一种硅基OLED微显示屏及应用于该显示屏的Micro Lens的制造方法技术

本发明专利技术涉及微型显示技术领域，尤其是一种硅基OLED微显示屏及应用于该显示屏的Micro Lens的制造方法；包括硅基OLED微显示屏和具有Micro Lens结构的盖板玻璃，所述盖板玻璃上有Micro Lens结构，Micro Lens结构包括若干微结构一，位于每个微结构一上的微结构二，以及位于每个微结构二上方的光刻胶微结构，每个光刻胶微结构包覆微结构一和微结构二设置，本发明专利技术是基于盖板玻璃制作，在玻璃刻蚀出微结构，之后再在衬底表面用有机材料制作出微透镜，玻璃微结构和微透镜一起组成Micro Lens，相比于只是采用光刻胶材料制作出的Micro Lens，亮度能够提升30％以上。

【技术实现步骤摘要】
一种硅基OLED微显示屏及应用于该显示屏的MicroLens的制造方法
本专利技术涉及微型显示
，尤其是一种硅基OLED微显示屏及应用于硅基OLED微显示屏的MicroLens的制造方法。
技术介绍
在微型显示
，硅基MicroOLED是近几年发展较为快速的技术，而且已经开始进入商用量产阶段。目前硅基OLED微显示屏彩色化大多采用白光加彩色滤光膜(Colorfilter，简称CF)的方案，亮度基本都在1500cd/m2以内，而市场越来越多的产品对其亮度要求在3000cd/m2以上。现有的OLED器件依靠材料和器件优化，提升的亮度有限，并且随着亮度提升，器件的寿命也会受到影响。基于硅基OLED衬底直接制作MicroLens对制作材料要求很高，需要低温(90℃)就能固化形成lens结构。目前能够达到2um以内分辨率并且是低温制作工艺的材料，价格非常高，并且只有少数材料厂商才能够提供。同时，基于硅基OLED衬底直接制作MicroLens的工艺控制要求较高，良率提升有一定难度。基于盖板玻璃，只采用光刻胶固化制作Mic本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅基OLED微显示屏，其特征在于：包括硅基OLED微显示屏和具有Micro Lens结构的盖板玻璃，显示屏和盖板玻璃之间通过贴合胶连接，所述硅基OLED微显示屏包括从上到下依次层叠设置的彩色滤光膜、薄膜封装层、OLED层和硅基CMOS驱动背板；/n所述盖板玻璃与硅基OLED微显示屏的接触面上有Micro Lens结构，所述Micro Lens结构包括若干微结构一，位于每个微结构一上的微结构二，以及位于每个微结构二上方的光刻胶微结构，每个光刻胶微结构包覆微结构一和微结构二设置，若干光刻胶微结构等间距设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅基OLED微显示屏，其特征在于：包括硅基OLED微显示屏和具有MicroLens结构的盖板玻璃，显示屏和盖板玻璃之间通过贴合胶连接，所述硅基OLED微显示屏包括从上到下依次层叠设置的彩色滤光膜、薄膜封装层、OLED层和硅基CMOS驱动背板；
所述盖板玻璃与硅基OLED微显示屏的接触面上有MicroLens结构，所述MicroLens结构包括若干微结构一，位于每个微结构一上的微结构二，以及位于每个微结构二上方的光刻胶微结构，每个光刻胶微结构包覆微结构一和微结构二设置，若干光刻胶微结构等间距设置。


2.一种应用于硅基OLED微显示屏的MicroLens的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1在玻璃基板上，先后经过光刻工艺、刻蚀工艺制作出微结构一；
S2继续在具有微结构一的玻璃基板上，依次采用光刻工艺、刻蚀工艺制作出微结构二；
S3在具有微结构二的玻璃基板上旋涂光刻胶，通过曝光、显影、烘烤固化后制作成光刻胶微结构；
S4在硅基OLED微显示屏的彩色滤光膜上点胶，将步骤S3中玻璃基板上有光刻胶微结构的面与显示屏贴合，从而完成MicroLens的制作。


3.根据权利要求2所述的一种应用于硅基OLED微显示屏的MicroLens的制造方法，其特征在于：所述步骤S1具体包括在玻璃表面旋涂一层厚度均匀的光刻胶，经过光刻机曝光、显影机显影后，在玻璃表面制作出阵列排布的横截面为矩形的光刻胶图形，之后对有光刻胶图形的表面进行玻璃刻蚀工序，完成后用去胶溶液浸泡或者等离子去胶机去除上表面光刻胶，从而制得微结构一。


4.根据权利要求3所述的一种应用于硅基OLED微显示屏的MicroLens的制造方法，其特征在于：所述光刻胶的旋涂厚度为0.8～1.2μm；所述光刻胶图形的横截面的宽度为0.4μm～0.8μm，长宽比例为1:1～1:3，相邻光刻胶图形之间的排列间距2～5μm；所述玻璃刻蚀厚度范围为0.2μm～0.5μm。


5.根据权利要求2所述的一种应用于硅基OLED微显示屏的MicroL...

【专利技术属性】
技术研发人员：王健波，吴远武，王绍华，吴迪，
申请(专利权)人：湖畔光电科技江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32