防乱流真空金属波纹管制造技术

本实用新型专利技术属于真空管体技术领域，尤其涉及一种防乱流真空金属波纹管。它解决了现有技术在乱流等问题。本防乱流真空金属波纹管包括金属可饶性波纹管体，套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，在金属可饶性波纹管体的两端分别设有焊接平面，以及通过焊接固定在各自焊接平面上的加强环，加强环的内壁为圆锥孔，并且圆锥孔的大口径端等于金属可饶性波纹管体的内径，加强环的外壁为圆柱面。本防乱流真空金属波纹管的优点在于：外接管路的直径等于圆锥孔的小口径端，利用圆锥孔可以对气流形成导流，气流可以从金属可饶性波纹管体顺利通过圆锥孔进入至外接管路中。

【技术实现步骤摘要】
防乱流真空金属波纹管
本技术属于真空管体
，尤其涉及一种防乱流真空金属波纹管。
技术介绍
半导体设备其自身需要安装真空波纹管，用于抽真空。由于现有的波纹管和外接管路两者由于内径不同并且两者之间有圆环L形阻挡面，在进行抽真空时受到圆环阻挡面的干扰，波纹管内部会发生乱流现象，以及出现风铃声，无法满足设备要求。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述问题，提供一种可以解决上述技术问题的防乱流真空金属波纹管。为达到上述目的，本技术采用了下列技术方案：本防乱流真空金属波纹管包括金属可饶性波纹管体，套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，在金属可饶性波纹管体的两端分别设有焊接平面，以及通过焊接固定在各自焊接平面上的加强环，加强环的内壁为圆锥孔，并且圆锥孔的大口径端等于金属可饶性波纹管体的内径，加强环的外壁为圆柱面。在上述的防乱流真空金属波纹管中，还包括两个分别套设在金属网套两端的压网环，压网环远离金属网套的一端延长并套设在加强环外侧并且压网环和加强环通过焊接连接，所述的加强环内径等于金属可饶性波纹管体的内径本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.防乱流真空金属波纹管，包括金属可饶性波纹管体(2)，套设在金属可饶性波纹管体(2)上的金属网套(3)，其特征在于，在金属可饶性波纹管体(2)的两端分别设有焊接平面(20)，以及通过焊接固定在各自焊接平面(20)上的加强环(1a)，加强环(1a)的内壁为圆锥孔(1b)，并且圆锥孔的大口径端等于金属可饶性波纹管体(2)的内径，加强环(1a)的外壁为圆柱面(1c)。/n

【技术特征摘要】
1.防乱流真空金属波纹管，包括金属可饶性波纹管体(2)，套设在金属可饶性波纹管体(2)上的金属网套(3)，其特征在于，在金属可饶性波纹管体(2)的两端分别设有焊接平面(20)，以及通过焊接固定在各自焊接平面(20)上的加强环(1a)，加强环(1a)的内壁为圆锥孔(1b)，并且圆锥孔的大口径端等于金属可饶性波纹管体(2)的内径，加强环(1a)的外壁为圆柱面(1c)。


2.根据权利要求1所述的防乱流真空金属波纹管，其特征在于，还包括两个分别套设在金属网套(3)两端的压网环(4)，压网环(4)远离金属网套(3)的一端延长并套设在加强环(1a)外侧并且压网环(4)和加强环(1a)通过焊接连接。


3.根据权利要求2所述的防乱流真空金属波纹管，其特征在于，所述的加强环(1a)远离...

【专利技术属性】
技术研发人员：官承辉，
申请(专利权)人：浙江蔚福科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33