本实用新型专利技术涉及靶材供料技术领域，尤其公开了一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁；实际使用时，将直条靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的直条靶材加热蒸发成靶材离子进行供料，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。率。率。
【技术实现步骤摘要】
一种直条靶材装夹机构
[0001]本技术涉及靶材供料
，尤其公开了一种直条靶材装夹机构。
技术介绍
[0002]在工件的加工处理过程中，刀具是各种加工设备常用的基本配件之一，例如，电子产品均需要使用内置电路板，钻针就是用于在内置电路板上钻孔的常用刀具之一，为了延长钻针等刀具的使用寿命，常常需要在刀具的外侧涂设涂层。
[0003]现有技术中用于提供涂层材料的构造设计不合理，一方面因温度过高而产生炸裂安全隐患，另一方面容易因涂层材料混有较多杂质而导致刀具涂层不良。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本技术的目的在于提供一种直条靶材装夹机构，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
[0005]为实现上述目的，本技术的一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁。
[0006]进一步地，还包括转动设置于载架并用于承载直条靶材的载具、用于驱动载具连带直条靶材转动的驱动件。
[0007]进一步地，所述直条靶材设有贯穿直条靶材的内置孔，直条靶材套设在载具的外侧，载具容设在内置孔内。
[0008]进一步地，所述载具设有贯穿载具的冷却流道，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道对载具所承载的直条靶材冷却降温。<br/>[0009]进一步地，所述内置孔的内孔面与载具之间形成有与冷却流道连通的冷却狭槽，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道及冷却狭槽对载具所承载的直条靶材冷却降温。
[0010]进一步地，所述磁铁呈环形，磁铁环绕直条靶材设置。
[0011]进一步地，所述磁铁呈直条状，磁铁沿直条靶材的长度方向延伸设置，直条靶材套设在磁铁的外侧。
[0012]进一步地，所述载具包括第一定位盘、第二定位盘及连接两个定位盘的连接柱，第一定位盘转动设置于载架，直条靶材套设在连接柱的外侧，直条靶材夹持在两个定位盘之间。
[0013]进一步地，所述定位盘设有位于直条靶材内的定位部，定位部的外侧套设有密封圈，密封圈用于密封定位部与直条靶材之间的间隙。
[0014]进一步地，所述第一定位盘的外侧套设有滚动轴承，滚动轴承位于载架内。
[0015]本技术的有益效果：实际使用时，将直条靶材设置在载架上，加热单元将载具
承载的直条靶材加热蒸发成靶材离子进行供料，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
附图说明
[0016]图1为本技术的立体结构示意图；
[0017]图2为本技术的剖视图。
[0018]附图标记包括：
[0019]1—载架
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2—磁铁
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3—载具
[0020]4—直条靶材
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5—冷却流道
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6—冷却狭槽
[0021]7—第一定位盘
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8—第二定位盘
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9—连接柱
[0022]11—定位部
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12—密封圈
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13—滚动轴承。
具体实施方式
[0023]为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例及附图对本技术作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本技术的限定。
[0024]请参阅图1至图2所示，本技术的一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材4的载架1、安装设置在载架1上并用于加热蒸发直条靶材4的加热单元、用于冷却载架1所承载的直条靶材4的冷却单元、设置在载架1上并作用于直条靶材4蒸发后的靶材离子的磁铁2。
[0025]实际使用时，将直条靶材4设置在载架1上，加热单元将载具3承载的直条靶材4加热蒸发成靶材离子进行供料，借助冷却单元冷却直条靶材4，避免直条靶材4温度过高而炸裂；直条靶材4蒸发后的靶材离子在磁铁2的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，即利用靶材离子与杂质离子在磁铁2的磁场中受洛伦兹力的差异实现对靶材离子的筛选，提升靶材物料的供料良率。
[0026]还包括转动设置在载架1上并用于承载直条靶材4的载具3、用于驱动载具3连带直条靶材4转动的驱动件。本实施例中，载架1设有容置孔，载具3的一端转动容设在容置孔内，驱动件可以为电机，电机用于驱动载具3连带载具3所承载的直条靶材4转动。
[0027]实际使用时，加热单元加热蒸发载具3所承载的直条靶材4，同时驱动件驱动载具3带动直条靶材4转动，使得直条靶材4的外侧面均匀蒸发形成靶材离子，提升直条靶材4供应靶材离子的均匀性，避免直条靶材4的局部外侧面供料而供料不良。
[0028]所述直条靶材4设有贯穿直条靶材4的内置孔，内置孔沿直条靶材4的长度方向延伸设置，直条靶材4套设在载具3的外侧，载具3容设在内置孔内。实际使用时，将直条靶材4直接套设在载具3的外侧，利用内置孔与载具3的配合，实现直条靶材4与载具3快速安装配合，提升直条靶材4与载具3的组装效率。
[0029]所述载具3上设置有贯穿载具3的冷却流道5，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道5对载具3所承载的直条靶材4冷却降温。根据实际需要，冷却流体可以为冷却水、冷却油或冷却气体等，当然，冷却单元配置有用于降低冷却流体的温度的制冷件。
[0030]实际使用时，冷却单元输送的冷却流体流经冷却流道5，进而带走载具3所承载的
直条靶材4的热量，实现对直条靶材4的降温处理，避免直条靶材4因温度过高而炸裂。
[0031]所述内置孔的内孔面与载具3之间形成有与冷却流道5连通的冷却狭槽6，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道5及冷却狭槽6对载具3所承载的直条靶材4冷却降温。如此，冷却单元输送的冷却流体经由冷却流道5直接流入直条靶材4的内置孔内对直条靶材4进行降温处理，确保直条靶材4降温处理的及时性。
[0032]在一个实施例中，所述磁铁2呈环形，磁铁2环绕直条靶材4设置，即磁铁2的内径大于直条靶材4的外径。
[0033]在另一个实施例中，所述磁铁2呈直条状，磁铁2沿直条靶材4的长度方向延伸设置，直条靶材4套设在磁铁2的外侧。
[0034]所述载具3包括第一定位盘7、第二定位盘8及连接两个定位盘的连接柱9，第一定位盘7、第二定位盘8彼此间隔且平行设置，第一定位盘7转动设置在载架1的容置孔内，直条靶材4套设在连接柱9的外侧，直条靶材4夹持在两个定位盘之间。连接柱9位于内置孔内，利用两个定位盘夹持定位直条靶材本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种直条靶材装夹机构，其特征在于：包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁。2.根据权利要求1所述的直条靶材装夹机构，其特征在于：还包括转动设置于载架并用于承载直条靶材的载具、用于驱动载具连带直条靶材转动的驱动件。3.根据权利要求2所述的直条靶材装夹机构，其特征在于：所述直条靶材设有贯穿直条靶材的内置孔，直条靶材套设在载具的外侧，载具容设在内置孔内。4.根据权利要求3所述的直条靶材装夹机构，其特征在于：所述载具设有贯穿载具的冷却流道，冷却单元用于驱动外界的冷却流体流经冷却流道对载具所承载的直条靶材冷却降温。5.根据权利要求4所述的直条靶材装夹机构，其特征在于：所述内置孔的内孔面与载具之间形成有与冷却流道连通的冷却狭槽，冷却单元用于驱动外界...
【专利技术属性】
技术研发人员：王俊锋，王锋，袁明，
申请(专利权)人：广东鼎泰机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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