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本发明公开了一种真空镀膜加工清洗设备，涉及基片镀膜加工设备技术领域，为解决现有的如何在保证清洗效率的前提下提高基片清洗效果的问题。所述外壳内部的上端固定设置有导轨，所述安装头的下端安装有夹持装置，所述夹持装置的下端设置有基片，所述外壳内部的...
该专利属于苏州科亿嘉新技术开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科亿嘉新技术开发有限公司授权不得商用。

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