抽真空系统用真空波纹管技术方案

本抽真空系统用真空波纹管包括金属可饶性波纹管体，套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，在金属可饶性波纹管体的两端分别设有焊接平面，以及通过焊接固定在各自焊接平面上的加强环，还包括两个分别套设在金属网套两端的压网环，压网环远离金属网套的一端延长并套设在加强环外侧并且压网环和加强环通过焊接连接，所述的加强环内径等于金属可饶性波纹管体的内径。

【技术实现步骤摘要】
抽真空系统用真空波纹管
本技术属于真空管体
，尤其涉及一种抽真空系统用真空波纹管。
技术介绍
半导体设备其自身需要安装真空波纹管，用于抽真空。真空波纹管的结构包括金属可饶性波纹管体，以及套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，套在金属网套端部的压网环和金属可饶性波纹管体端部外壁通过焊接连接在一起，外接管路与金属可饶性波纹管体端面外缘以及压网环通过焊接连接，这种现有的方式其虽然能够满足焊接强度的要求，但是，这种方式其在金属可饶性波纹管体的端部需要在同一个位置进行多次进行焊接，焊接质量较差(主要是碳化问题)，其次，焊接效率较低。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述问题，提供一种可以解决上述技术问题的抽真空系统用真空波纹管。为达到上述目的，本技术采用了下列技术方案：本抽真空系统用真空波纹管包括金属可饶性波纹管体，套设在金属可饶性波纹管体上的金属网套，在金属可饶性波纹管体的两端分别设有焊接平面，以及通过焊接固定在各自焊接平面上的加强环，还包括两个分别套设在金属网套两端的压网环，压网环远离金属网套的一端延长并本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.抽真空系统用真空波纹管，包括金属可饶性波纹管体(2)，套设在金属可饶性波纹管体(2)上的金属网套(3)，其特征在于，在金属可饶性波纹管体(2)的两端分别设有焊接平面(20)，以及通过焊接固定在各自焊接平面(20)上的加强环(1a)，还包括两个分别套设在金属网套(3)两端的压网环(4)，压网环(4)远离金属网套(3)的一端延长并套设在加强环(1a)外侧并且压网环(4)和加强环(1a)通过焊接连接，所述的加强环(1a)内径等于金属可饶性波纹管体(2)的内径。/n

【技术特征摘要】
1.抽真空系统用真空波纹管，包括金属可饶性波纹管体(2)，套设在金属可饶性波纹管体(2)上的金属网套(3)，其特征在于，在金属可饶性波纹管体(2)的两端分别设有焊接平面(20)，以及通过焊接固定在各自焊接平面(20)上的加强环(1a)，还包括两个分别套设在金属网套(3)两端的压网环(4)，压网环(4)远离金属网套(3)的一端延长并套设在加强环(1a)外侧并且压网环(4)和加强环(1a)通过焊接连接，所述的加强环(1a)内径等于金属可饶性波纹管体(2)的内径。


2.根据权利要求1所述的抽真空系统用真空波纹管，其特征在于，所述的加强环(1a)远离金属可饶性波纹管体(2)的一端端面和压...

【专利技术属性】
技术研发人员：官承辉，
申请(专利权)人：浙江蔚福科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33