一种芯片酸洗装置制造方法及图纸

本申请涉及一种芯片酸洗装置，其包括用于盛放酸洗液的盒体，所述盒体的顶侧壁上开设有通口，所述通口上可拆卸覆盖设置有盒盖，所述盒盖的两相对侧壁上均匀开设有多个通风孔，所述盒盖的侧壁上固定设置有固定柱，所述固定柱内滑动穿设有升降杆，所述固定柱上穿设有用于固定升降杆的紧固件，所述升降杆远离盒盖的一端固定设置有支撑板，所述支撑板背离升降杆的侧壁上滑动穿设有多个夹持槽，所述夹持槽靠近升降杆的侧壁上固定设置有滑杆，所述滑杆滑动穿设在支撑板的侧壁上，所述滑杆远离夹持槽的位置处穿设有用于固定夹持槽的锁紧件，所述盒体的侧壁在远离盒盖的位置处连通设置有抽风机构。本申请具有便于对芯片进行单面酸洗的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片酸洗装置
本申请涉及芯片酸洗设备的领域，尤其是涉及一种芯片酸洗装置。
技术介绍
厂家生产出的芯片在进行检测前，需要利用酸液将芯片上的绝缘层去除，在对芯片进行酸洗时，需要用到酸洗装置。相关技术中的酸洗装置，包括盒体，盒体内盛装有酸洗液，盒体的一侧壁上开设有通口，通口上覆盖设置有盒盖，盒体的一侧壁连通设置有抽风装置，抽风装置用于将盒体内酸洗时产生的有害气体抽吸排出。针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在有当需要对芯片进行单面酸洗时，难以对芯片进行操作的缺陷。
技术实现思路
为了便于对芯片进行单面酸洗，本申请提供一种芯片酸洗装置。本申请提供的一种芯片酸洗装置采用如下的技术方案：一种芯片酸洗装置，包括用于盛放酸洗液的盒体，所述盒体的顶侧壁上开设有通口，所述通口上可拆卸覆盖设置有盒盖，所述盒盖的两相对侧壁上均匀开设有多个通风孔，所述盒盖的侧壁上固定设置有固定柱，所述固定柱内滑动穿设有升降杆，所述固定柱上穿设有用于固定升降杆的紧固件，所述升降杆远离盒盖的一端固定设置有支撑板，所述支撑板背离升降杆的侧壁上滑动穿设有多个夹持槽，所述夹持槽靠近升降杆的侧壁上固定设置有滑杆，所述滑杆滑动穿设在支撑板的侧壁上，所述滑杆远离夹持槽的位置处穿设有用于固定夹持槽的锁紧件，所述盒体的侧壁在远离盒盖的位置处连通设置有抽风机构。通过采用上述技术方案，当芯片进行酸洗时，首先将盒盖连同升降杆、紧固件、固定柱、支撑板、锁紧件、夹持槽一齐从盒体上取出，然后松动锁紧件，将相邻两夹持槽在支撑板上移动至合适的位置处，此时可将芯片放置在相邻两夹持槽之间，然后再次移动夹持槽，使得相邻两夹持槽将芯片夹持固定，此时可通过锁紧件将夹持槽固定在当前位置，此时即完成对芯片的夹持操作。完成对芯片的夹持操作后，将盒盖再次盖放在通口上，使得升降杆、紧固件、固定柱、支撑板、锁紧件、夹持槽与芯片位于盒体内部，此时夹持槽、芯片与盒体内酸洗液存在间隔，此时，即可松动紧固件，并逐渐将升降杆朝向酸洗液所在方向移动，当芯片远离盒盖的侧壁与酸洗液的液面接触时，即可通过紧固件将升降杆固定在当前位置，同时，酸洗液即对芯片远离盒盖的侧壁进行酸洗。酸洗过程中产生的有害气体将被抽风机构从盒体内抽吸排出，盒盖上的通风孔有利于使得盒体内部与外界保持连通状态，防止在抽风机构抽气的过程中盒体内出现负压的情况发生。如此设置，有利于提升对芯片进行单面酸洗时的便利性。