠（36）的外部安装有夹板（38），且夹板（38）与丝杠（36）通过螺纹配合，所述夹板（38）的内侧与基片（7）相贴合。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜加工清洗设备，其特征在于：所述冲洗腔（8）内部的两侧均设置有集水管（9），且集水管（9）设置有两个，所述集水管（9）的一侧均固定安装有清洁液喷头（10...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴丽娜，
申请(专利权)人：苏州科亿嘉新技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：