超硬硅系涂层制造技术

本发明专利技术公开了一种超硬硅系涂层，其包CrAl基层、复合层、TiSi表层，复合层位于CrAl基层和TiSi表层之间。本发明专利技术显著提高涂层的硬度及抗氧化性。氧化性。氧化性。

【技术实现步骤摘要】
超硬硅系涂层


[0001]本专利技术涉及一种涂层，特别是涉及一种超硬硅系涂层。

技术介绍

[0002]目前涂层行业中，普遍使用金属元素的材料为涂层原材料，如钛、铝、铬等，其硬度低。

技术实现思路

[0003]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种超硬硅系涂层，其显著提高涂层的硬度及抗氧化性。
[0004]本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种超硬硅系涂层，其特征在于，其包CrAl基层、复合层、TiSi表层，复合层位于CrAl基层和TiSi表层之间。
[0005]优选地，所述复合层为TiSi和CrAl的复合层。
[0006]优选地，所述TiSi表层的上面设有氧化层。
[0007]优选地，所述复合层的厚度大于CrAl基层的厚度，复合层的厚度也大于TiSi表层的厚度。
[0008]本专利技术的积极进步效果在于：本专利技术超硬硅系涂层显著提高涂层的硬度及抗氧化性。
附图说明
[0009]图1为本专利技术超硬硅系涂层的结构示意图。
具体实施方式
[0010]下面结合附图给出本专利技术较佳实施例，以详细说明本专利技术的技术方案。
[0011]如图1所示，本专利技术超硬硅系涂层包括CrAl基层1、复合层2、TiSi表层3，复合层2位于CrAl基层1和TiSi表层3之间。
[0012]复合层为TiSi和CrAl的复合层，这样提高涂层的硬度。
[0013]TiSi表层的上面设有氧化层，氧化层可以阻隔腐蚀介质等侵蚀。
[0014]复合层2的厚度大于CrAl基层1的厚度，复合层2的厚度也大于TiSi表层3的厚度，这样。
[0015]涂层需要把靶材先局部融化再把融化的颗粒转换成离子状态，才能实现超强结合力的耐磨涂层。为了实现超细晶粒的涂层结构，而硅及钛的熔点非常高，局部需要很高的能量。本专利技术采用的三环永磁靶材座设计，能使靶材表面产生多道电弧，且能快速移动，这就保证了很细的电弧，溶解的靶材在30微米以内，产生的颗粒非常小。由于硅元素非常脆，如果采用单层钛硅涂层，内应力非常大，可能会导致涂层剥落或不稳定性增加，本专利技术设计了多层涂层结构，一层钛硅，一层钛，这样有效降低了涂层内用力，实现了耐磨及保证了涂层
的稳定性。由于硅的加入，本专利技术显著提高了硬度，被广泛使用到快速加工，加工难加工材料以及冷却效果不好的机加工中，如大量的钻头，铣刀等工具已经涂钛硅涂层，与常规的钛铝涂层比较，硬度更高，可达HV3300左右，具有更好的耐磨性。使用寿命提高了近30%。
[0016]以上所述的具体实施例，对本专利技术的解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本专利技术的具体实施例而已，并不用于限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超硬硅系涂层，其特征在于，其包CrAl基层、复合层、TiSi表层，复合层位于CrAl基层和TiSi表层之间。2.如权利要求1所述的超硬硅系涂层，其特征在于，所述复合层为TiSi和CrAl的复合层。3.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建明，
申请(专利权)人：苏州吉恒纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：