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本实用新型涉及靶材供料技术领域，尤其公开了一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁；实际使用时，将...
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