优选的，所述抽风机构包括抽气管、抽吸泵、与排放管，所述抽气管连通固定设置在盒体的侧壁上，所述抽吸泵的吸气口与抽气管远离盒体的一端连通设置，所述抽气管内部固定间隔设置有多个筛板，相邻两筛板之间放置有酸性气体吸附剂，所述抽吸泵的出气口与排放管连通设置。通过采用上述技术方案，盒体内进行酸洗时，即可启动抽吸泵，抽吸泵将盒体内的有害气体沿抽气管抽出，有害气体在抽气管内流动时，将经过酸性气体吸附剂，酸性气体吸附剂将有害气体中的酸性气体吸附，经酸性气体吸附剂处理后的气体将被抽吸泵从排放管排出。如此设置，有利于提升抽吸机构对有害气体的净化性能。优选的，所述酸性气体吸附剂为SDG吸附剂。通过采用上述技术方案，SDG吸附剂可以对多种酸性气体进行吸附净化，吸附率能够达到百分之九十五以上，且不会造成二次污染，有利于提升对抽风机构酸性气体的吸附净化能力。优选的，所述排放管与抽吸泵之间连通设置有吸附盒，所述吸附盒内放置有吸附颗粒。通过采用上述技术方案，吸附盒内的吸附颗粒能够将去除酸性气体后的有害气体中的剩余有害物质进行吸附净化，有利于进一步提升抽风机构对盒体内的有害气体的净化性能。优选的，所述吸附颗粒为沸石颗粒与活性炭颗粒的混合物。通过采用上述技术方案，活性炭可吸附流经自身的气体中的刺激性气味与部分有害成分，沸石作为一种分子筛，能够将有害气体中的多种有害成分进行中和吸附。如此设置，使得流经吸附盒从排放管中排放的气体能够得到较为全面的净化，大幅度地降低了抽风机构排出气体对周围环境的污染影响。优选的，所述夹持槽的侧壁上开设有多个透液孔。通过采用上述技术方案，当夹持槽夹持着芯片浸入酸洗液中时，酸洗液能够通过夹持槽上的透液孔与芯片接触，从而防止因芯片与夹持槽的侧壁抵接导致芯片的部分待酸洗表面未能与酸洗液充分接触的情况发生，有利于提升夹持槽的整体应用性。优选的，所述夹持槽的内侧壁固定设置有弹性垫层。通过采用上述技术方案，夹持槽在夹持芯片时，弹性垫层能够对芯片提供缓冲，降低芯片被夹持片夹持挤压导致损坏的概率，有利于提升夹持槽对芯片的保护性。优选的，所述弹性垫层的材质为四丙氟橡胶。通过采用上述技术方案，四丙氟橡胶具有优异的抗酸蚀能力，能够抵御多种酸性溶液的侵蚀，且即使长时间在酸性溶液下受到挤压，其恢复性能也难以下降，有利于提升弹性垫层的使用寿命。综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：通过在盒盖上设置固定柱，固定柱内滑动穿设有升降杆，所述固定柱有紧固件，升降杆的一端设置有支撑板，支撑板的侧壁上滑动穿设有多个夹持槽，夹持槽的侧壁设置有滑杆，滑杆滑动穿设在支撑板的侧壁上，滑杆穿设有用于固定夹持槽的锁紧件，使得对芯片进行酸洗时，首先将盒盖连同升降杆、紧固件、固定柱、支撑板、锁紧件、夹持槽一齐从盒体上取出，然后松动锁紧件，将相邻两夹持槽在支撑板上移动至合适的位置处，此时可将芯片放置在相邻两夹持槽之间，然后再次移动夹持槽，使得相邻两夹持槽将芯片夹持固定，此时可通过锁紧件将夹持槽固定在当前位置，此时即完成对芯片的夹持操作。完成对芯片的夹持操作后，将盒盖再次盖放在通口上，使得升降杆、紧固件、固定柱、支撑板、锁紧件、夹持槽与芯片位于盒体内部，此时夹持槽、芯片与盒体内酸洗液存在间隔，此时，即可松动紧固件，并逐渐将升降杆朝向酸洗液所在方向移动，当芯片远离盒盖的侧壁与酸洗液的液面接触时，即可通过紧固件将升降杆固定在当前位置，同时，酸洗液即对芯片远离盒盖的侧壁进行酸洗；通过在抽气管内设置筛板，相邻筛板之间设置酸性气体吸附剂，使得有害气体在抽气管内流动时，将经过酸性气体吸附剂，酸性气体吸附剂将有害气体中的酸性气体吸附，经酸性气体吸附剂处理后的气体将被抽吸泵从排放管排出。