一种退火炉双燃料在线快速切换装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了退火炉双燃料在线快速切换装置，包括有退火炉本体，所述退火炉本体包括箱体，所述箱体内设置有内衬箱，所述箱体一侧转动连接有连接门，所述连接门通过箱锁与箱体锁合，所述第一电磁阀和第一气体流量控制器电性连接两组所述三通连接件另一端均连通有第二气管，两组所述第二气管正上方分别连通有第二电磁阀和气体流量控制器，所述第二电磁阀和气体流量控制器电性连接，本发明专利技术的目的在于提供退火炉双燃料在线快速切换装置，通过本装置的设计，整体实现退火炉的燃料快速切换功能，一定程度上提高了退火炉工作效率，优化了现有的退火炉装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种退火炉双燃料在线快速切换装置
本专利技术属于退火炉
，具体涉及退火炉双燃料在线快速切换装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；退火炉可分为：台车式退火炉、井式退火炉、箱式退火炉、罩式退火炉、连续光亮退火炉、罩式光亮退火炉；台车式退火炉是国家标准节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电30％。独家生产采用复合式高铝瓷钉组，台车防撞击密封砖，自动密封台车和炉门，一体化连轨，不需基础安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.退火炉双燃料在线快速切换装置，包括有退火炉本体(2)，其特征在于：所述退火炉本体(2)包括箱体(26)，所述箱体(26)内设置有内衬箱(3)，所述箱体(26)一侧转动连接有连接门(6)，所述连接门(6)通过箱锁(11)与箱体(26)锁合，所述箱体(26)一侧对称设置有支撑块(22)，两组所述支撑块(22)上表面滑动连接有防护箱(21)，所述箱体(26)一侧螺栓连接有固定板(18)，所述固定板(18)一侧对称固定连接有退火管(5)，两组所述退火管(5)一端均分别贯穿于固定板(18)一侧、箱体(26)一侧和内衬箱(3)一侧且延伸至内部，两组所述退火管(5)另一端均连通有第一气管(12)，两组所...

【技术特征摘要】
1.退火炉双燃料在线快速切换装置，包括有退火炉本体(2)，其特征在于：所述退火炉本体(2)包括箱体(26)，所述箱体(26)内设置有内衬箱(3)，所述箱体(26)一侧转动连接有连接门(6)，所述连接门(6)通过箱锁(11)与箱体(26)锁合，所述箱体(26)一侧对称设置有支撑块(22)，两组所述支撑块(22)上表面滑动连接有防护箱(21)，所述箱体(26)一侧螺栓连接有固定板(18)，所述固定板(18)一侧对称固定连接有退火管(5)，两组所述退火管(5)一端均分别贯穿于固定板(18)一侧、箱体(26)一侧和内衬箱(3)一侧且延伸至内部，两组所述退火管(5)另一端均连通有第一气管(12)，两组所述第一气管(12)一端均连通有三通连接件(13)，两组所述三通连接件(13)一端之间连通有三通气管(14)，所述三通气管(14)正上方分别连通有第一电磁阀(15)和第一气体流量控制器(28)，所述第一电磁阀(15)和第一气体流量控制器(28)电性连接，两组所述三通连接件(13)另一端均连通有第二气管(16)，两组所述第二气管(16)正上方分别连通有第二电磁阀(17)和第二气体流量控制器(29)，所述第二电磁阀(17)和第二气体流量控制器(29)电性连接。


2.根据权利要求1所述的退火炉双燃料在线快速切换装置，其特征在于：所述退火炉本体(2)底部固定连接有支撑架(1)，所述支撑架(1)由支腿和支撑板组合构成,所述支腿分布于支撑板底部四角。


3.根据权利要求1所述的退火炉双燃料在线快速切换装置，其特征在于：所述连接门(6)一侧固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫喜，
申请(专利权)人：杭州黄俊环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33