一种引弧针及其引弧方法技术

本发明专利技术属于真空镀膜生产设备技术领域，公开了一种引弧针，包括第一针体和第二针体，第一针体的一端设置有调节部，另一端与第二针体的一端连接，第二针体的另一端设置有引弧部，第一针体和第二针体间呈角度连接，第一针体和第二针体的拐角连接处作为转向部，第一针体通过调节部夹装于夹具上，调节部在夹具上夹装位置不同时，引弧部与靶材间的距离不同。本发明专利技术的引弧针安装使用方便，造价低廉，能有效的减少生产品质异常，提高靶材利用率，解决了因新旧靶材，引弧针整体形状变动大且频繁的问题，能够减缓引弧过程中的驱动冲击，减少液滴发生的几率。的几率。的几率。

【技术实现步骤摘要】
一种引弧针及其引弧方法


[0001]本专利技术涉及真空镀膜生产设备
，尤其涉及一种引弧针及其引弧方法。

技术介绍

[0002]在真空离子镀膜过程中，一般采用机械引弧方式，即通过引弧针触碰靶材形成瞬间短接后，产生放电实现引弧。但在现有的机械引弧技术中，由于靶材的安装位置与引弧位置固定，且引弧的最大深度有限，引弧针与靶材间距离过短时，会因长时间接触而发生融化、烧结现象，距离过长则会导致引弧失败。且随着靶材烧蚀深度的增加，常发生触靶不稳定、引弧失败等问题，严重影响了生产进度，有时甚至还需要进行停机处理。虽然目前研究人员设计出一些新弧源或引弧针结构，但仍存在设计成本高、维护麻烦等后续问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种引弧针及其引弧方法，根据不同阴极磁场的不同烧蚀特征，对调节部、转向部和引弧部依次进行设定，整体安装使用方便，造价低廉，能有效的减少生产品质异常，提高靶材利用率，解决了因新旧靶材，引弧针整体形状变动大且频繁的问题，能够减缓引弧过程中的驱动冲击，减少液滴发生的几率。
[0004]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种引弧针，包括第一针体和第二针体，所述第一针体的一端设置有调节部，另一端与所述第二针体的一端连接，所述第二针体的另一端设置有引弧部，所述第一针体和所述第二针体间呈角度连接，所述第一针体和所述第二针体的拐角连接处作为转向部，所述第一针体通过所述调节部夹装于夹具上，所述调节部在所述夹具上夹装位置不同时，所述引弧部与靶材间的距离不同。
[0006]进一步地，所述调节部上设置有第一夹持位、第二夹持位和第三夹持位，所述夹具夹持于所述第一夹持位时，所述引弧部与所述靶材间的距离为S1，所述夹具夹持于所述第二夹持位时，所述引弧部与所述靶材间的距离为S2，所述夹具夹持于所述第三夹持位时，所述引弧部与所述靶材间的距离为S3，S1和S2和S3各不相同。
[0007]进一步地，所述调节部为弧形或阶梯形。
[0008]进一步地，所述转向部的夹角角度范围设置为89.5
°-
120.5
°
。
[0009]进一步地，所述引弧部的形状设置为点状或弧状。
[0010]一种引弧方法，使用所述的引弧针，包括如下步骤：
[0011]S1：确定阴极磁场类型；
[0012]S2：根据所述阴极磁场类型设置所述引弧部的形状；
[0013]S3：根据所述阴极磁场类型设置所述转向部的夹角；
[0014]S4：根据所述靶材的新旧程度，调节所述调节部在所述夹具上的夹装位置；
[0015]S5：根据所述阴极磁场类型设置所述引弧部在所述靶材的引弧位置；
[0016]S6：所述引弧部在所述靶材上进行引弧。
[0017]进一步地，所述阴极磁场类型为永磁磁场、电磁场或电磁复合永磁磁场。
[0018]进一步地，当所述阴极磁场为永磁磁场时，所述引弧部的形状设置为点状或弧状，所述转向部的夹角设置为90
°
，所述夹具夹装所述第一夹持位，所述引弧部在所述靶材的引弧位置为烧蚀沟槽一外侧顶面的平整区域。
[0019]进一步地，当所述阴极磁场为电磁场时，所述引弧部的形状设置为弧状，所述转向部的夹角设置为120
°
，所述引弧部在所述靶材的引弧位置为烧蚀沟槽二的侧壁区域。
[0020]进一步地，当所述阴极磁场为电磁复合永磁磁场时，所述引弧部的形状设置为弧状，所述转向部的夹角设置为120
°
，所述引弧部在所述靶材的引弧位置为烧蚀沟槽三的凸起区域。
[0021]本专利技术的有益效果：本专利技术的引弧针包括第一针体和第二针体，第一针体上设置有调节部，第二针体上设置有引弧部，第一针体与第二针体间呈角度连接形成转向部，调节部能够调节引弧部与靶材的间距，转向部能够减缓引弧过程中的驱动冲击，减少液滴发生的几率，根据不同阴极磁场的不同烧蚀特征，对调节部、转向部和引弧部依次进行设定。本专利技术的引弧针安装使用方便，造价低廉，提高了镀膜机的运行率和可操作性，能有效的减少生产品质异常，提高靶材利用率，解决了因新旧靶材，引弧针整体形状变动大且更换频繁的问题。