如此设置，有利于提升抽吸机构对有害气体的净化性能；通过在抽气泵与排放管之间连通设置吸附盒，吸附盒内放置有吸附颗粒，使得吸附盒内的吸附颗粒能够将去除酸性气体后的有害气体中的剩余有害物质进行吸附净化，有利于进一步提升抽风机构对盒体内的有害气体的净化性能。附图说明图1是本申请实施例的整体结构示意图。图2是本申请实施例中盒体的剖面示意图。图3是本申请实施例中抽风机构的剖面示意图。附图标记说明：1、盒体；2、通口；3、盒盖；4、通风孔；5、固定柱；6、升降杆；7、紧固件；8、支撑板；9、滑槽；10、滑杆；11、夹持槽；12、锁紧件；13、弹性垫层；14、透液孔；15、抽风机构；151、抽气管；152、抽吸泵；153、排放管；16、筛板；17本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片酸洗装置，其特征在于：包括用于盛放酸洗液的盒体（1），所述盒体（1）的顶侧壁上开设有通口（2），所述通口（2）上可拆卸覆盖设置有盒盖（3），所述盒盖（3）的两相对侧壁上均匀开设有多个通风孔（4），所述盒盖（3）的侧壁上固定设置有固定柱（5），所述固定柱（5）内滑动穿设有升降杆（6），所述固定柱（5）上穿设有用于固定升降杆（6）的紧固件（7），所述升降杆（6）远离盒盖（3）的一端固定设置有支撑板（8），所述支撑板（8）背离升降杆（6）的侧壁上滑动穿设有多个夹持槽（11），所述夹持槽（11）靠近升降杆（6）的侧壁上固定设置有滑杆（10），所述滑杆（10）滑动穿设在支撑板（8）的侧壁上，所述滑杆（10）远离夹持槽（11）的位置处穿设有用于固定夹持槽（11）的锁紧件（12），所述盒体（1）的侧壁在远离盒盖（3）的位置处连通设置有抽风机构（15）。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片酸洗装置，其特征在于：包括用于盛放酸洗液的盒体（1），所述盒体（1）的顶侧壁上开设有通口（2），所述通口（2）上可拆卸覆盖设置有盒盖（3），所述盒盖（3）的两相对侧壁上均匀开设有多个通风孔（4），所述盒盖（3）的侧壁上固定设置有固定柱（5），所述固定柱（5）内滑动穿设有升降杆（6），所述固定柱（5）上穿设有用于固定升降杆（6）的紧固件（7），所述升降杆（6）远离盒盖（3）的一端固定设置有支撑板（8），所述支撑板（8）背离升降杆（6）的侧壁上滑动穿设有多个夹持槽（11），所述夹持槽（11）靠近升降杆（6）的侧壁上固定设置有滑杆（10），所述滑杆（10）滑动穿设在支撑板（8）的侧壁上，所述滑杆（10）远离夹持槽（11）的位置处穿设有用于固定夹持槽（11）的锁紧件（12），所述盒体（1）的侧壁在远离盒盖（3）的位置处连通设置有抽风机构（15）。


2.根据权利要求1所述的芯片酸洗装置，其特征在于：所述抽风机构（15）包括抽气管（151）、抽吸泵（152）、与排放管（153），所述抽气管（151）连通固定设置在盒体（1）的侧壁上，所述抽吸泵（152）的吸气口与抽气...

【专利技术属性】
技术研发人员：高峰，陈磊，李苏佼，黄芯如，
申请(专利权)人：闳康技术检测上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31