【技术实现步骤摘要】
一种集成电路量产测试异常故障监控系统
[0001]本专利技术涉及半导体测试应用
,尤其涉及一种集成电路量产测试异常故障监控系统。
技术介绍
[0002]本专利技术解决了客户无法对具体测试项目的实时情况进行监控分析的问题,同时解决了在发生故障时,无法及时定位处理故障的问题,提高了客户产品测试质量,减少了由于故障发生未及时处理造成的测试事故损失在集成电路制作方法中,为提高芯片的制造品质、降低制造成本、缩短生产周期等目的,数据监控以及信息管理系统整合自动化的制造是现今集成电路厂所要研究的重要课题。一个完整的电脑整合自动化系统大致包括了生产排程系统、品质管理系统、监控系统、和自动化界面系统等。由于集成电路产品的不断推陈出新,各个制造流程和细节也更趋复杂,因此自动化系统中就必须有一个良好的生产排程系统和管理系统,而为了元件的制造品质,更必须有一套品质管理系统和监控系统加以控制。
[0003]现有的集成电路测试系统只有针对集成电路测试中机台的低良、全良、全失效等个别异常现象进行监控,缺少对重点测试项目或测试精度要求非常高的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路量产测试异常故障监控系统,其特征在于:包含数据采集模块、数据监控算法分析模块、数据监控显示模块、异常数据处理模块、测试系统以及机械手和探针;其中,数据采集模块、数据监控算法分析模块、数据监控显示模块以及异常数据处理模块构成了本系统,所述数据采集模块采集测试项目中的测试数据,通过数据监控算法分析模块对采集到的测试数据进行监控以及分析,然后再辅以图形化的数据监控显示模块将数据图形化显示,将异常数据反馈给客户端,测试系统及时定位问题产品,机械手和探针台随后对问题产品进行检出。2.根据权利要求1所述的一种集成电路量产测试异常故障监控系统,其特征在于:本系统包含的功能为多种报警类型设定、测试项目显示设定、ATE测试数据存储、实时数据监控控制、多种报警形式设定、测试ATE与测试终端通讯。3.根据权利要求1所述的一种集成电路量产测试异常故障监控系统,其特征在于:本系统的功能模块包含有,Data Monitoring:主框架界面,提供子页面管理;View Count:提供Summary的显示,包括各个site的良率统计,Bin的良率统计;Tab Page Module:提供显示各个测试Module以及各个Item测试数据的散点图、折线图;Yeild Info:提供显示总良率和各个site良率、计数;Alarm Setting:提供显示以及设置报警条件参数设置,包含对Item的limit设置、stdev设置、特定计算公式的设置、分Bin百分比的设置;Common Alarm View:提供总良率、连续失效、site之间良率差、单项失效、停测条件有效数量设定;Common Class:提供全局变量,枚举;TCP Server:提供TCP/IP链接,与ATE 通信业务分选处理;Data Package:提供数据包头定义以及封包函数;STDF File Module:提供STDF各个结构定义,以及STDF文件操作;TPC File Module:提供解析TPC文件接口函数;Error Enum:提供错误代码定义、提示信息中英文定义以及处理函数;mts Data:提供基本数据结构定义;Client Dll:单独DLL文件,供ATE调用,提供TCP/IP客户端;初始化,以及与TCP Server通信模块封装;Data Base Module:数据库操作模块,提供数据存储和查询接口;Monitor Log:提供监控软件日志创建和记录;Xml File Module:提供xml文件读写,包括Operator Setting和监控系统配置mts Monitor Sys Config和测试程序监控配置mts Monitor Config;其中,在本系统的架构设计中,界面层包含的模块为:Data Monitoring、View Count、Tab Page Module、Alarm Setting、Common Alarm View;
执行层包含的模块为:TCP Server、Data Base Module、Monitor Log、TPC File Module、Xml File Module。4.根据权利要求1所述的一种集成电路量产测试异常故障监控系统,其特征在于:本...
【专利技术属性】
技术研发人员:李全任,佟金祥,
申请(专利权)人:南京宏泰半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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