附图说明
[0022]图1是本专利技术实施例所述的引弧针在永磁磁场下的工作示意图；
[0023]图2是本专利技术实施例所述的引弧针在电磁场下的工作示意图；
[0024]图3和图4是本专利技术实施例所述的引弧针在电磁复合永磁磁场下的工作示意图。
[0025]图中：
[0026]1、第一针体；11、调节部；111、第一夹持位；112、第二夹持位；113、第三夹持位；12、转向部；
[0027]2、第二针体；21、引弧部；
[0028]100、夹具；200、靶材；300、烧蚀沟槽一；400、烧蚀沟槽二；500、烧蚀沟槽三。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本专利技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的零部件或具有相同或类似功能的零部件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0030]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0031]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和
“
上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0032]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。
[0033]如图1-图4所示，本专利技术提供了一种引弧针及其引弧方法，引弧针包括第一针体1和第二针体2，第一针体1的一端设置有调节部11，另一端与第二针体2的一端连接，第二针体2的另一端设置有引弧部21，第一针体1和第二针体2间呈角度连接，第一针体1和第二针体2的拐角连接处作为转向部12，第一针体1通过调节部11夹装于夹具100上，调节部11在夹具100上夹装位置不同时，引弧部21与靶材200间的距离不同。
[0034]在本实施例中，第一针体1与第二针体2间设置有转向部12，夹具100夹装于第一针体1的调节部11，通过改变夹具100在调节部11上的夹装位置，进而调节引弧部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种引弧针，其特征在于，包括第一针体(1)和第二针体(2)，所述第一针体(1)的一端设置有调节部(11)，另一端与所述第二针体(2)的一端连接，所述第二针体(2)的另一端设置有引弧部(21)，所述第一针体(1)和所述第二针体(2)间呈角度连接，所述第一针体(1)和所述第二针体(2)的拐角连接处作为转向部(12)，所述第一针体(1)通过所述调节部(11)夹装于夹具(100)上，所述调节部(11)在所述夹具(100)上夹装位置不同时，所述引弧部(21)与靶材(200)间的距离不同。2.根据权利要求1所述的引弧针，其特征在于，所述调节部(11)上设置有第一夹持位(111)、第二夹持位(112)和第三夹持位(113)，所述夹具(100)夹持于所述第一夹持位(111)时，所述引弧部(21)与所述靶材(200)间的距离为S1，所述夹具(100)夹持于所述第二夹持位(112)时，所述引弧部(21)与所述靶材(200)间的距离为S2，所述夹具(100)夹持于所述第三夹持位(113)时，所述引弧部(21)与所述靶材(200)间的距离为S3，S1和S2和S3各不相同。3.根据权利要求2所述的引弧针，其特征在于，所述调节部(11)为弧形或阶梯形。4.根据权利要求3所述的引弧针，其特征在于，所述转向部(12)的夹角角度范围设置为89.5
°-
120.5
°
。5.根据权利要求4所述的引弧针，其特征在于，所述引弧部(21)的形状设置为点状或弧状。6.一种使用如权利要求1-5任一项所述的引弧针的引弧方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹时义，燕伟钊，王俊锋，
申请(专利权)人：广东鼎泰高科技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：