本发明专利技术公开了退火炉双燃料在线快速切换装置，包括有退火炉本体，所述退火炉本体包括箱体，所述箱体内设置有内衬箱，所述箱体一侧转动连接有连接门，所述连接门通过箱锁与箱体锁合，所述第一电磁阀和第一气体流量控制器电性连接两组所述三通连接件另一端均连通有第二气管，两组所述第二气管正上方分别连通有第二电磁阀和气体流量控制器，所述第二电磁阀和气体流量控制器电性连接，本发明专利技术的目的在于提供退火炉双燃料在线快速切换装置，通过本装置的设计，整体实现退火炉的燃料快速切换功能，一定程度上提高了退火炉工作效率，优化了现有的退火炉装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种退火炉双燃料在线快速切换装置
本专利技术属于退火炉
，具体涉及退火炉双燃料在线快速切换装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；退火炉可分为：台车式退火炉、井式退火炉、箱式退火炉、罩式退火炉、连续光亮退火炉、罩式光亮退火炉；台车式退火炉是国家标准节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电30％。独家生产采用复合式高铝瓷钉组，台车防撞击密封砖，自动密封台车和炉门，一体化连轨，不需基础安装，放在水平地面即可使用，主要用于高铬、高锰钢铸件、球墨铸铁、轧辊、钢球、45钢、不锈钢等淬火、退火、时效以及各种机械零件热处理之用；在不锈钢板带连续退火机组中退火炉主要是卧式炉，用于热轧不锈钢带的固溶处理和软化经冷轧机轧制所产生的加工硬化，再结晶退火改变材料机械性能,卧式退火炉从功能和流程上分为预热段(通过高温烟气对刚进炉的温度低的带钢进行预热)、加热段、冷却段和干燥段。为了防止带钢在高温及小张力条件下垂度过大而与炉底接触并擦伤带钢，通常需将加热段分割成几个室，加热室与加热室之间用炉底辊隔开并与外界隔离密封,不锈钢因表面质量要求高，退火炉燃料一般采用液化石油气或者天然气等清洁能源，但这两种燃气成本相对焦炉煤气比较高，为此，不锈钢热带退火尝试使用焦炉煤气作为燃料，也获得了成功，目前这项技术已经开始推广,但是由于焦炉煤气成本低，它的用户很多，往往因热轧生产需要，导致供应给不锈钢企业的焦炉煤气流量不稳定，经常无法满足不锈钢退火炉生产的需求。目前，虽然退火炉设计时已经考虑了天然气作为备用燃料，但是，如果将退火炉燃气全部切换为天然气，不仅大幅增加燃气成本，而且燃气切换需要炉子熄火，机组停机进行燃气管道停服役操作，时间长，浪费大,由于焦炉煤气供应频繁波动，严重影响了不锈钢企业的生产物流，给用户造成巨大损失,为此，我们提出退火炉双燃料在线快速切换装置来解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供退火炉双燃料在线快速切换装置，通过本装置的设计，整体实现退火炉的燃料快速切换功能，一定程度上提高了退火炉工作效率，优化了现有的退火炉装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：退火炉双燃料在线快速切换装置，包括有退火炉本体，所述退火炉本体包括箱体，所述箱体内设置有内衬箱，所述箱体一侧转动连接有连接门，所述连接门通过箱锁与箱体锁合，所述箱体一侧对称设置有支撑块，两组所述支撑块上表面滑动连接有防护箱，所述箱体一侧螺栓连接有固定板，所述固定板一侧对称固定连接有退火管，两组所述退火管一端均分别贯穿于固定板一侧、箱体一侧和内衬箱一侧且延伸至内部，两组所述退火管另一端均连通有第一气管，两组所述第一气管一端均连通有三通连接件，两组所述三通连接件一端之间连通有三通气管，所述三通气管正上方分别连通有第一电磁阀和第一气体流量控制器，所述第一电磁阀和第一气体流量控制器电性连接两组所述三通连接件另一端均连通有第二气管，两组所述第二气管正上方分别连通有第二电磁阀和气体流量控制器，所述第二电磁阀和气体流量控制器电性连接。优选的，所述退火炉本体底部固定连接有支撑架，所述支撑架由支腿和支撑板组合构成,所述支腿分布于支撑板底部四角。优选的，所述连接门一侧固定连接有隔热板，且所述连接门另一侧固定连接有第一把手，所述第一把手外部设置有橡胶套。优选的，所述箱体一侧对称设置有合页，所述箱体通过合页转动连接于连接门一侧。优选的，所述箱体一侧与固定板一侧螺栓连接位置均对称开设有螺栓孔，所述螺栓孔开设为四组，所述防护箱一侧、固定板一侧和箱体一侧与内衬箱一侧开设有观察孔。优选的，两组所述支撑块一侧均开设有滑槽，所述防护箱底部对称固定连接有滑块，所述滑块与滑槽间隙配合。优选的，所述防护箱两侧对称固定连接有第二把手。优选的，所述内衬箱一侧、固定板一侧和箱体一侧位于两组退火管贯穿位置均开设有通孔。优选的，两组所述退火管两侧均对称固定连接有连接块，两组所述退火管均通过连接块固定连接于固定板一侧。