一种直条靶材装夹机构制造技术

本实用新型专利技术涉及靶材供料技术领域，尤其公开了一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁；实际使用时，将直条靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的直条靶材加热蒸发成靶材离子进行供料，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种直条靶材装夹机构


[0001]本技术涉及靶材供料
，尤其公开了一种直条靶材装夹机构。

技术介绍

[0002]在工件的加工处理过程中，刀具是各种加工设备常用的基本配件之一，例如，电子产品均需要使用内置电路板，钻针就是用于在内置电路板上钻孔的常用刀具之一，为了延长钻针等刀具的使用寿命，常常需要在刀具的外侧涂设涂层。
[0003]现有技术中用于提供涂层材料的构造设计不合理，一方面因温度过高而产生炸裂安全隐患，另一方面容易因涂层材料混有较多杂质而导致刀具涂层不良。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本技术的目的在于提供一种直条靶材装夹机构，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
[0005]为实现上述目的，本技术的一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直条靶材装夹机构，其特征在于：包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁。2.根据权利要求1所述的直条靶材装夹机构，其特征在于：还包括转动设置于载架并用于承载直条靶材的载具、用于驱动载具连带直条靶材转动的驱动件。3.根据权利要求2所述的直条靶材装夹机构，其特征在于：所述直条靶材设有贯穿直条靶材的内置孔，直条靶材套设在载具的外侧，载具容设在内置孔内。4.根据权利要求3所述的直条靶材装夹机构，其特征在于：所述载具设有贯穿载具的冷却流道，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道对载具所承载的直条靶材冷却降温。5.根据权利要求4所述的直条靶材装夹机构，其特征在于：所述内置孔的内孔面与载具之间形成有与冷却流道连通的冷却狭槽，冷却单元用于驱动外界...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊锋，王锋，袁明，
申请(专利权)人：广东鼎泰机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：