本专利技术的技术效果和优点：本专利技术提出的退火炉双燃料在线快速切换装置，与现有技术相比，具有以下优点：1、通过退火炉本体实现对加工材料的加工，三通气管与外部焦炉煤气连通，两组第二气管与外部天然气连通，分别通过第一电磁阀和第二电磁阀控制，天然气为备用燃料，焦炉煤气和天然气可混合使用，在实际使用过程中，通过第二电磁阀控制两组备用天然气的开关，当焦炉煤气无法使用时，可通过两组第二电磁阀实现快速切换天然气继续工作，无需对退火炉停机，优化了现有的退火炉装置，一定程度上提高了本装置的实用率和工作效率。附图说明图1为本专利技术退火炉双燃料在线快速切换装置的后视结构示意图；图2为本专利技术退火炉双燃料在线快速切换装置的退火炉本体后视结构示意图；图3为本专利技术退火炉双燃料在线快速切换装置的箱体主视结构示意图；图4为本专利技术退火炉双燃料在线快速切换装置的箱体主视剖视结构示意图；图5为本专利技术退火炉双燃料在线快速切换装置的连接门侧视结构示意图。图中：1、支撑架；2、退火炉本体；3、内衬箱；4、通孔；5、退火管；6、连接门；7、合页；8、第一把手；9、橡胶套；10、隔热板；11、箱锁；12、第一气管；13、三通连接件；14、三通气管；15、第一电磁阀；16、第二气管；17、第二电磁阀；18、固定板；19、螺栓孔；20、观察孔；21、防护箱；22、支撑块；23、滑块；24、第二把手；25、连接块；26、箱体；27、滑槽；28、第一气体流量控制器；29、第二气体流量控制器。具体实施方式下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术提供了如图1-5所示的一种技术方案：退火炉双燃料在线快速切换装置，包括有退火炉本体2，通过退火炉本体2实现对加工材料的加工；退火炉本体2包括箱体26，箱体26内设置有内衬箱3，通过把加工材料放置在内衬箱3内进行加工，内衬箱3具有耐高温性能且通过内衬箱3一定程度上避免了箱体26高温的问题，箱体26一侧转动连接有连接本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.退火炉双燃料在线快速切换装置，包括有退火炉本体(2)，其特征在于：所述退火炉本体(2)包括箱体(26)，所述箱体(26)内设置有内衬箱(3)，所述箱体(26)一侧转动连接有连接门(6)，所述连接门(6)通过箱锁(11)与箱体(26)锁合，所述箱体(26)一侧对称设置有支撑块(22)，两组所述支撑块(22)上表面滑动连接有防护箱(21)，所述箱体(26)一侧螺栓连接有固定板(18)，所述固定板(18)一侧对称固定连接有退火管(5)，两组所述退火管(5)一端均分别贯穿于固定板(18)一侧、箱体(26)一侧和内衬箱(3)一侧且延伸至内部，两组所述退火管(5)另一端均连通有第一气管(12)，两组所述第一气管(12)一端均连通有三通连接件(13)，两组所述三通连接件(13)一端之间连通有三通气管(14)，所述三通气管(14)正上方分别连通有第一电磁阀(15)和第一气体流量控制器(28)，所述第一电磁阀(15)和第一气体流量控制器(28)电性连接，两组所述三通连接件(13)另一端均连通有第二气管(16)，两组所述第二气管(16)正上方分别连通有第二电磁阀(17)和第二气体流量控制器(29)，所述第二电磁阀(17)和第二气体流量控制器(29)电性连接。/n...
【技术特征摘要】
1.退火炉双燃料在线快速切换装置，包括有退火炉本体(2)，其特征在于：所述退火炉本体(2)包括箱体(26)，所述箱体(26)内设置有内衬箱(3)，所述箱体(26)一侧转动连接有连接门(6)，所述连接门(6)通过箱锁(11)与箱体(26)锁合，所述箱体(26)一侧对称设置有支撑块(22)，两组所述支撑块(22)上表面滑动连接有防护箱(21)，所述箱体(26)一侧螺栓连接有固定板(18)，所述固定板(18)一侧对称固定连接有退火管(5)，两组所述退火管(5)一端均分别贯穿于固定板(18)一侧、箱体(26)一侧和内衬箱(3)一侧且延伸至内部，两组所述退火管(5)另一端均连通有第一气管(12)，两组所述第一气管(12)一端均连通有三通连接件(13)，两组所述三通连接件(13)一端之间连通有三通气管(14)，所述三通气管(14)正上方分别连通有第一电磁阀(15)和第一气体流量控制器(28)，所述第一电磁阀(15)和第一气体流量控制器(28)电性连接，两组所述三通连接件(13)另一端均连通有第二气管(16)，两组所述第二气管(16)正上方分别连通有第二电磁阀(17)和第二气体流量控制器(29)，所述第二电磁阀(17)和第二气体流量控制器(29)电性连接。
2.根据权利要求1所述的退火炉双燃料在线快速切换装置，其特征在于：所述退火炉本体(2)底部固定连接有支撑架(1)，所述支撑架(1)由支腿和支撑板组合构成,所述支腿分布于支撑板底部四角。
3.根据权利要求1所述的退火炉双燃料在线快速切换装置，其特征在于：所述连接门(6)一侧固定连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：宫喜，
申请(专利权)人：杭州黄俊环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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